CONFOCAL SELF-INTERFERENCE MICROSCOPY FROM WHICH SIDE LOBE HAS BEEN REMOVED サイドローブが除去された共焦点自己干渉顕微鏡 - 特許庁
To provide confocal self-interference microscopy from which a side lobe can be removed without reducing a size of a main beam, and capable of observing an object of several tens nm without distortion. 主ビームのサイズを減らすことなくサイドローブを除去することを可能にし、数十nmのサイズを有する物体を歪むことなく観察することができる共焦点自己干渉顕微鏡を提供する。 - 特許庁