「method of processing」を含む例文一覧(28860)
＜前へ 1 2 .... 551 552 553 554 555 556 557 558 559 .... 577 578 次へ＞- To provide a solid-state imaging device and a method of driving the same, and a camera system which can suppress circuit noise which occurs in a bias voltage generating circuit causing image deterioration and an external noise which is generated from a device external portion and goes around to a column processing system, without adding external capacity.
外部容量を付加することなく、画像劣化の要因となるバイアス電圧の生成回路で生じる回路ノイズやデバイス外部から経由する外部ノイズのカラム処理系への回り込みを抑止することが可能な固体撮像素子およびその駆動方法、カメラシステムを提供する。 - 特許庁 - The display device includes a processing section for generating the corrected image data, including the amplitude information and the phase information, by a prescribed corrected image data generating method, and a display section for controlling and displaying the amplitude information and the phase information of the generated corrected image data.
表示装置においては、所定の補正画像データ生成方法により、振幅情報と位相情報とからなる補正画像データを生成する処理部と、生成された補正画像データの振幅情報と位相情報とを制御して表示する表示部と、を有する。 - 特許庁 - To provide a method for generating page-described data, in which both image data generated in a plate-making process and image data generated in a printing process are inspected suitably in such an environment that the plate-making process is separated from the printing process even when the versions of RIP (raster image processing) software are different from each other, and also to provide a program and a data format.
製版工程と印刷工程とが分離されている環境において、ＲＩＰ処理ソフトウェアのバージョンが異なる場合であっても、作成された画像データ同士を適切に検版できるページ記述データ生成方法、プログラム及びデータフォーマットを提供する。 - 特許庁 - In the preliminary dithering processing, if the gray scale value has a threshold value THn_d of the dither mask 61 or greater, then a threshold value THe used in an error diffusion method is set to a low-level threshold THe_L, and if the gray scale value is no higher than the threshold value THn_d, then the threshold value THe is set to a high-level threshold value THe_H.
仮ディザ処理で、階調値がディザマスク６１の閾値ＴＨｎ＿ｄ以上であれば、誤差拡散法に用いる閾値ＴＨｅを低位閾値ＴＨｅ＿Ｌに設定し、階調値が閾値ＴＨｎ＿ｄ以上未満であれば、閾値ＴＨｅを高位閾値ＴＨｅ＿Ｈに設定する。 - 特許庁 - To provide a method for manufacturing an insert fitting having a draw-out resistant load equivalent to twill lined knurling and a twisting-resistant torque while eliminating the formation process of the knurling by an exclusive processing machine, and also to provide the insert fitting manufactured by the same.
本発明は、専用加工機によるローレットの形成工程を省きながら、アヤ目ローレットと同等の耐引き抜き荷重、耐ねじりトルクを有するインサート金具を製造するインサート金具の製造方法、及び同製造方法によって製造されるインサート金具を提供しようとするものである。 - 特許庁 - To provide a control method for a suction device by which suction processing by different suction pressure can be simultaneously performed for each cap unit, and operation of the device having different suction pressure is performed with good balance, and to provide a suction device and a liquid droplet ejecting apparatus.
キャップユニット単位で、異なる吸引圧力による吸引処理を同時に行うことができると共に、異なる吸引圧力の装置稼動をバランス良く実施することができる吸引装置の制御方法、吸引装置および液滴吐出装置を提供すること。 - 特許庁 - To provide an image processor and an image processing method which suitably detect and correct a frame to be corrected, and perform moving image encoding excellent in both visual impressions and encoding efficiency even in the case that the shape data of an object in moving images change greatly temporarily.
動画像中の対象物の形状データが一時的に大きく変化した場合であっても、修正対象となるフレームを好適に検出して修正し、視覚的にも符号化効率的にも優れた動画像符号化をすることができる画像処理装置及び画像処理方法を提供する。 - 特許庁 - To provide an image processing method which compensate light falloff in an input digital image so that individual compensation values may not change the balance in the digital image when giving individual compensation values in order to correct the light falloff in pixels of the digital image.
入力ディジタル画像の画素中の光フォールオフを補正するために個々の補償値を与えるときに、個々の補償値はディジタル画像中のバランスの変化を生じさせないような、ディジタル画像の光フォールオフを補償する画像処理方法を提供することを目的とする。 - 特許庁 - To provide a method and an apparatus for offset printing wherein an alkaline developing liq. is unnecessary and plate processing is simple and quality of printing at a practical level wherein discriminating properties between imaging parts and non-imaging parts on a printed face are high and enough durability is provided and in addition, an original printing plate can be repeatedly used.
アルカリ性現像液を必要とせず、簡易に製版できて、かつ印刷面の画像部と非画像部の識別性が高い実用レベルの印刷画質と十分な耐刷性を有し、さらに印刷用原板を反復使用することも可能なオフセット印刷方法及び印刷装置を提供する。 - 特許庁 - This method comprises, in addition to a process for processing arbitrary area of an object sample into a fine sample piece by using charged particle beam and extracting the sample piece, a process for attaching fine conductors 30a and 30b to the extracted fine sample piece 72, and a process for applying voltage to the attached fine conductors.
荷電粒子ビームを用いて、対象試料の任意の領域を微小試料片に加工、摘出する工程に、摘出した微小試料片７２に微細導線３０ａ，３０ｂを取り付ける工程、取り付けた微細導線に電圧を印加する工程を加える。 - 特許庁 - This method for producing the oil and fat food comprises using a magnetic field apparatus in which magnetic field generating coils are continuously extended around pipes in a production line and performing specific pulse magnetic field processing for a short time at a temperature at which oil and fat crystallization starts to deposit so as to efficiently promote or stabilize the crystallization of oil and fat.
磁場発生コイルを製造ライン中の配管周りに連続的に延長させた磁場装置を使用し、油脂結晶が析出し始める温度で特定のパルス磁場処理を短時間行うことにより油脂の結晶化を効率的に促進または安定化させることができる。 - 特許庁 - To provide a dispersing agent for an inorganic powder which can easily disperse the inorganic powder on dispersion, does not cause its decomposition/deterioration, particularly even when applied to a resin requiring high heat in the processing steps, and does not deteriorate the properties of the resin, and a dispersion method.
無機粉体を分散させる場合に、容易に分散ができ、特に加工工程で高熱を必要とするような樹脂に適用しても分散剤が分解・劣化せず、樹脂の特性を低下させることのない無機粉体の分散剤および、分散方法を提供することを目的とする。 - 特許庁 - To provide a remover for multistage processing which safely and efficiently removes an etching residue in a short time that is formed in the forming process of a semiconductor multi-layer wiring structure and a display panel such as a liquid crystal panel, and to provide a stripping method using the remover.
半導体多層配線構造や液晶パネルなどの表示パネルの配線構造形成工程において形成されるエッチング残渣物を安全に、かつ短時間に効率的に除去することのできる多段階処理用剥離液およびこれを用いた剥離方法を提供する。 - 特許庁 - In the display method to manage states of performance evaluation index items, a performance evaluation index item database 3 links and stores performance evaluation index items, calculation items for performance evaluation indices and information items that occur in operation processes, and data related to processing time.
業績評価指標項目状況を管理する表示方法であって、業績評価指標項目データベース３が、業績評価指標項目、業績評価指標の計算項目、および業務過程において発生する情報項目と、処理時期に関するデータとを関連付け格納する。 - 特許庁 - To solve the problem that optimization, considering the difference among object machines cannot be performed since there is not a step for supporting a specific object machine in a conventional program processing method and the difference among the object machines of various constitutions is decided to be absorbed by a desired machine model.
従来のプログラム処理方法では、具体的目的機械を想定するステップが存在しておらず、また様々な構成の目的機械の違いを目的機械モデルで吸収することにしているため、目的機械の違いを考慮した最適化を行うことができないことが課題である。 - 特許庁 - In another mode, the method includes a step for providing the liquid supply containing the liquid precursor, a step for delivering the liquid precursor to the ampoule, a step for vaporizing a portion of the liquid precursor in the ampoule, and a step for flowing the vaporized precursor to the processing chamber.
他の態様においては、本方法は、液体前駆物質を含有する液体供給源を設けるステップと、該前駆物質をアンプルへ送るステップと、該液体前駆物質の一部をアンプル内で気化させるステップと、気化した前駆物質が処理チャンバへ流れるステップと、を含んでいる。 - 特許庁 - To obtain an image area discrimination device that improves quality of an image including block distortion due to band compression and enhances data compression coding efficiency by image processing and data compression and to obtain an image area discrimination method and a storage medium storing its program.
画像処理、データ圧縮を実行することで帯域圧縮によるブロック歪みを含む画像品質の向上及びデータ圧縮符号化効率を改善する画像領域判定装置、画像領域判定方法及びそのプログラムを記憶した記憶媒体を提供する。 - 特許庁 - To provide a heat-developable photosensitive material having high density, less liable to variation of density with time and improving defective transport and unevenness in density caused in processing with a heat developing apparatus and to provide an image recording method using the heat-developable photosensitive material.
高濃度であり、熱現像感光材料の経時での濃度変動が小さく、熱現像処理装置で処理した際に発生する搬送不良、濃度むらを改良した熱現像感光材料、および該熱現像感光材料を用いた画像記録方法を提供する。 - 特許庁 - To allow a developer to have good property of dissolving a non-image portion and stable developing property in a development processing method for a photosensitive lithographic printing plate having a photosensitive layer containing at least an organic boron salt on a support, and to ensure both excellent image quality and printing durability in printing.
有機ホウ素塩を少なくとも含有する感光層を支持体上に有する感光性平版印刷版の現像処理方法に於いて、現像液が非画像部の溶出性が良好で安定した現像性を有し、且つ印刷時には画質及び耐刷性共に優れている事にある。 - 特許庁 - To provide a digital data processing method for inserting digitized information into digital data, and more specifically, provide a digital watermarking technique which inserts various information of a copyright, an identification code, or the like into digital image data and digital speech data.
本発明の目的は、デジタルデータにデジタル化された情報を挿入するデジタルデータ処理方法を提供することであり、更に詳しくはデジタル画像データおよびデジタル音声データ中に著作権や識別コード等の各種情報を挿入する電子透かし技術を提供することである。 - 特許庁 - In the processing method for a silver halide photographic sensitive material, an exposed silver halide photographic sensitive material is brought into contact with an oxidizer in the presence of a compound selected from organoboron compounds, organosilicon compounds, organotin compounds, organogermanium compounds and organoaluminum compounds.
露光されたハロゲン化銀写真感光材料を、有機ホウ素化合物、有機ケイ素化合物、有機スズ化合物、有機ゲルマニウム化合物及び有機アルミニウム化合物の中から選ばれる化合物の存在下で、酸化剤と接触させることを特徴とするハロゲン化銀写真感光材料の処理方法。 - 特許庁 - The method also includes steps of: flowing a silicon-containing precursor into the processing chamber housing the substrate; flowing an oxidizing gas into the chamber; and causing a reaction between the silicon-precursor, the oxidizing gas and the water vapor to form the dielectric material in the trench.
また、この方法は、シリコン含有前駆物質を、基板を収容する処理チャンバ内に流すステップと、酸化ガスを前記チャンバ内に流すステップと、シリコン含有前駆物質、酸化ガス及び水蒸気の間の反応を起こし、トレンチ内に誘電体材料を形成させるステップと、を含む。 - 特許庁 - In the processing method for a planographic printing plate in which a planographic printing plate having an infrared sensitive layer on a support is developed with an alkali developer after imagewise exposure, the alkali developer at the start of development contains nonreducing sugar and an alkali-soluble resin.
支持体上に赤外線感光層を有する平版印刷版を画像露光後、アルカリ現像液を用いて現像処理する処理方法において、現像開始時の該アルカリ現像液が非還元糖とアルカリ可溶性樹脂を含有することを特徴とする平版印刷版の処理方法。 - 特許庁 - To provide a radiation imaging apparatus and a radiation detection signal processing method for easily obtaining the time delay of radiation detection signals due to a radiation detection means from the radiation detection signals taken out from the radiation detection means.
放射線検出手段から取り出された放射線検出信号から放射線検出手段に起因する放射線検出信号の時間遅れを簡易に求めることができる放射線撮像装置および放射線検出信号処理方法を提供することを目的とする。 - 特許庁 - To provide a method for manufacturing a polymerization toner in which the residual polymerizable monomer amount is decreased significantly, by subjecting a water dispersion liquid containing colored polymer particles to a stripping process in the presence of a nonion surfactant, and in which the residual nonion surfactant amount is decreased significantly by a cleaning processing.
着色重合体粒子を含有する水分散液を非イオン界面活性剤の存在下にストリッピング処理することにより、残留重合性単量体量を顕著に低減し、洗浄処理によって残留非イオン界面活性剤量も顕著に低減した重合トナーを製造する。 - 特許庁 - To provide an image processing method which can output a uniform image having no graininess or density unevenness across all-tone regions from a low-density part to a high-density part from a low-density part when tone-expressing one pixel while making it associate with a plurality of areas (recording resolution) in a multi-pass recording.
マルチパス記録において、１画素を複数のエリア（記録解像度）に対応させて階調表現する場合、低濃度部から高濃度部の全階調領域に亘って、粒状感や濃度むらのない一様な画像を出力することが可能な画像処理方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a color developing solution for a silver halide color sensitive material whose resistance to the variation of the concentration in the plane caused by unevenness in development is suppressed in development treatment for a large-sized silver halide color sensitive material, and also to provide a method for processing a silver halide color sensitive material.
本発明の目的は、大判サイズのハロゲン化銀カラー感光材料の現像処理において、現像ムラに起因する面内濃度ばらつき耐性が改良されたハロゲン化銀カラー感光材料用発色現像液とハロゲン化銀カラー感光材料の処理方法を提供することにある。 - 特許庁 - To provide a method for easily and simply producing a tasty salted dried fish, having no need of using a saline solution or preparing a processing tank charged with the saline solution, and unnecessary for carrying out any forcible drying process such as sun dry, hot-air dry or cool-air dry.
食塩水あるいはそれを収容した処理槽を使用する必要がなく、天日乾燥、熱風乾燥、冷風乾燥等の強制的な乾燥処理を実施しなくても済み、しかも美味である塩干物を容易かつ簡単に製造できる方法を提供すること。 - 特許庁 - To provide a speech recognizing method, a speech recognition device, and a computer program that prevent recognition precision of a speech from decreasing when an impulse noise having a short duration and large time variation is superposed as an unsteady noise in a speech section, and perform speech recognition processing with high precision.
継続時間が短く時間変化が大きいインパルス雑音が非定常雑音として音声区間に重畳した場合の音声の認識精度の低下を防止し、高精度に音声認識処理を実行する音声認識方法、音声認識装置及びコンピュータプログラムを提供する。 - 特許庁 - To provide an image forming method for a silver halide photographic sensitive material by which high sensitivity and high contrast are ensured, to provide a silver halide photographic sensitive material having stable photographic properties even when the amount of a developing solution replenished is reduced and excellent in storage stability, and to provide a processing system for the material.
高感度かつ高コントラストであるハロゲン化銀写真感光材料の画像形成方法、及び現像液の補充量を低減させた場合にも写真性が安定であり、また、保存安定性に優れたハロゲン化銀写真感光材料及びその処理システムを提供すること。 - 特許庁 - To provide a communication control system capable of controlling an information providing device, or the like, connected to a network with a portable information terminal unconnected without having to perform complicated processing, and to provide a portable information terminal, a communication controller, a communication control method and a computer program.
携帯情報端末が接続されていないネットワークに接続されている情報提供装置等を、煩雑な処理を行うことなく制御することができる通信制御システム、携帯情報端末、通信制御装置、通信制御方法及びコンピュータプログラムを提供する。 - 特許庁 - In the production method of a plant protein product, a plant protein raw material is converted into particulates smaller than the plant protein cell body by processing the raw material with a single sell separation technology removing cell walls by using an enzyme derive from Bacillus subtilis or Bacillus natto.
植物性蛋白質原料を、枯草菌と納豆菌由来の酵素を用いて細胞壁を除去する単細胞分離技術によって処理して、植物性蛋白質細胞本体よりも小さな微粒になるようにする植物性蛋白質生成物の製造方法。 - 特許庁 - This cup container 11 is manufactured by a method wherein after the synthetic resin containing the antistatic is injected and molded into a cup shape, the circumferential wall 13 of the cup container 11 is arranged in a predetermined space between a corona discharging processor device and a mandrel and the corona discharging is applied for processing.
このカップ容器１１は、帯電防止剤を含有する合成樹脂によりカップ形状に射出成形した後、カップ容器１１の周壁１３をコロナ放電処理装置とマンドレルとの間に所定の隙間をおいて配置してコロナ放電処理することによって製造される。 - 特許庁 - To provide a routing apparatus, routing method, communication terminal device and packet communication system meeting a communication quality request of a terminal user by distributing an intra-network traffic load without introducing a novel laying device for accelerating and functionally improving packet exchange processing.
パケット交換処理の高速・高機能化のための新たな敷設装置を導入することなく、網内トラヒック負荷を分散し、端末利用者の通信品質要求を満たす経路選択装置、経路選択方法、通信端末装置及びパケット通信システムを提供すること。 - 特許庁 - To reuse a carbon material and a cured resin by providing a method of processing, which is excellent in safety and sanitation and in cost efficiency, and with which a carbon material/acid anhydride cured epoxy resin composite material is efficiently processed at a temperature equal to or lower than the temperature usually required for pyrolysis.
安全衛生上および経済性に優れ、なおかつ通常熱分解に必要とされる温度以下で効率的に炭素材料／酸無水物硬化エポキシ樹脂複合材料を処理することのできる処理方法を提供することで、炭素材料と樹脂硬化物を再利用する。 - 特許庁 - To provide an inexpensive imaging device that can attain image quality of an image, that is sufficient and superior on practical level or others by compensating deterioration in the image due to imaging optical system is corrected, even if employing a comparatively inexpensive imaging optical system having no high optical performance, and to provide a deteriorated image correction processing method and a storage medium.
比較的廉価な光学性能の高くない撮像光学系を用いても、撮像光学系による画像劣化が補正された、実用上充分な良好な画質を得ること等を可能とした廉価な撮像装置、画像劣化補正処理方法及び記憶媒体を提供する。 - 特許庁 - To simplify the constitution of an electrifying member and to minimize the manufacturing cost (material cost, processing cost and the like) thereof while uniformly electrifying a body to be electrified without causing irregularity as for an electrifying device, an electrophotographic device provided with the electrifying device and an electrifying method.
帯電装置及びこの装置を備える電子写真装置並びに帯電方法に関し、被帯電体を帯電ムラなく均一に帯電できるようにしながら、帯電部材を簡単な構成とし、帯電部材の製造にかかるコスト（材料費，加工費等）を低く抑えることができるようにする。 - 特許庁 - This mushroom cultivating method comprises cutting at 15-20 cm intervals Larix leptolepis shiitake log for Sparassis crispa cultivation, processing through-holes 3 followed by boiling, and scattering Sparassis crispa spawn on the top 1 of the shiitake log and on the other hand, using residual liquid extracted solution after boiling the Larix leptolepis shiitake log for boiling shiitake log excluding Larix leptolepis.
ハナビラ茸栽培用カラマツ原木を１５〜２０ｃｍ間隔に切断、通し穴３を加工した後煮沸し、ハナビラ茸種菌を原木上面１に散布する一方、カラマツ原木を煮沸後の残渣液的抽出液をカラマツ以外の原木の煮沸用に使用する。 - 特許庁 - To provide an image forming apparatus, an extended function combination generating method, a program, and a recording medium that easily specify a performance state of processing operation when extended functions are added to basic functions, and propose and provide an extended function configuration for maintaining constant performance.
基本機能に拡張機能が追加されたとき容易に処理動作のパフォーマンス状況を特定し、又一定のパフォーマンスを維持可能な拡張機能構成を提案及び提供を行なう画像形成装置、拡張機能組合作成方法、プログラム、及び記録媒体を提供することを課題とする。 - 特許庁 - To provide a flame-retardant finishing agent capable of imparting flame retardancy excellent in durability by after processing to a polyester-based fiber product; and to provide a flame-retardant finishing method by which the flame retardancy excellent in durability is imparted to the polyester-based fiber product by using the flame-retardant finishing agent.
ポリエステル系繊維品への後加工によって耐久性にすぐれる難燃性を付与することができる難燃加工剤と、そのような難燃加工剤を用いてポリエステル系繊維品に耐久性にすぐれる難燃性を付与することができる難燃加工方法を提供する。 - 特許庁 - This information processing method is provided to detect an information processor in which a retrieval service is operating, and to acquire the configuration information on a network of the detected information processor, and to acquire the distance information on the network with the information processor, and to associate the acquired configuration information and distance information for output.
検索サービスが稼動している情報処理装置を検出し、検出した情報処理装置のネットワーク上の構成情報を取得し、前記情報処理装置とのネットワーク上の距離情報を取得し、取得した構成情報と距離情報を関連付けて出力する。 - 特許庁 - To provide building materials, and their processing method, wherein the grain (edge grain or flat grain) of a annual ring pattern which has been almost negrected in the past is utilized as an interior, further even odd materials and the like hardly having any applications can be more effectively utilized, and an added value can be increased.
従来、殆ど省みられなかった年輪の模様である木目（柾目や板目）をインテリアとして生かし、また、あまり使い道のなかった端材等でも一層有効に利用することが可能で、且つ付加価値も大きくすることのできる建築材とその加工方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a heat-developable photosensitive material excellent in image preservability after image processing while using silver iodide-rich silver halide as photosensitive silver halide and giving an image of high image quality with high sensitivity and to provide an imaging method using such a heat- developable photosensitive material.
感光性ハロゲン化銀として沃化銀を高濃度に含有するハロゲン化銀を用いながら、画像処理後の画像保存性に優れ、高感度で高画質な画像が得られる熱現像感光材料およびこのような熱現像感光材料を用いた画像形成方法を提供する。 - 特許庁 - To provide an optical processing method taking an optical path of an optional beam from an objective surface to an image surface through an optical system as a reference axis and efficiently and precisely calculating a paraxial amount/an aberration amount developed around the axis and an optical processor using it.
物体面から光学系を介して像面に至る任意の光線の光路を基準軸として、その軸のまわりに展開した近軸量・収差量を効率的に正確に計算することができる光学処理方法およびそれを用いた光学処理装置を得ること。 - 特許庁 - A simple authentication method for collating ID with a password by using an e-mail is adopted to register the job applicant information, and while maintaining efficient system processing, a risk that an illegal affiliate point may be acquired by the registration of dummy job applicant information is reduced.
求職者情報の登録には、電子メールを用いてＩＤとパスワードを照合する簡易な認証方法を採用して、効率的なシステム処理を維持しながら、ダミーの求職者情報の登録によって不正にアフィリエイトポイントが獲得されるリスクを軽減する。 - 特許庁 - The graphic processing method includes: scanning the graphic element of the graphic to be processed to search for the outermost peripheral closed graphic; and displaying the scanned graphic element, a search start point, and a returning point, and a region surrounded by the scanned graphic element and hatched to identify the other region.
処理対象図形の図形要素を走査して最外周閉図形を探索するとともに、走査済みの図形要素、探索開始点、および折り返し点と、走査済みの図形要素によって囲まれる領域であって他の領域と識別できるようにハッチングした領域とを表示する。 - 特許庁 - To provide an information processor which detects defects in a plurality of IC tags mounted on recording paper, inhibits image data corresponding to the defective IC tag from being printed and recorded on the recording paper, reedits image data corresponding to the acceptable IC tag and prints the image on the recording paper, and an information processing method.
記録紙に装着された複数のＩＣタグの不良を検出し、不良ＩＣタグに対応する画像データの記録紙への印字記録を禁止し、良品ＩＣタグに対応する画像データを再編集し、記録紙へ画像を印字する情報処理装置及び情報処理方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a method and a device for a time division multiple access system, especially for a system conforming to ETSI HIPERLAN/2, which warrant that each connection has an average theoretical bit rate, which restrict jitter, and which optimize the use of signal processing.
時分割多元接続システム、特にＥＴＳＩ ＨＩＰＥＲＬＡＮ／２規格に準拠するシステムにおいて、各コネクションが平均的な理論的ビット速度を有することを保証し、ジッタを制限して信号処理の使用を最適化した、フレーム構築方法および装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a multidimensional space data structure and a method for updating and searching multidimensional space data with which the number of disk accesses in search processing can be reduced and improvement in a search performance can be attained by compressing rectangle position information in a multidimensional space with a partial space code.
多次元空間における矩形位置情報を部分空間符号で圧縮し、探索処理におけるディスクアクセス数の削減および探索性能の向上を図り得る多次元空間データ構造および多次元空間データの更新および探索方法を提供する。 - 特許庁 - To achieve a silicon wafer having the optimum DZ width and oxygen deposit density for a device to contribute to enhanced performance of the device by enabling to control the DZ width and the oxygen deposit density separately in a silicon wafer processing method and equipment for carrying out the same.
シリコンウェーハの処理方法及び該方法を実施する装置に関し、ＤＺ幅と酸素析出物密度をそれぞれ別個に制御することを可能にして、デバイスにとって最適のＤＺ幅と最適の酸素析出物密度とをもつシリコンウェーハを実現させ、デバイスの高性能化に寄与しようとする。 - 特許庁
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