「liquid solution」を含む例文一覧(3990)
＜前へ 1 2 .... 59 60 61 62 63 64 65 66 67 .... 79 80 次へ＞- In the surface treatment method of the bipolar plate of the fuel cell, an inorganic conductive metal aqueous solution is made to react with the surface of the bipolar plate at a normal temperature in the atmospheric environment by using a liquid phase deposition method and the surface is covered with a conductive oxide metal.
複極板の表面に、無機の導電性金属水溶液を液相析出法により大気下の常温で反応させ導電性酸化金属で被覆すること特徴とする燃料電池の複極板の表面処理法。 - 特許庁 - The liquid agent of preventing asbestos from scattering is produced by mixing an aqueous solution comprising magnesium chloride, a montmorillonite-type mineral, silica particles, and titanium oxide, i.e., a visible-light responsive photocatalyst, which agent decomposes chrysotile or the like, i.e., a harmful chemical substance contained in asbestos.
アスベスト飛散抑制液剤は、塩化マグネシウムを含有する水溶液に、モンモリロナイト系鉱物およびシリカ粒子を添加し、可視光型光触媒である酸化チタンを添加して、アスベスト中に含まれる有害化学物質クリソタイル等を分解させる。 - 特許庁 - The liquid detergent composition for a cleaning machine contains (a) a sequestering agent, (b) a nonion surfactant, and (c) a 14-20C unsaturated fatty acid and/or its salt, and shows a pH of 6 to 8 at 20°C in a 0.1 mass% aqueous solution.
（ａ）金属イオン封鎖剤、（ｂ）非イオン界面活性剤、並びに（ｃ）炭素数１４〜２０の不飽和脂肪酸及び／又はその塩を含有し、０．１質量％水溶液の２０℃でのｐＨが６〜８である、洗浄機用液体洗浄剤組成物。 - 特許庁 - At the time of presence of a solution calculated state that the next formulae showing vapor-liquid equilibrium: PT×y1=P01×x1×γ1 and PT×y2=P02×x2×γ2 are together formed, the indoor condensation of hydrogen peroxide vapor is judged to be produced.
気液平衡を表す次の（式１），（式２） ＰＴ・ｙ１＝Ｐ０１・ｘ１・γ１ ………（式１） ＰＴ・ｙ２＝Ｐ０２・ｘ２・γ２ ………（式２）がともに成立する解有りの状態が存在したとき、過酸化水素蒸気の室内凝縮が生じると判定する。 - 特許庁 - The alkali-free glass substrate for the liquid crystal panel includes a Haze value of ≤7.0% after being immersed in a buffered fluoric acid solution comprising 5.3 mass% of hydrofluoric acid (HF), 35.8 mass% of ammonium fluoride (NH_4F) and the balance water for 20 min at 25°C.
液晶パネル用の無アルカリガラス基板において、フッ酸（ＨＦ）：５．３質量％、フッ化アンモニウム（ＮＨ_４Ｆ）：３５．８質量％、残部：水からなるバッファードフッ酸の溶液中に２５℃、２０分間浸漬した後のヘイズ値が７．０％以下である。 - 特許庁 - The autocatalytic electroless gold-plating liquid is an aqueous solution including (i) a water-soluble gold compound, (ii) a complexing agent, (iii) a reducing agent, and (iv) a stabilizing agent containing at least one ingredient selected from the group consisting of isothiourea and derivatives thereof.
（i）水溶性金化合物、（ii）錯化剤、（iii）還元剤、並びに（iv）イソチオ尿素及びその誘導体からなる群から選ばれた少なくとも一種の成分からなる安定剤、を含有する水溶液からなる自己触媒型無電解金めっき液。 - 特許庁 - This method for manufacturing the hollow particulate assembly comprises a step to dry a surfactant-containing aqueous solution of a particulate precursor under the condition that a spherical micell formed by the surfactant is not self-organized (liquid-crystallized) and a step to heat-treating the obtained particulate at 100-800°C.
界面活性剤を含む微粒子前駆体水溶液を、界面活性剤により形成される球状ミセルが自己組織化（液晶化）しない条件下で乾燥させ、１００℃〜８００℃で熱処理する中空微粒子集合体の製造方法。 - 特許庁 - The rice protein composition derived from rice is obtained by neutralizing with an acid, followed by drying, a supernatant liquid obtained by dissolving in an alkali solution a high indigestible protein rice having a high content of a highly indigestible protein and exhibits a liver cholesterol-lowering action and a blood serum cholesterol-lowering action.
難消化性タンパク質含量の高い高難消化性タンパク質米をアルカリ溶液に溶解させて得られた上澄液を、酸によって中和し乾燥して得られる米由来であり、肝臓コレステロール及び血清コレステロール低下作用を有する。 - 特許庁 - Especially, the diluted solution is useful for preparing a sample for measurement to be commonly used for a method for measuring glucose concentration in a blood sample by an enzyme electrode method and a method for measuring glycohemoglobin concentration in the blood sample by the liquid chromatography method.
特に、血液試料中のグルコース濃度を酵素電極法で測定する方法と、前記血液試料中のグリコヘモグロビン濃度を液体クロマトグラフィ法で測定する方法とに共通して用いる測定用試料を調製するのに有用である。 - 特許庁 - To provide a liquid bleaching detergent composition free from the lowering of the stability of hydrogen peroxide and a bleaching activation agent after storage, keeping a solution state free from separation and clouding and having excellent bleaching performance and soil-dispersing performance.
保存後にも過酸化水素及び漂白活性化剤の安定性を阻害せず、分離や白濁を生じない溶液状態を保つことができ、漂白性能、泥汚れに対する分散能に優れる液体漂白洗浄剤組成物を提供する。 - 特許庁 - In this way, while always removing particles effectively by the SC1 solution, they are effectively removed also by volume expansion when the liquid film 11 is frozen, therefore, the particles can be effectively removed from the substrate W.
このように、パーティクルに対してＳＣ１溶液による除去効果を常に発揮させながら、液膜１１の凍結時の体積膨張による除去効果を重畳して作用させているので、基板Ｗからパーティクルを効果的に除去することができる。 - 特許庁 - The manufacturing method comprises dispersing the metal element-containing nanoparticles composited in a liquid phase into a solution containing an organic compound not including metal elements, then drying/heating the dispersion, thereby forming the metal element-containing nanoparticle powder.
液相中にて合成された金属元素含有ナノ粒子を、金属元素を含まない有機化合物を含有する溶液に分散させ、次いで、この分散液を乾燥・加熱し、金属元素含有ナノ粒子粉体とすることを特徴とする。 - 特許庁 - In the combination of R410A and ester oil, ester oil of 0°C or lower in critical solution temperature is used to avoid supply of liquid refrigerant to a sliding part caused by a low-temperature flooded phenomenon when a compressor is started in the cold region.
本発明はR410Aとエステル油の組合せにおいて臨界溶解温度が０℃以下であるエステル油を使用することにより、寒冷地における圧縮機起動時の低温寝込み現象による摺動部への液冷媒供給を回避することができる。 - 特許庁 - Fine electrolytic pits are formed in a surface of an anode metal by using a following liquid as an electrolytic solution and a metal, and holding the electric potential difference between an anode (the metal) and a cathode within "a steady region B" of an anode polarization curve.
前記電解液および金属として下記のものを用い、アノード（前記金属）／カソード間の電位差を下記アノード分極曲線における「定常域Ｂ」内に保持することにより、アノード金属の表面に微細な電解ピットを形成する。 - 特許庁 - To obtain a new seasoning liquid for dish cooked in a pot at the table, having soybean powder and soy sauce as the main constituent, and hardly causing cohesion and precipitation derived from soybean powder in a pot when boiling ingredients such as vegetables and meat together in an aqueous solution which contains soybean powder and soy sauce.
鍋の中で、大豆粉及び醤油を含有する水性溶液により、野菜や肉などの具材を煮込んだ際に、大豆粉由来の凝集や沈殿ができにくい、大豆粉及び醤油を主体とする新規な鍋物調味液を得る。 - 特許庁 - This method for cleaning the inside of a cylinder is characterized by feeding the granular or powdery cool-solidified product of a substance which is liquid at the ordinary temperature, such as water, bamboo vinegar, wood vinegar or ethanol aqueous solution, and then applying pressure to move the granular or powdery cooled solidified product in the cylinder.
常温では液体状態にある物質、例えば水、竹酢液、木酢液、エタノール水溶液などを冷却・固化した物の粒状物ないしは粉状物を、筒体内に供給し、圧力を加えて筒体内を移送させる。 - 特許庁 - The method for producing salt-free alcohol-fermented seasoning liquid comprises a process of fermenting a preparation mixture containing preparation alcohol solution having an alcohol concentration of 8-18 vol.% (volume/volume), wheat gluten cake and alcohol-fermentation-applicable yeast, at a temperature of ≤20°C.
8〜18％（容量／容量）のアルコール濃度を有する仕込アルコール溶液、麹およびアルコール発酵可能な酵母を含む仕込混合物を、２０℃以下の温度でアルコール発酵する工程を有する、無塩アルコール発酵調味液の製造方法。 - 特許庁 - The method comprises: impregnating a nonwoven cloth structure having a definite range of an apparent density with a high molecular elastomer solution or dispersion; immediately thereafter squeezing the liquid by roll-nip treatment so that the nonwoven cloth structure has a definite range of an impregnation magnitude; and drying it.
特定範囲の見掛け密度を有する不織布構造体に高分子弾性体溶液または分散液を含浸した直後に、不織布構造体を特定範囲の含浸倍率となるようロール・ニップ処理により搾液し、乾燥させる。 - 特許庁 - The liquid medium composition for heat exchange comprises an aqueous solution containing an inorganic salt added at a concentration at which the freezing point is lowered to -10°C or below and the lowest freezing point is not reached and 0.01-5 wt.% of a surfactant.
水に溶解した時の凝固点が−10℃以下となる濃度であり、かつ凝固点が最低となる濃度である最低凝固点濃度未満の濃度となるように添加された無機塩と、0.01〜５重量％の界面活性剤と、を含む水溶液からなる。 - 特許庁 - To provide a low arsenic content low cadmium content iron oxide powder produced from a solution containing iron, arsenic, and cadmium, such as a neutralized liquid produced from a zinc leach residue as a by-product in, e.g., a wet-process zinc refining and to provide a method for producing the same.
例えば、湿式亜鉛製錬にて副製する亜鉛浸出残渣から製造される中和液のように、鉄、砒素、カドミウムを含む溶液より製造された、砒素、カドミウムの含有量が少ない酸化鉄粉、およびその製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a method for efficiently regenerating a synthetic adsorbent the removing capacity of which is lowered without generating an organic solvent waste liquid, in a process for removing organic impurities by bringing a hydrogen peroxide aqueous solution into contact with the synthetic adsorbent.
過酸化水素水溶液中を合成吸着剤に接触させて有機不純物を除去する工程において、除去能力が低下した合成吸着剤を効率よく再生し、且つ有機溶媒廃液を生じない方法を提供する。 - 特許庁 - For example, a cathode circulation passage 42 for circulating the positive electrode solution to the cathode chamber 12 is arranged, and dissolved oxygen density of the liquid sent to the cathode chamber 12 practically becomes zero by arranging a deoxidation device 44 for removing oxygen in the middle of the cathode circulation passage.
例えば、正極溶液をカソード室１２に循環させるカソード循環路４２を設け、その途中に酸素を除去する脱酸素装置４４を配置してカソード室１２に送られる液の溶存酸素濃度を実質的にゼロにする。 - 特許庁 - To provide an exhaust emission control device of a parallel internal combustion engine in which a urea water solution and the exhaust gas are well mixed by a liquid-only urea water injector while reducing the size, cost, and weight thereof.
本発明は、リキッドオンリ式の尿素水インジェクタによる尿素水溶液と排ガスとの良好なる混合を、装置のコンパクト性、廉価性および軽量性を図りつつ実現可能とした並列タイプの内燃機関の排気浄化装置を提供する。 - 特許庁 - The electrolytic polishing liquid for stainless steel is made by adding an iron content in a weight ratio of 50 to 500 ppm to a mixed solution in which the concentration of acetic acid is 90.0 to 97.5% and the balance mainly comprises perchloric acid.
本発明のステンレス鋼の電解研磨液は、酢酸濃度が９０．０％〜９７．５％で残部の主成分が過塩素酸である混合溶液に対し、重量比で５０ｐｐｍ〜５００ｐｐｍの鉄分を添加したことを特徴とする。 - 特許庁 - Further, the method of manufacturing the polymer electrolyte film includes processes of: casting a coating liquid containing the thermal crosslinkable polymer electrolyte material; crosslinking after casting; and bringing into contact with an acid aqueous solution after crosslinking.
また、高分子電解質膜の製造方法は、上記の熱架橋性高分子電解質材料を含んだ塗液を流延する工程、流延後架橋せしめる工程、架橋後酸性水溶液と接触させる工程を含むことを特徴とする。 - 特許庁 - The manufacturing method for a cereals-containing liquid seasoning is characterized in that material cereals having a water content of 10-40% undergo wetting treatment by an organic-acid aqueous solution and heat treatment, so as to be made to contain cooked cereals.
水分含量１０〜４０％の状態の原料雑穀類に有機酸水溶液による接液処理と、加熱調理とを施し、該調理済み雑穀類を含ませることを特徴とする雑穀類含有液状調味料の製造方法。 - 特許庁 - The other objective carbon fiber bundle thus obtained through the above treatment is characterized by that the UV absorbance of the extract liquid obtained by putting the product carbon fiber bundle to extraction with an aqueous solution of tetraethylammonium hydroxide is ≤1.0.
また、本発明の炭素繊維束は、かかる製造方法により得られる炭素繊維束であって、かつ、該炭素繊維束の水酸化テトラエチルアンモニウム水溶液の抽出液によるＵＶ吸光度が１．０以下であることを特徴とするものである。 - 特許庁 - The positive type resist processing liquid composition comprises an aqueous solution containing a quaternary ammonium hydroxide represented by general Formula (I), wherein R_1 and R_3 independently represent a methyl group, and R_2 represents a 12-18C alkyl group.
本発明のポジ型レジスト処理液組成物は、下記の一般式（Ｉ）：式中、Ｒ_１及びＲ_３はそれぞれメチル基を示し、Ｒ_２は炭素数１２〜１８のアルキル基を示す、で表される水酸化第四級アンモニウムを含有する水溶液からなる。 - 特許庁 - The etching liquid contains an alkaline solution being used at the time of wet etching a silicon substrate, especially a silicon substrate having an (100) face, and at least one kind of metal selected from Pb, Al, Ca, Cu, Ni, Zn and Sn.
シリコン基板、特に表面が（１００）面であるシリコン基板をウェットエッチングする際に用いられるアルカリ性溶液を含有すると共に、Ｐｂ、Ａｌ、Ｃａ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｚｎ又はＳｎの少なくとも１種の金属を含有したエッチング液とする。 - 特許庁 - The method for manufacturing the catalyst comprises the steps of: suspending the titanium-containing silicate porous body in a metal salt-dissolved solution; and irradiating the obtained suspension liquid with a microwave to deposit the metal fine particle on the surface of the titanium-containing silicate porous body.
金属塩を溶解した溶液中にチタン含有ケイ酸塩多孔体を懸濁させ、該懸濁液にマイクロ波を照射することにより前記多孔体の表面上に金属微粒子を析出させることを特徴とする触媒の製造方法。 - 特許庁 - In the method, since metal copper is not reduced from an etching waste liquid, there is no need of using an extraction solution easily contaminating chemicals and an expensive ion selective membrane, and there is no need of using high temperature molten copper and purification which extremely consumes electric power.
本発明の方法はエッチング廃液から金属銅を還元しないため、容易に薬品を汚染する抽出溶液や高価なイオン選択膜を使用する必要も、高温溶銅と非常に電力を消費する純化を用いる必要もない。 - 特許庁 - A liquid coating solution comprising about 80.0-99.9 wt.% of a polyimide component and about 0.01-3.0 wt.% of copper nanoparticles is coated and cured on a stainless steel substrate.
ステンレス鋼基材上に、ポリイミド成分が約８０．０重量％から約９９．９重量％の間からなり、複数の銅ナノ粒子が約０．０１重量％から約３．０重量％の間からなる液体コーティング溶液を塗布、硬化させる。 - 特許庁 - This method for producing the water-shielding composition comprises mixing (1) a liquid epoxy resin, (2) a curing agent for the resin being at least a kind selected from the group consisting of an aqueous amine solution and an amine dispersion, and (3) a hydraulic material.
１）液状エポキシ樹脂、２）該樹脂の硬化剤であって、アミン水溶液及びアミン水分散体からなる群から選択された少なくとも１種、並びに、３）水硬性材料を混合することを特徴とする遮水性組成物の製造方法。 - 特許庁 - The cleaning liquid for the body wearing parts which is preferably an aqueous solution comprising 24.0-26.0 wt.% of the ethylene glycol (7 number of repetitions) monoalkyl (11-15C) ether and 17.0-18.0 wt.% of the lauryldimethylamine oxide is provided.
好ましくは、エチレングリコール（繰り返し数７）モノアルキル（炭素数が１１から１５）エーテルを２４．０から２６．０ｗｔ％と、ラウリルジメチルアミンオキシド１７．０から１８．０ｗｔ％とを含有する水溶液である身体装着部品洗浄液が提供される。 - 特許庁 - By bringing a second polymer electrolyte solution 9 prepared by dissolving a second polymer electrolyte into contact with the jetted minute liquid droplets and by subjecting to reaction, a spherical interface consisting of a polymer electrolyte composite is formed to manufacture a microcapsule.
第２高分子電解質を溶解した第２高分子電解質溶液９に、噴出された微小液滴を接触させて反応させることにより、高分子電解質複合体からなる球状の界面を形成して、マイクロカプセルを製造する。 - 特許庁 - Since carbon dioxide generated by reaction of methanol with water in the fuel chamber 31 can be exhausted by the gas liquid separating membrane 9, a contact area of a methanol aqueous solution with an anode electrode 3 can favorably be ensured, and reaction efficiency can be enhanced.
燃料室３１内でメタノールと水との反応により発生した二酸化炭素を気液分離膜９で排出できるので、メタノール水溶液とアノード電極３との接触面積を良好に確保でき、反応効率を高めることができる。 - 特許庁 - The solution having a cloudy point by dissolving a water-soluble lubricant is used as the coolant and the coolant is supplied into a roll bite at a liquid temperature above the cloudy point in at least a part of rolling stands or rolling passes.
水溶性潤滑剤を溶解することにより曇点を有する溶液をクーラントとして用いるとともに、少なくとも一部の圧延スタンド又は圧延パスにおいて、前記クーラントがその曇点以上の液温でロールバイトに供給されるようにする。 - 特許庁 - Antibacterial treatment solution which contains titanium (IV) oxide containing halogen and is provided with the antibacterial activity at least in a dark place is reserved in a dark place and the antibacterial treatment liquid is made into contact with an object of antibacterial treatment to exert antibacterial effects.
少なくとも暗所で抗菌活性を備えている、ハロゲンを含有する酸化チタン（ＩＶ）と溶媒を含む抗菌処理液を暗所に貯留して、前記抗菌処理液を被抗菌処理物に接触させ、抗菌作用を発現させる。 - 特許庁 - In the liquid fuel for hydrogen generation comprising sodium boron hydride dissolved in an aqueous sodium hydroxide solution with at least 10 mass % concentration, freezing is prevented by adjusting concentration of sodium boron hydride to a range within 70-260 g/L.
少なくとも１０質量％の濃度の水酸化ナトリウム水溶液にホウ水素化ナトリウムを溶解してなる水素発生用液体燃料において、ホウ水素化ナトリウムの濃度を７０〜２６０ｇ／ｌの範囲内で調整して凍結を防止する。 - 特許庁 - To provide a porous adsorption film having a mixture ligand, which effectively and promptly removes impurities from a mixture liquid containing a target protein and the impurities, and can purify the target protein efficiently even when a solution has high electrical conductivity.
電気伝導度の高い溶液であっても、目的タンパク質と、夾雑物と、を含む混合液から、夾雑物を有効かつ迅速に除去し、目的タンパク質を効率的に精製可能な、混合リガンドを有する多孔質吸着膜を提供する。 - 特許庁 - An alcohol solution of an optically active amine and an optically active organic acid is brought into contact with an alkali metal carbonate and the crystallized optically active organic acid alkali metal salt is separated into solid and liquid to recover the optically active organic acid and the optically active amine in high yield.
光学活性アミンと光学活性有機酸のアルコール溶液を炭酸アルカリと接触させ、晶出した光学活性有機酸アルカリ塩を固液分離することにより光学活性有機酸と光学活性アミンを高収率で回収する。 - 特許庁 - This method for producing the entrapping immobilization carrier which is used for subjecting a microorganism to entrapping immobilization in an immobilizing agent, wherein a carrier block 60 is prepared by polymerizing and gelatinizing a mixed liquid containing the microorganism and a solution of the immobilizing agent in a molding frame 52.
固定化剤内に微生物を包括固定する包括固定化担体の製造方法において、成型枠５２内において微生物と固定化剤溶液とを含む混合液を重合させてゲル化することにより、担体ブロック６０を作製する。 - 特許庁 - In addition, the circumference of a discharge equalization resistor 2 is sealed with an insulating liquid seal 4 to avoid swelling due to an electrolysis solution infiltrated into the discharge equalization resistor 2, resulting in preventing the discharge equalization resistor 2 from varying across the ages.
また、放電平準化抵抗体２の周囲が絶縁液シール部４によりシールされているので、電解液が放電平準化抵抗体２に浸入して膨潤する恐れがなく、放電平準化抵抗体２の経年変化を防止できる。 - 特許庁 - To provide a developing solution for negative photoresist which removes residue on a substrate, prevents unevenness and enables uniform development even after repeated use in the production of a color filter for a liquid crystal display or the like by a pigment dispersion method.
液晶ディスプレー用等のカラーフィルタを顔料分散法により製造するに際し、基板上の残さ除去や、ムラ防止を達成できて、しかも繰り返し使用しても均一な現像が可能であるネガ型フォトレジスト用現像液を提供する。 - 特許庁 - Regarding the liquid for wet treatment to which the surfactant is added, and which is used to wet treating the surface of the porous membrane, as the surfactant, the one whose contact angle to the porous membrane is >90 to 180° when being made into a solution is used.
界面活性剤が添加され、多孔性膜表面の湿式処理に使用される湿式処理液であって、界面活性剤として、溶液として前記多孔質膜に対する接触角が９０°より大きく、１８０°以下となるものを使用した。 - 特許庁 - This solution composition includes a component (A) of a solvent soluble liquid crystalline polyester, component (B) of an electroconductive substance (such as carbon black or the like) and component (C) of a solvent, and having 1 to 100 pts.wt. component (B) based on 100 pts.wt. component (A).
成分（Ａ）溶剤可溶性の液晶ポリエステル，成分（Ｂ）導電性物質（カーボンブラック等）及び成分（Ｃ）溶剤を含有してなり、成分（Ａ）１００重量部に対し、成分（Ｂ）が１〜１００重量部である溶液組成物の提供。 - 特許庁 - The coating material consisting of the mixed solution, which contains a sterilizing agent containing titanium dioxide and silver and utilizing photocatalytic action and the polyurethane resin, and the curing agent liquid is sprayed by utilizing revolving streams to coat the inner surface of the inner surface of various kinds of pipe.
また、二酸化チタンと銀とを含有する光触媒作用を利用した殺菌剤とポリウレタン樹脂との混合溶液と硬化剤液とからなるコーティング材を、旋回流を利用した吹付けにより各種管内面にコーティングするものである。 - 特許庁 - When the liquid level of an ethanol solution is below the optical path of a beam of radiated light from a light-emitting device array 103, it becomes rectilinear propagation light 121 and propagates towards a light-receiving element array 101, after being transmitted through a wall surface 106 on the light-emitting device side.
発光素子アレイ１０３からの照射光は、発光素子側壁面１０６で透過した後は、エタノール溶液の液面が照射光の光路よりも下方にあるときには、直進光１２１となって受光素子アレイ１０１へ向かう。 - 特許庁 - This sweet jelly is made through the following process: soaking dried fruits 1 in water to reconstitute them, and kneading the thus reconstituted fruits and an agar solution 3 together with a soaking liquid 2; wherein plural kneading processes such as the first kneading processing 4 and second kneading process 5 are performed so as to make respective raw materials better compatible with one another.
乾燥果実１を水に浸漬して還元して浸漬液２と一緒に、寒天液３と練り合わせるもので、練り合わせを第一次練り加工４と第二次練り加工５等の複数行うことで、各原材料の馴染みを良くした。 - 特許庁 - The stage 7 is also provided with the recollect flow paths (22, 24, and 25) in which the immersion liquid 12 immersed from a clearance between the substrate 5 and the accessory plate 21 flows and a temperature control flow path 26 to be supplied with a temperature control solution which is adjusted at a predetermined temperature.
ステージ７には、基板５と補助板２１との隙間から浸入した浸液１２が流れる回収流路（２２，２４，２５）と、所定の温度に調整された温調液が供給される温調流路２６と、が形成されている。 - 特許庁
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