ITiO SINTERED COMPACT FOR VACUUM VAPOR DEPOSITION AND ITS PRODUCTION METHOD 真空蒸着用ITiO焼結体およびその製造方法 - 特許庁
To provide an ITiO sintered compact for vacuum vapor deposition which does not be broken even when irradiated with high-power electron beams and to provide its production method. 高いパワーの電子ビームを照射しても、破損の起こらない真空蒸着用ITiO焼結体およびその製造方法を提供する。 - 特許庁