MASK DATA PATTERN FORMING METHOD マスクデータパターン生成方法 - 特許庁
METHOD FOR MAKING MASK PATTERN DATA マスクパターンデータ作成方法 - 特許庁
SHADOW MASK WITH PATTERN CORRECTED パターン補正されたシャドウマスク - 特許庁
MASK PATTERN DATA GENERATION METHOD, MASK MANUFACTURING METHOD, MASK AND MASK PATTERN DATA GENERATION PROGRAM マスクパターンデータ生成方法、マスクの製造方法、マスク及びマスクパターンデータ生成プログラム - 特許庁
PATTERN EXPOSURE MASK AND PATTERN EXPOSURE METHOD パタ—ン露光マスクおよびパタ—ン露光方法 - 特許庁
MASK FOR FORMING THIN FILM PATTERN 薄膜パターン形成用マスク - 特許庁
METHOD FOR FIXING AND HOLDING PATTERN MASK パターンマスク固定保持方法 - 特許庁
METHOD FOR PROCESSING MASK PATTERN IMAGE マスクパターン画像処理方法 - 特許庁
MASK PATTERN ALLOCATING METHOD, MASK MANUFACTURING METHOD AND PROGRAM, AND MASK マスクパターン配置方法、マスク作製方法、プログラムおよびマスク - 特許庁
MASK AND METHOD FOR MEASURING DIMENSION OF MASK PATTERN マスクおよびマスクパターンの寸法測定方法 - 特許庁
PATTERN FORMING METHOD, AND MASK パターン形成方法及びマスク - 特許庁
MASK AND PATTERN TRANSFER METHOD マスクおよびパタン転写方法 - 特許庁
MASK PATTERN MEASURING METHOD マスクパターン形状計測方法 - 特許庁
VERIFYING METHOD FOR MASK PATTERN, PROGRAM FOR VERIFYING MASK PATTERN AND METHOD FOR MANUFACTURING MASK マスクパターン検証方法、マスクパターン検証用プログラム、及びマスク製造方法 - 特許庁
The hard mask pattern is formed using the left first mask pattern and second mask pattern as an etching mask. 残留する第1のマスクパターン及び第2のマスクパターンをエッチングマスクとして用い、ハードマスクパターンを形成する。 - 特許庁
MASK AND METHOD FOR FORMING PATTERN BY USING MASK マスク及びマスクを用いたパターン形成方法 - 特許庁
MASK-MAKING METHOD, PATTERN EXPOSURE DEVICE, AND MASK マスク作成方法、パターン露光装置、及び、マスク - 特許庁
MASK MANUFACTURING SYSTEM AND CORRECTING METHOD OF MASK PATTERN マスク製造システム及びマスクパターン補正方法 - 特許庁