The micro device includes a thin film coil 23. 薄膜コイル23を含む。 - 特許庁
MICRO THIN FILM MOVABLE ELEMENT, MICRO THIN FILM MOVABLE ELEMENT ARRAY, AND METHOD OF DRIVING MICRO THIN FILM MOVABLE ELEMENT 微小薄膜可動素子および微小薄膜可動素子アレイ並びに微小薄膜可動素子の駆動方法 - 特許庁
MICRO THIN FILM MOVABLE ELEMENT FOR OPTICAL COMMUNICATION, AND MICRO THIN FILM MOVABLE ELEMENT ARRAY 光通信用微小薄膜可動素子及び微小薄膜可動素子アレイ - 特許庁
THIN-FILM MICRO-INDUCTOR AND ITS MANUFACTURING METHOD 薄膜マイクロインダクタ及びその製造方法 - 特許庁
GENERATOR FOR MICRO SYSTEM HAVING DOUBLE THIN FILM 二重薄膜を有するマイクロシステム用発電機 - 特許庁
MICRO ROUGHNESS EVALUATING METHOD OF THIN FILM SOI WAFER 薄膜SOIウェーハのマイクロラフネス評価方法 - 特許庁
MANUFACTURING METHOD FOR THIN FILM MICRO-MECHANICAL RESONATOR GYRO 薄膜微小機械式共振子ジャイロの製造方法 - 特許庁
THIN FILM MEMBER, MICRO-ACTUATOR, OPTICAL DEVICE, AND OPTICAL SWITCH 薄膜部材、マイクロアクチュエータ、光学装置及び光スイッチ - 特許庁
METHOD FOR UNIFORM COATING OF MICRO THIN FILM OF METALLIC POWDER 金属粉末のマイクロ薄膜の均一なコーティング方法 - 特許庁
THIN FILM FORMING METHOD AND MANUFACTURING METHOD OF MICRO-DEVICE 薄膜形成方法およびマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁
THIN FILM STRUCTURE BODY, MICRO-ACTUATOR, OPTICAL SHUTTER DEVICE, LIGHT FLUX ADJUSTING DEVICE, AND MICRO-SWITCH 薄膜構造体、マイクロアクチュエータ、光シャッタ装置、光束調整装置及びマイクロスイッチ - 特許庁
METHOD OF FORMING PATTERNED THIN FILM AND METHOD OF MANUFACTURING MICRO-DEVICE パターン化薄膜形成方法およびマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁
To provide a method for uniform coating of a micro thin film of metal. 金属マイクロ薄膜の均一なコーティング方法を提供する。 - 特許庁
THIN FILM BULK ACOUSTIC RESONATOR AND MICRO ELECTROMECHANICAL SYSTEM DEVICE 薄膜バルク音響共振子およびマイクロ電気機械システムデバイス - 特許庁
METHOD FOR FORMING PATTERNED THIN FILM AND METHOD FOR MANUFACTURING MICRO DEVICE パターン化薄膜形成方法およびマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁
THIN MICRO CAPSULE MAGNETIC MIGRATION DISPLAY SHEET AND ITS USING METHOD 薄型マイクロカプセル磁気泳動表示シート及びその使用方法 - 特許庁
PATTERNED THIN FILM FORMING METHOD AND METHOD OF MANUFACTURING MICRO DEVICE パターン化薄膜形成方法およびマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁
THIN FILM TRANSISTOR USED AS HEATING ELEMENT FOR MICRO- REACTION CHAMBER マイクロ反応室用加熱要素として使用する薄膜トランジスタ - 特許庁
METHOD FOR PRODUCING THIN WALL MICRO CERAMIC TUBE BY SILICON-BASED POLYMER BLEND ケイ素系ポリマーブレンドによる薄壁マイクロセラミックチューブの製造方法 - 特許庁
THIN FILM EXAMINING METHOD AND APPARATUS, AND MICRO- DEVICE MANUFACTURING METHOD 薄膜検査方法および装置ならびにマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁
HEAT EXCHANGING MATERIAL OF HOLLOW FIBROUS STRUCTURE HAVING MICRO THIN HOLE ミクロな細孔を有する中空繊維状構造体による熱交換材 - 特許庁
THIN FILM PIEZO-ELECTRIC MICRO ACTUATOR, AND HEAD GIMBAL ASSEMBLY OR DISK DRIVE UNIT 薄膜圧電マイクロアクチュエータ及びヘッドジンバルアセンブリ又はディスクドライブユニット - 特許庁
To provide a thin device equipped with a semiconductor element and a micro machine. 半導体素子及びマイクロマシンを有する薄いデバイスを提供する。 - 特許庁
THIN-FILM CIRCUIT CARRYING MICRO MACHINE PROBE AND ITS MANUFACTURING METHOD AND APPLICATION THEREFOR マイクロマシンプローブを搭載した薄膜回路及びその製造法と応用 - 特許庁
MICRO-MECHANICAL STRUCTURAL MEMBER HAVING THIN FILM CAP, AND ITS MANUFACTURING METHOD 薄膜キャップを有するミクロメカニカル構造部材およびその製造方法 - 特許庁
MICRO-PATTERNED THIN FILM ELECTRODE AND LITHIUM SECONDARY BATTERY USING THE SAME AS NEGATIVE ELECTRODE 微細パターン化薄膜電極と、これを負極とするリチウム二次電池 - 特許庁
ULTRA THIN PACKAGE FOR ELECTRIC ACOUSTIC SENSOR CHIP OF MICRO ELECTROMECHANICAL SYSTEM 微小電気機械システムの電気音響センサーチップの超薄型パッケージ - 特許庁
THIN MAGNETIC FILM INDUCTOR ELEMENT AND MICRO POWER CONVERSION DEVICE USING THE SAME 薄膜磁気誘導素子とそれを用いた超小型電力変換装置 - 特許庁
EVALUATING METHOD AND MICRO BALANCE SYSTEM FOR SWELLING THIN-FILM 膨潤性薄膜評価方法および膨潤性薄膜用マイクロバランスシステム - 特許庁
ON-LINE FLOW INJECTION PRETREATMENT SYSTEM FOR COLLECTION AND CONCENTRATION USING MICRO THIN FILM LAYER オンライン微小薄膜層捕集濃縮フローインジェクション前処理システム - 特許庁
THIN-FILM MICRO-MACHINE TYPE RESONATOR, THIN-FILM MICRO- MACHINE TYPE RESONATOR GYROSCOPE, NAVIGATION SYSTEM AND AUTOMOBILE USING THE RESONATOR GYROSCOPE 薄膜微小機械式共振子、薄膜微小機械式共振子ジャイロ、この薄膜微小機械式共振子ジャイロを用いたナビゲーションシステム及び自動車 - 特許庁
To provide a micro lens (with a thin thickness) the aspect ratio of which is less than 0.14. アスペクト比が0.14未満の(薄い厚みの)マイクロレンズ提供することである。 - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING OPTICAL DEVICE WITH RESIN THIN FILM HAVING MICRO RUGGED PATTERN マイクロ凹凸パターンを有する樹脂薄膜を備えた光学素子の製造方法 - 特許庁
To provide a micro thin film pinhole mask which has yet been realized. 今まで実現されていなかった微小な膜厚のピンホールマスクを提供する。 - 特許庁
METHOD OF FORMING MASK, METHOD OF FORMING PATTERNED THIN FILM AND METHOD OF MANUFACTURING MICRO DEVICE マスク形成方法、パターン化薄膜形成方法およびマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁
MASK FORMING METHOD, PATTERNING METHOD FOR THIN FILM AND MANUFACTURING METHOD OF MICRO DEVICE マスク形成方法、パターン化薄膜形成方法およびマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING MASK PATTERN, METHOD FOR PATTERNING THIN FILM AND METHOD FOR PRODUCING MICRO DEVICE マスクパターンの作製方法、薄膜のパターニング方法、及びマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁
METHOD AND SYSTEM FOR DETECTING THICKNESS OF GRAPHENE OR MICRO-THIN FILM OF GRAPHITE グラフェン又は超薄膜グラファイトの厚さ検出方法および厚さ検出システム - 特許庁
THIN FILM FOR CONTACT ELECTRODE OF MICRO-MACHINE SWITCH, AND SPUTTERING TARGET FOR DEPOSITING THIN FILM FOR CONTACT ELECTRODE マイクロマシンスイッチの接触電極用薄膜およびこの接触電極用薄膜を形成するためのスパッタリングターゲット - 特許庁
To provide a micro device having a fine patterned thin film capable of exerting stable and constant characteristics, and especially, a thin film inductor or a thin film magnetic head. 微細なパターン化薄膜を有し、安定した一定の特性を発揮し得るマイクロデバイス、特に、薄膜インダクタまたは薄膜磁気ヘッドを提供する。 - 特許庁
METHOD FOR FORMING RESIST PATTERN, METHOD FOR FORMING THIN-FILM PATTERN AND MANUFACTURING METHOD FOR MICRO-DEVICE レジストパターンの形成方法、薄膜パターンの形成方法及びマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁
To provide a MEMS (Micro Electro Mechanical System) device with a thin piezoelectric actuator. 薄膜圧電アクチュエータを備えるMEMS(微小電子機械システム)デバイスを提供する。 - 特許庁
A thin film heater 97 is interposed between the micro-passage 95 and the cavity 94. また、マイクロ流路95と空洞94との間には、薄膜ヒータ97が介在している。 - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING RESIST PATTERN, METHOD FOR PATTERNING THIN FILM AND METHOD FOR PRODUCING MICRO DEVICE レジストパターンの作製方法、薄膜のパターニング方法、及びマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁
Based on the compliance at the thin part 40t of the reservoir 49, micro vibration control signal generating means 9, 11 generate micro vibration control signals. リザーバ49の薄肉部40tのコンプライアンスに基づいて、微振制御信号発生手段9、11が、微振制御信号を発生する。 - 特許庁
To provide a thin-film micro-inductor easily mounted on a glass epoxy board without damaging inductance characteristics, shortening a process and being capable of thinning a thickness; and to provide a manufacturing method for the thin-film micro-inductor. インダクタンス特性を損なうことなくガラスエポキシ基板への実装を容易にし、工程を短縮し、厚みを薄くできる薄膜マイクロインダクタおよびその製造方法を提供する。 - 特許庁
The infrared sensor having a micro bridge structure using the cobalt base oxide thin film is provided. コバルト系酸化物薄膜を用いたマイクロブリッジ構造を有する赤外線センサを提供する。 - 特許庁
RESIST PATTERN, RESIST PATTERN FORMING METHOD, THIN FILM PATTERN FORMING METHOD, AND METHOD FOR PRODUCING MICRO- DEVICE レジストパターンおよびその形成方法、薄膜パターン形成方法ならびにマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁
To provide a process for producing a ferroelectric thin film or a high dielectric thin film at an extremely low temperature suitable for fabrication process of micro LSI. 微細LSIの製造プロセスに適する極めて低い温度で、強誘電体薄膜又は高誘電体薄膜を製造する。 - 特許庁