In the collision prevention means, physical hazard objects 190, 170, 180 and 200 are provided labyrinthically along a path in which substrate tables WTa and WTb are moved from a working zone 20 to a working zone 30 or vice versa so that only correct path can be passed through. この衝突防止手段は、基板テーブルWTa、WTbが作業区域20から30へ、またはその逆に動く経路に沿って物理的障害物、190、170、180、200を迷路状に設けて適正な経路以外は通行できなくする。 - 特許庁