MICRO-MACHINING TYPE PRESSURE SENSOR マイクロマシニング型の圧力センサ - 特許庁
MICRO COMPUTER HAVING TEMPERATURE SENSOR 温度センサ搭載のマイクロコンピュータ - 特許庁
MAGNETIC IMPEDANCE EFFECT MICRO-MAGNETIC SENSOR 磁気インピーダンス効果マイクロ磁気センサ - 特許庁
MANUFACTURING METHOD FOR MICRO-FLUX GATE SENSOR マイクロフラックスゲートセンサーの製造方法 - 特許庁
This method of protecting a micro-mechanical sensor structure embedded in a micro-mechanical sensor chip comprises fabricating the micro-mechanical sensor structure having a protective membrane; arranging the micro-mechanical sensor chip so that a surface of the protective membrane faces a second chip; and securing the micro-mechanical sensor chip to the second chip. 保護膜を備えたマイクロメカニカルセンサ構造体を製造し、保護膜の表面が第2のチップに面するようにマイクロメカニカルセンサチップを配置し、マイクロメカニカルセンサチップを第2のチップに固定する。 - 特許庁
MICRO-HEATER AND FLOW SENSOR USING IT マイクロヒータ及びそれを用いたフローセンサ - 特許庁
MICRO-MACHINE SENSOR AND ITS MANUFACTURE マイクロマシンセンサおよび該センサの製造方法 - 特許庁
MICRO INERTIA SENSOR AND MANUFACTURING METHOD THEREOF マイクロ慣性センサ及びその製造方法 - 特許庁
MICROMIXER, MICROMIXER CHIP AND MICROSENSOR マイクロミキサー、マイクロミキサーチップおよびマイクロセンサー - 特許庁
MICRO HEATER AND ITS MANUFACTURING METHOD, AND GAS SENSOR マイクロヒータ及びその製造方法とガスセンサ - 特許庁
MICRO CANTILEVER SENSOR RESONATING AT GAS-LIQUID INTERFACE 気液界面で共振するマイクロカンチレバーセンサ - 特許庁
To provide a method of protecting a micro-mechanical sensor structure embedded in a micro-mechanical sensor chip. マイクロメカニカルセンサチップに埋設されたマイクロメカニカルセンサ構造体を保護する方法を提供する。 - 特許庁
MICRO LENS OF IMAGE SENSOR AND ITS FORMING METHOD イメージセンサのマイクロレンズ及びその形成方法 - 特許庁
PACKING METHOD OF MICRO MASS MEASURING SENSOR 微少質量測定用センサーの包装方法 - 特許庁
MICRO-MASS SENSOR AND HOLDING MECHANISM OF ITS OSCILLATOR マイクロ質量センサとその発振子の保持機構 - 特許庁
THROUGH-HOLE STRUCTURE, MICRO RELAY AND ACCELERATION SENSOR スルーホール構造、及びマイクロリレー、並びに加速度センサ - 特許庁
MICRO MECHANICAL VACUUM SENSOR AND INFRARED BOLOMETER ELEMENT マイクロメカニカル真空センサ及び赤外線ボロメータ素子 - 特許庁
STRUCTURE AND METHOD FOR MOUNTING MICROSENSOR MODULE マイクロセンサモジュールの実装構造および実装方法 - 特許庁
MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM ACCELERATION SENSOR AND METHOD FOR MANUFACTURING MICRO PHOTO MECHANICAL SYSTEM ACCELERATION SENSOR 微小光電気機械素子加速度センサおよび微小光電気機械素子加速度センサ製造方法 - 特許庁
MICRO-PIEZOELECTRIC SENSOR PROVIDED BY ADDING THICKNESS MODE OSCILLATION TO SURFACE ACOUSTIC WAVE SENSOR 表面弾性波センサに厚みモード振動を付加したマイクロ圧電センサ - 特許庁
MICRO TEMPERATURE SENSOR USING HEAT SENSITIVE RESISTIVE ELEMENT MATERIAL 感熱抵抗体材料を用いたマイクロ温度センサ - 特許庁
METHOD OF MANUFACTURING MICRO HEATER AND MASS FLOW SENSOR マイクロヒータ製造方法および質量流量センサ - 特許庁
MICRO THERMAL EXPANSION TEMPERATURE SENSOR USING THERMAL EXPANSION MATERIAL 熱膨張材料を用いたマイクロ熱膨張温度センサ - 特許庁
SOLID ELECTROLYTE TYPE MICRO GAS SENSOR AND ITS MANUFACTURING METHOD 固体電解質型マイクロガスセンサおよびその製造方法 - 特許庁
METHOD OF MANUFACTURING MICRO-MACHINE AND ELECTROSTATIC CAPACITY TYPE SENSOR マイクロマシン及び静電容量型センサの製造方法 - 特許庁
STRUCTURE AND METHOD FOR MOUNTING MICRO-FABRICATION SENSOR マイクロ加工センサの実装構造及びその実装方法 - 特許庁
A micro temperature sensor 8, a micro pressure sensor 9 and a gas analyzer 10 control operation of the micro pump array 5 through a mounted microcomputer 11. マイクロ温度センサ8、マイクロ圧力センサ9およびガス分析器10は、搭載されたマイクロコンピュータ11を介してマイクロポンプアレイ5の動作を制御可能である。 - 特許庁
To provide a Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) sensor. 微小電気機械システム(MEMS)センサを提供すること。 - 特許庁
MICRO-AIR BRIDGE HEATER, METHOD OF MANUFACTURING THE SAME AND FLOW SENSOR マイクロエアブリッジヒータおよびその製造方法並びにフローセンサ - 特許庁
This micro heat flux sensor array comprises a substrate 10, and an upper sensor and a lower sensor that are formed on both the sides of the substrate. 基板10と、基板の両面にそれぞれ形成された上部センサ及び下部センサを含む。 - 特許庁
To provide a micro mechanical vacuum sensor for determining the pressure within a cavity of a micro mechanical element. マイクロメカニカル素子のキャビティ内の圧力を求めるマイクロメカニカル真空センサが提供される。 - 特許庁
A micro-lens array 3 has micro-lenses arrayed in one-to-one correspondence with the apertures of the image sensor 1. マイクロレンズアレイ3は、イメージセンサ1の開口部と一対一に配列された微小レンズを有する。 - 特許庁
This is the reconfigurable linear array of micro-machined sensors (for example, an optical sensor, a temperature sensor, a pressure sensor and an ultrasonic sensor). マイクロマシニング加工が施されたセンサ(たとえば、光センサ、温度センサ、圧力センサ、超音波センサ)の再構成可能なリニアアレイ。 - 特許庁