The interface between layers in the multilayered insulating film 7 acts as a face that traps Na ions thermally diffused from the glass and the amt. of Na ions that reach the surface of the insulating film 7 is remarkably reduced. 多層に被覆された絶縁膜中の層の界面は、ガラス中から熱拡散してくるナトリウムイオンのトラップ面となり、絶縁膜表面へのナトリウムイオンの溶出量が著しく低減される。 - 特許庁