MICRO-MACHINE SWITCH AND ELECTRONIC APPARATUS マイクロマシンスイッチ及び電子機器 - 特許庁
MICRO-MACHINE SWITCH AND ELECTRONIC EQUIPMENT マイクロマシンスイッチ及び電子機器 - 特許庁
MICRO ELECTRIC MACHINE SYSTEM AND MICRO ELECTRIC MACHINE SYSTEM MANUFACTURING METHOD 微小電気機械システムおよび微小電気機械システム製造方法 - 特許庁
MICROMACHINE AND ITS MANUFACTURE マイクロマシン、およびその製造方法 - 特許庁
MANUFACTURING METHOD OF MAGNETIC DRIVE MICRO-MACHINE SWITCH AND MAGNETIC DRIVE MICRO-MACHINE SWITCH 磁気駆動マイクロマシンスイッチの製造方法及び磁気駆動マイクロマシンスイッチ - 特許庁
FLEXURE FOR MICRO ELECTRONIC MACHINE DEVICE AND MICRO ELECTRONIC MACHINE DEVICE 超小型電子マシンデバイス用のフレクシュアおよび超小型電子マシンデバイス - 特許庁
MICROMACHINE, AND ITS MANUFACTURING METHOD マイクロマシン、およびその作製方法 - 特許庁
MICROMACHINE AND ITS MANUFACTURING METHOD マイクロマシンおよびその作製方法 - 特許庁
MICROMACHINE AND MANUFACTURING METHOD OF IT マイクロマシンおよびその製造方法 - 特許庁
MICRO-FOG RECOVERING DEVICE OF NC MACHINE NCマシンのマイクロフォグ回収装置 - 特許庁
ETCHING DEVICE, AND MICROMACHINE MANUFACTURING METHOD エッチング装置、マイクロマシーン製造方法 - 特許庁
MICROMACHINE SWITCH AND ITS DRIVE METHOD マイクロマシンスイッチ及びその駆動方法 - 特許庁
MICRO-MACHINE SWITCH AND ITS MANUFACTURING METHOD マイクロマシンスイッチ及びその製造方法 - 特許庁
FATIGUE TESTING MACHINE FOR MICRO/NANO MATERIAL マイクロ・ナノ材料用疲労試験装置 - 特許庁
MICROMACHINE SWITCH AND MANUFACTURE THEREOF マイクロマシンスイッチおよびその製造方法 - 特許庁
SPECIAL INJECTION UNIT FOR MICRO MOLDING MACHINE マイクロ成形機用特殊射出ユニット - 特許庁
MICRO-MACHINE FOR CONSTITUTING OPTICAL SWITCH FOR USING BIAXIAL MICRO-MIRROR 2軸マイクロミラーを用いた光学スイッチを構成するマイクロマシン - 特許庁
MICROMACHINE SWITCH AND METHOD OF MANUFACTURING IT マイクロマシンスイッチおよびその製造方法 - 特許庁
MICRO-MACHINE SENSOR AND ITS MANUFACTURE マイクロマシンセンサおよび該センサの製造方法 - 特許庁
VARIABLE OPTICAL DELAY LINE FOR MICRO ELECTRONIC MACHINE マイクロ電子機械可変光学遅延線 - 特許庁
MICROMACHINE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME マイクロマシン及びマイクロマシンの製造方法 - 特許庁
MICROMACHINE DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD 微小機械デバイス及びその製造方法 - 特許庁
DYNAMIC PRESSURE AIR BEARING OF MICRO ROTATION FLUID MACHINE マイクロ回転流体機械動圧空気軸受 - 特許庁
MICRO ROTOR MEMBER AND ROTARY ELECTRIC MACHINE OF THE SAME 微小ロータ部材と、その回転電気機械 - 特許庁
ROTOR STRUCTURE FOR ULTRAHIGH-SPEED MICRO ROTATING MACHINE 超高速マイクロ回転機械のロータ構造 - 特許庁
LED MODULE AND MICRO SPOT WELDING MACHINE LEDモジュール及びマイクロスポット溶接装置 - 特許庁
NANO/MICRO MACHINE DESIGNING/MACHINING METHOD AND SYSTEM ナノ・マイクロマシン設計・加工方法及びシステム - 特許庁
MICRO-POSITIONING DEVICE AND MACHINE TOOL CORRECTING METHOD 微細位置決め装置及び工具補正方法 - 特許庁
To provide a method of manufacturing a micromachine, and the micromachine which suppress corrosion of a structure. 構造体の腐蝕が抑制されたマイクロマシンの製造方法およびマイクロマシンを提供する。 - 特許庁
To provide a micro structure body, a micromachine having an electric circuit formed on the same substrate so as to control the micro structure body, and a method for manufacturing the micromachine. 微小構造体、当該微小構造体を制御する電気回路を同一基板上に形成したマイクロマシンおよびその作製方法を提供する。 - 特許庁
HIGH FREQUENCY MICRO-MACHINE SWITCH AND ITS MANUFACTURING METHOD 高周波マイクロマシンスイッチ及びその製造方法 - 特許庁
DRIVE CONTROL METHOD AND APPARATUS OF MICRO-MACHINE DEVICE マイクロマシンデバイスの駆動制御方法および装置 - 特許庁
MICRO-ELECTRIC MACHINE SYSTEM AND ITS MANUFACTURING METHOD 微小電気機械システムおよびその製造方法 - 特許庁
ROTATING ELECTRIC MACHINE AND MICRO GAS TURBINE HAVING THE SAME 回転電機およびそれを有するマイクロガスタービン - 特許庁
MICRO ELECTRO MECHANICAL MACHINE AND ITS FABRICATION METHOD マイクロエレクトロメカニカル機械およびその製造方法 - 特許庁
As a result, the micromachine can be made small. その結果、マイクロマシンを小型化することができる。 - 特許庁