STAGE POSITIONING DEVICE USING LASERINTERFEROMETER レーザ干渉計を用いたステージ位置決め装置 - 特許庁
HOLDER OF PROFILE IRREGULARITY MEASUREMENT WITH LASERINTERFEROMETER レーザー干渉計での面精度計測保持具 - 特許庁
ESTIMATION METHOD OF DISTANCE BETWEEN TRACKING TYPE LASERINTERFEROMETER AND TARGET, AND TRACKING TYPE LASERINTERFEROMETER 追尾式レーザ干渉計と標的間距離の推定方法及び追尾式レーザ干渉計 - 特許庁
WAVELENGTH ESTIMATION METHOD OF TRACKING LASERINTERFEROMETER 追尾式レーザ干渉計の波長推定方法 - 特許庁
LASERINTERFEROMETER AND MEASURING APPARATUS USING THE SAME レーザ干渉計、及びそれを用いた測定装置 - 特許庁
This laserinterferometer measures a length based on laser light interference. レーザ干渉測長装置は、レーザ光に基づき測長を行う。 - 特許庁
MULTI-BEAMS LASERINTERFEROMETER AND LAYER-BUILT OPTICAL ELEMENT マルチビーム・レーザ干渉計及び積層型光学素子 - 特許庁
To improve a measurement accuracy of a laserinterferometer system. レーザ干渉計システムの計測精度を向上させる。 - 特許庁
HETERODYNE LASERINTERFEROMETER FOR MEASURING PARALLEL DISPLACEMENT OF WAFER STAGE ウェハステージの平行移動を測定するヘテロダインレーザ干渉計 - 特許庁
LIGHT SOURCE UNIT, SEMICONDUCTOR EXPOSURE DEVICE, LASER MEDICAL TREATMENT DEVICE, LASERINTERFEROMETER DEVICE, AND LASER MICROSCOPE DEVICE 光源装置、半導体露光装置、レーザー治療装置、レーザー干渉計装置およびレーザー顕微鏡装置 - 特許庁
METHOD AND DEVICE FOR MEASURING BY TRACKING LASERINTERFEROMETER 追尾式レーザ干渉計による測定方法および測定装置 - 特許庁
HETERODYNE LASER DOPPLER INTERFEROMETER WITH OPTICAL EXCITATION FUNCTION FOR SAMPLE 試料の光励振機能を有するヘテロダインレーザドップラー干渉計 - 特許庁
POSITION MEASUREMENT DEVICE OF OBJECT USING LASERINTERFEROMETER SYSTEM レーザー干渉計システムを用いた対象物の位置の測定装置 - 特許庁
HIGH-PRECISION RING LASERINTERFEROMETER USING EXTERNAL RESONATOR TYPE RING LASER, AND OPTICAL SENSING DEVICE 外部共振器型リングレーザーを用いた高精度リングレーザー干渉計及び光センシング装置 - 特許庁
DYNAMIC LINEARITY MEASURING METHOD USING LASERINTERFEROMETER OF LASER DISPLACEMENT METER, AND MEASUREMENT DEVICE レーザ変位計のレーザ干渉計を用いた動的線形性計測方法及び計測装置 - 特許庁
To provide a laserinterferometer which detects a mode hop. モードホップがわかるレーザ干渉計を実現することを目的にする。 - 特許庁
To provide a laser-interferometer type displacement gauge, provided with a ring laser resonator as a dual-frequency ring laser light source. リングレーザ共振器を2周波リングレーザ光源として具備するレーザ干渉計型変位計を提供する。 - 特許庁
To provide a correction method for measurement values of a laserinterferometer that does not require a laserinterferometer for correcting measurement values, other than a laserinterferometer where the measurement values are corrected, and that has a different structure from the conventional structures. 計測値が補正されるレーザ干渉計の他に、計測値を補正するためのレーザ干渉計を設置する必要がなく、従来の構成と異なるレーザ干渉計の計測値の補正方法を提供する。 - 特許庁
To realize high accuracy of wavelength correction using a laserinterferometer for measuring range. レーザ干渉計測長器で高い波長補正精度を実現する。 - 特許庁
To eliminate the influence of errors of a laserinterferometer used for coordinate measurements. 座標測定に用いるレーザ干渉計のエラーの影響をなくする。 - 特許庁
A laserinterferometer is used for measuring the position of a stage for mounting a sample thereon. 試料が載置されるステージの位置の測定にレーザ干渉計を用いる。 - 特許庁
The selecting part 81 does not newly switch the used laserinterferometer after the laserinterferometer is switched last time and until a predetermined time elapses. 選択部81は、前回レーザ干渉計を切り替えた後、所定時間経過するまでの間は、使用するレーザ干渉計の新たな切り替えを行わない。 - 特許庁
To improve repeatability when determining a substrate position by a laserinterferometer. 基板の位置をレーザー干渉計で求める際の再現性を改善すること。 - 特許庁
HETERODYNE LASERINTERFEROMETER EQUIPPED WITH PORRO PRISM FOR MEASURING DISPLACEMENT OF STAGE ステージの変位を測定するためのポロプリズムを備えたヘテロダイン・レーザ干渉計 - 特許庁
To reduce glitch for a more accurate laserinterferometer measurement system. より正確なレーザ干渉計測定システムのためのグリッチ低減を行なう。 - 特許庁
A laser beam Lout from a laser light source 10 is split into two light paths OP1 and OP2 in an interferometer, having a constitution according to Mach-Zehnder interferometer. レーザ光源10からのレーザ光Loutを、マッハ・ツェンダ干渉計に準ずる構成の干渉計において、2つの光路OP1,OP2に分離する。 - 特許庁
Output laser light of a laser diode 20 is input to an optical IQ multiplexer, having a Mach-Zehnder interferometer structure. レーザダイオード20の出力レーザ光は、マッハツェンダ干渉計構造の光IQ多重装置22に入力する。 - 特許庁
ERROR CORRECTION METHOD IN FREQUENCY ANALYSIS BY USING WAVELENGTH SCANNING LASERINTERFEROMETER 波長走査レーザ干渉計を用いた周波数解析における誤差補正方法 - 特許庁