「loadlocks」を含む例文一覧(2)

  • The tool 30 attains a high throughput which is enabled by the loadlocks 36, 40 in relation with three atomospheric wafer handling robots 44, 46, 48.
    ツール３０は３つの大気ウェーハハンドリングロボット４４，４６，４８と関連して、ロードロック３６，４０により可能となる高スループットを得る。 - 特許庁
  • A semiconductor manufacturing tool 30 has two loadlocks 36, 40; one of these is used for a semiconductor wafer which enters, the tool 30 to be processed, and the other is used for a wafer exiting the tool 30, after the treatment.
    半導体製造ツール３０は２つのロードロック３６，４０を有し、一方はツール３０に入って処理される半導体ウェーハ用であり、他方は処理後にツール３０から出るウェーハ用である。 - 特許庁

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