THIN FILM ADHESIVE STRENGTH MEASURING METHOD USING MICROSCRATCH TESTING MACHINE マイクロスクラッチ試験機を使用した薄膜付着強度測定方法 - 特許庁
Thus, a microscratch can be prevented from forming a deep scratch by the insulating plug 212a. よって、絶縁プラグ212aによれば、マイクロスクラッチが深いスクラッチを形成することを防止することができる。 - 特許庁
To obtain a chemical-mechanical polishing device comprising a cleaning fluid pipe for suppressing microscratch phenomenon on a wafer. ウェーハ上のマイクロスクラッチ現象を抑制するためのクリーニング流体管を含む化学機械的研磨装置を提供する。 - 特許庁
To prevent a semiconductor device from being short-circuitted due to a microscratch. マイクロスクラッチによる半導体装置のショートが生じないようにする浅い溝状の絶縁部を形成する方法を提供することである。 - 特許庁