「microstructure」を含む例文一覧(960)
＜前へ 1 2 .... 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 次へ＞- To provide a production method for a resin structure having high flatness, for forming a resin microstructure in the step portion of a substrate having a step on the surface.
表面に段差を有する基板の該段差部に微細樹脂構造体を形成する場合において、高い平坦性を有する樹脂構造体を製造する方法等を提供することを目的とする。 - 特許庁 - To obtain a polybenzazole fiber having higher strength and higher modulus of elasticity than those of the conventional fiber, extremely high compressive strength and a specific microstructure, useful as a material for various industries.
従来の繊維に比べて高強度と高弾性率を合わせ持ちかつ圧縮強度が極めて大きい特異な微細構造を有する各種産業用資材に有用なポリベンザゾール繊維を提供すること。 - 特許庁 - To provide nondestructive measurement equipment that realizes more accurate measurement of information related to the depth direction of the microstructure of a semiconductor device including hall structure, line structure, and trench structure.
ホール構造やライン構造、トレンチ構造を始めとした半導体デバイスの微細構造の深さ方向に関する情報をより精度良く測定することが可能な非破壊測定装置を提供すること。 - 特許庁 - A side surface of the table 1 is provided with a first component supply unit 9, a grabbing manipulator 11, a second component supply unit 13, and a welding head 15 for assembling the microstructure.
テーブル１の側面には微小構造体を組み立てるための第１部品供給ユニット９、把持式マニピュレータ１１、第２部品供給ユニット１３及び溶接ヘッド１５が配置されている。 - 特許庁 - Dry etching is used for the anti-sticking film removal and a low-cost wet etching process can be used as it is for the sacrificial layer removal, so that the microstructure can be manufactured at a low cost.
さらに、乾式エッチングにより粘着防止膜を除去し、犠牲層除去時には安価の湿式エッチング工程をそのまま利用できるので低廉に微細構造物を製造できる効果がある。 - 特許庁 - The fastener material of the titanium alloy is characterized by having a microstructure of an α+β type, 10% to 90% by volume fraction of a pro-eutectoid α-phase, and a grain size of 10 μm or smaller.
ミクロ組織がα＋β型であり、初析α相の体積分率が10％以上90％以下、初析α相の結晶粒径が10μm以下であることを特徴とするチタン合金ファスナー材。 - 特許庁 - This master pattern having a dimensional shape of reversing the microstructure 11, is manufactured by forming a large number of groove parts having a desired dimension and the high aspect ratio, by using elliptically vibrating cutting work.
楕円振動切削加工を使用して、所望の寸法と高いアスペクト比とを有する多数の溝部が形成され、微細構造体１１が反転された寸法形状を有するマスター型が製造される。 - 特許庁 - To provide a method for manufacturing a titanium stock for a target having both a microstructure with a fine and uniform grain size and a macrostructure of excellent surface properties of the titanium stock with no surface pattern.
結晶粒度が微細で均一なミクロ組織と、チタン材の表面が無模様で表面性状に優れたマクロ組織とを兼ね備えたターゲット用チタン素材を製造する方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a mold for a deformed semispherical microstructure such as an oval spherical element suitable as a mirror for coupling lights in horizontal and vertical directions, a micro-concave mirror, and a method for manufacturing the same.
水平方向と垂直方向の光を結合するミラーなどとして適した楕円球体などの変形半球状マイクロ構造体用の金型、マイクロ凹面鏡、及びその作製方法である。 - 特許庁 - The method includes the process of applying a charged particle beam (51) to the microstructure, and the beam is constructed to operate the element in an alternate movement manner, depending on the degree of freedom of the element.
その方法は、当該微細構造に荷電粒子ビーム（５１）を作用する工程を備えており、そのビームは、エレメントの自由度に依存して交互運動に当該エレメントを動かすように構成されている。 - 特許庁 - To provide a through electrode capable of being manufactured in a short time, exhibiting sufficient airtightness, and capable of reducing the warpage of a substrate, and a microstructure, and methods for manufacturing them.
短時間で製造することができ、十分な気密性を有するとともに、基板の反りを低減させることができる貫通電極、微小構造体及びそれらの製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide an electron emitting element superior in electron emitting ability, its uniformity, and stability, and which is composed of a simple structure not having microstructure to require micro-fabrication and in which a diamond emitter is formed.
電子放出能及びその均一性、安定性に優れ、かつ極微細加工を要する極微構造を持たない容易な構造からなる、ダイヤモンドエミッタが形成された電子放出素子を提供する。 - 特許庁 - A substrate current measurement part 100 sequentially projects an electronic beam at a predetermined angle to scan a region with the microstructure by different irradiation energy, and then measures a substrate current at that time.
基板電流測定部１００は、微細構造が形成された領域に対して、所定の照射角度で電子ビームを順次異なる照射エネルギで走査し、その時の基板電流を測定する。 - 特許庁 - To provide a method and device of manufacturing a microstructure, capable of reducing the frequency of remachining an electrode and shortening a total machining time without worsening the machining precision of a machined shape.
加工形状の形状精度の悪化を招かず、電極の再加工の頻度を低減し、トータルの加工時間を短縮することのできる微小構造体の製造方法および装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a process for producing conjugated diene polymer having a regulated microstructure in a catalytic system using a metallocene type complex of a group V transition metal compound in the periodic table with a high polymerization activity.
周期律表第５族遷移金属化合物のメタロセン型錯体を用いた触媒系で、ミクロ構造が制御された共役ジエン重合体を高い重合活性で製造する方法を提供する。 - 特許庁 - Still another step includes rupturing, at least a portion of the plurality of the adhesive microcapsules dispensing the adhesive substance between the end portion of the wall microstructure and the first side of the second substrate.
さらなるステップは、複数の接着剤マイクロカプセルの少なくとも一部を破壊して、壁のマイクロ構造の端部と第２の基板の第１の側との間に接着性物質を施すことを含む。 - 特許庁 - To provide a manufacturing method of a nickel sulfide film with a large specific surface area having a three-dimensional microstructure for enhancing the catalytic ability in nickel sulfide effective for a catalytic material.
触媒材料として有効な硫化ニッケルにおいて、触媒能を増強させるために３次元的な微細構造を備えた比表面積の大きい硫化ニッケル膜の製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a high strength cold rolled steel sheet having good workability and high dynamic impact energy absorptivity by limiting the components in the steel sheet and its microstructure, and to provide its production method.
本発明は、鋼板の成分とミクロ組織を限定する事によって、高い動的な衝撃エネルギー吸収能を有する良加工性高強度冷延鋼板とその製造方法を提供する。 - 特許庁 - From the microstructure of a FePt thin film observed by an electron microscope, the island shapes of FePt particulate is confirmed, and the islands are completely isolated from one another.
電子顕微鏡により観察されたＦｅＰｔ薄膜の微細構造からは、ＦｅＰｔ微粒子の形状が島状になっていることが確認され、個々の島は互いに完全に孤立している。 - 特許庁 - To provide an observation method for a microstructure of a polymeric material capable of analyzing a phase separation structure, a lamellar structure and an oriented state of a crystal of the polymeric material by a scanning electron microscope.
走査型電子顕微鏡により高分子材料の相分離構造、ラメラ構造および結晶の配向状態を解析することが可能な高分子材料の微細構造の観察方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a forming method for a microstructure, having high degree of freedom for shape in both surfaces of a sectional form and a plane form without mechanical damage caused in a base plate and a die.
基板や金型に機械的なダメージを生じさせることなく、断面形状及び平面形状の両面において形状の自由度が高い微小構造体の形成方法を提供する。 - 特許庁 - The most general application is the reduction of the reading/writing dimensions of a thin-film magnetic head and this method is usable in the arbitrary technology in which the manufacture of the microstructure having the high aspect ratio is important.
直近の応用は、薄膜磁気ヘッドの読取り／書込み寸法の低減であるが、本発明は、高い縦横比を有する微小構造の製造が重要な任意の技術で使用することができる。 - 特許庁 - A light shaping micro-sculpted surface structure 34 is provided on one side of a substrate layer 30 wherein the microstructure controls the directionality, gain, homogeneity and shape distribution of propagated light.
光を成形する微細凹凸表面構造３４が基板層３０の一方の側に設けられ、この微細形状が、伝搬される光の方向性、利得、均一性及び形状分布を制御する。 - 特許庁 - The objective macromolecular porous material is produced by forming a microstructure of phase separation (4) with a complex formed from a template compound (1) and a precursor polymer (2) that can weakly act on the template compound (1) mutually, converting the precursor polymer (2) to the matrix polymer, as the microstructure of phase separation (4) is maintained, and removing the template compound (1).
本発明の高分子微多孔材料の製造方法は、テンプレート化合物（１）と、テンプレート化合物（１）と弱い相互作用が可能な前駆体ポリマー（２）とからなる複合体によりミクロ相分離構造（４）を形成させ、形成されたミクロ相分離構造（４）を維持しつつ、前駆体ポリマー（２）をマトリックスポリマー（３）に変化させ、かつテンプレート化合物（１）を除去することにより、高分子微多孔材料を製造することを特徴とする。 - 特許庁 - The manufacture method of the microstructure, which applies a photosensitive material on a substrate having an electrode for plating, forms a linear pattern of the exposed electrode on the substrate by patterning with exposure light, fill metal on the pattern with plating, to form the microstructure, comprises forming the linear pattern so that an intersecting angle of the linear pattern may exceed 90 degrees.
メッキ用電極を備えた基板上に感光性材料を設け、露光光を用いてパターニングすることで、前記メッキ用電極を前記基板上に露出させて形成された線状パターン上に、金属をメッキによって充填し、マイクロ構造体を形成するようにしたマイクロ構造体の作製方法において、前記線状パターンを形成するに際して、該線状パターンの交差する角度を９０度を超えるように構成する。 - 特許庁 - The microstructure array has a substrate 1 having conductive parts 2, a first plating layer or electrodeposition layer 6 having a curved shape arranged corresponding to the arrangement of the desired microstructure array formed on the conductive part 2 on one surface of the substrate 1, and the layered structure 8 having stress almost equal to that of the layered structure on one surface of the substrate and formed on the other surface of the substrate 1.
マイクロ構造体アレイは、導電性部２を有する基板１と、基板１の一方の面の導電性部２上に形成された所望のマイクロ構造体アレイの配列に対応して配列された曲面形状の第１のメッキ層ないし電着層６と、この一方の面上の層構造とほぼ等しい応力を有し基板１の他方の面上に形成された層構造８とを有する。 - 特許庁 - Thus, etching efficiency of the separation layer 97 is improved, and time required for a process of separating the substrate 96 by removing the separation layer 97 is shortened so that this microstructure can be manufactured in a short time.
これにより、剥離層９７のエッチング効率を向上し、剥離層９７を除去して基板９６を分離する工程に必要な時間を短縮し、微細構造体を短時間で製造できるようにする。 - 特許庁 - This microstructure includes: a substrate 9; a fixed support part 4 fixed to the substrate 9; a first movable part 6; a second movable part 3; and an elastic support part 5 elastically connecting the first movable part 6 and the fixed support part 4.
マイクロ構造体は、基板９と、基板９に固定された固定支持部４と、第１の可動部６と、第２の可動部３と、第１の可動部６と固定支持部４とを弾性的に連結する弾性支持部５を有する。 - 特許庁 - To provide a flexible molding die useful for manufacturing a microstructure body such as a PDP rib of a lattice pattern and capable of manufacturing in high accuracy without generating bubbles and without entailing any defects such as a pattern deformation.
格子パターンのＰＤＰリブやその他の微細構造体を製造するのに有用で、気泡の発生、パターンの変形等の欠陥を伴わないで高精度に製造できる可とう性成形型を提供すること。 - 特許庁 - Subsequently, a fine crystal type iron-base alloy magnet having a homogenous microstructure with an average crystal grain size between 5 nm and 40 nm inclusive and a standard deriation σ of 2.5 nm or lower is manufactured by a thermal crystallization treatment.
次に、結晶化熱処理によって、結晶粒径の平均が５ｎｍ以上４０ｎｍ以下、標準偏差σが２．５ｎｍ以下の均質微細組織を有する微細結晶型鉄基合金磁石を作製する。 - 特許庁 - To provide a liquid immersion inclined lithography apparatus, not only performing normal and inclined exposure process steps, but also accurately controlling the exposure angle and adjusting the inclined angle of a microstructure after exposure.
垂直露光工程および傾斜露光工程を行うことが可能である上、露光角度を精確に制御し、露光後の微細構造の傾斜角度を調整することが可能な液浸傾斜リソグラフィ装置を提供する。 - 特許庁 - Alternatively, the method includes hydrophilic treatment of a surface of the microstructure having the wall body, treatment of the surface with a liquid followed by drying of the surface.
または、壁体が形成された微細構造体の表面を親水化処理し、前記表面を液体により処理し、前記表面の乾燥を行うこと、を特徴とする微細構造体の製造方法が提供される。 - 特許庁 - To provide a microstructure such as a mold for a microlens array or the like capable of easily forming an aspherical or non-cylindrical surface shape, capable of forming the microlens array with a large area and capable of enhancing a fill factor, and a method for manufacturing the same.
容易に非球面ないし非円筒面形状を作製でき、大面積なアレイ化が可能で、フィルファクターが高くできるマイクロレンズアレイ用金型等のマイクロ構造体、及びその作製方法である。 - 特許庁 - To obtain a catalyst system for synthesizing a rubbery polymer such as a polybutadiene rubber, a styrene-butadiene rubber, an isoprene-butadiene rubber or a styrene-isoprene-butadiene rubber, etc., which is amine functionalized and has a high trans microstructure.
本発明は、アミン官能化されており、高トランス微細構造を有する、ポリブタジエンゴム、スチレン−ブタジエンゴム、イソプレン−ブタジエンゴム、またはスチレン−イソプレン−ブタジエンゴムなどのゴム状ポリマーを合成するための触媒系に関する。 - 特許庁 - To provide a method of manufacturing a semiconductor device in which an LaO film is etched with high precision to leave an LaO film in a predetermined region in a microstructure like a CMOS semiconductor device after hp45 nm.
ｈｐ４５ｎｍ以降のＣＭＯＳ半導体装置のような微細構造において、ＬａＯ膜を高精度でエッチングして所定の領域にＬａＯ膜を残すことができる半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide foam made by photopolymerizing an emulsion comprising a reactive phase and a phase immiscible with reactive phase components and closed or open cell foam depending on the microstructure of an initial emulsion.
本発明により、反応性相および反応性相成分と不混和性の相を含むエマルジョンを光重合して製造され、最初のエマルジョンの微細構造次第で、独立または連続気泡であるフォームを提供する。 - 特許庁 - To provide a method of forming a component from a γ' precipitation-strengthened nickel-base superalloy so that, following a supersolvus heat treatment the component characterized by a uniformly-sized grain microstructure is formed.
γ′析出強化ニッケル基超合金から部品を形成する方法であって、スーパーソルバス熱処理後に望ましい実質的に均一な結晶粒径分布で特徴付けられる部品を形成する方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a microstructure and to provide its manufacturing method without producing a bridge piece in a rising part of a conductive terminal or a conductive terminal line formed into an overhanging shape in a form where a part thereof lifted from a board with a gap.
基板からその一部が隙間をもって浮いた状態のオーバーハング状に形成される導電端子または導電端子列の立ち上がり部にブリッジ片を生じないマイクロ構造体とその製造方法を得る。 - 特許庁 - To provide a material tester of a simple arrangement which is capable of measuring the strength of a dissimilar material connecting structure with high accuracy while applying displacement on a microscopic order to a sample constructed of a microstructure, such as an electronic device.
電子デバイス等の微小構造物からなる供試体にマイクロオーダの変位を加えながら、その異種材接合構造等の強度を高精度に計測することのできる簡易な構成の材料試験機を提供する。 - 特許庁 - To provide a surface treatment method for a surface treatment member capable of forming a microstructure to a desired position regardless of the quality of the material and the shape of the surface treatment member.
本発明では、被表面処理部材の材質および形状を問わず、所望の位置に微細構造体を形成することができる、被表面処理部材の表面処理方法を提供することを目的とする。 - 特許庁 - To the front surface WS1 of the substrate W on which a microstructure, such as the wiring pattern etc., is formed, a cleaning fluid, which is reduced in dissolved gas concentration by means of a gas deaerating section 81, and to which an ultrasonic wave is imparted, is supplied.
配線パターン等の微細構造が形成された基板Ｗのおもて面ＷＳ１には、ガス脱気部８１によって溶存ガス濃度を低下させた洗浄液に超音波が付与されたものが供給される。 - 特許庁 - The MoSi_2-SiC nanocomposite coating layer having a microstructure in which SiC particles are distributed in an equiaxed MoSi_2 grain boundary is constituted on a surface of refractory metals such as Mo, Nb, Ta, W and their alloys.
モリブデン、ニオビウム、タンタル、タングステンなどの高融点金属またはこれらの合金の表面上に、等軸晶のMoSi_2結晶粒界にSiC粒子が分布された微細組織を有するMoSi_2-SiCナノ複合被覆層を構成する。 - 特許庁 - Thus, the beam 13 partly different in thickness is provided to restrain an increase in spring constant in the direction of height of the beam and reduce warp of the beam 13 in the microstructure 10.
このように部分的に厚さが異なる梁１３を設けることにより、微細構造体１０では、梁１３の高さ方向のバネ定数の増加を抑制するとともに梁１３の反りを低減することが可能となる。 - 特許庁 - These microstructure bodies are formed by mixing an isopropyl alcohol solution containing a metal peroxide with a toluene solution containing fullerenes at a low temperature of -90 to 5°C.
この中空六角柱状フラーレン微細構造体は金属過酸化物を含むイソプロピルアルコール溶液と、フラーレン類を含むトルエン溶液を−９０℃以上５℃以下の低温条件下で混合することにより生成する。 - 特許庁 - The optical element using localized surface plasmon resonance comprises a dielectric substrate, and a first metal microstructure group, where a plurality of metal microstructures are supported in the in-plane direction by the dielectric substrate.
局在表面プラズモン共鳴を利用する光学素子であって、誘電体基板と、誘電体基板により複数の金属微細構造体が面内方向に支持されている第１の金属微細構造体群とを有する。 - 特許庁 - In addition, a microstructure mixing the rutile crystal TiO_2 and an anatase crystal TiO_2 is formed by forming the part 2a irradiated with the ions into the anatase crystal TiO_2 by heat treatment at 900°C or lower.
また、イオンを照射した部分２aを９００℃以下で熱処理することによりアナターゼ型結晶ＴｉＯ_2にすることにより、ルチル型結晶ＴｉＯ_2とアナターゼ型結晶ＴｉＯ_2とが混在した微細構造を形成する。 - 特許庁 - Thin PTFE layers are described having little or no node and fibril microstructure and methods of manufacturing the PTFE layers are disclosed that allow for controllable permeability and porosity of the layers.
ノードおよびフィブリルミクロ構造を僅かに有しているか或は有していない薄いＰＴＦＥ層を説明し、制御可能な浸透性および多孔性を見込んでいるＰＴＦＥ層を製造する方法を開示する。 - 特許庁 - The casting is then austempered by heating to an austenitization temperature to yield a microstructure having a single-phase matrix of austenite that contains carbon, and then quenching the casting to an austempering temperature.
次に、鋳造物をオーステナイト化温度に加熱することによりオーステンパリングして、炭素を含有するオーステナイトの単一相マトリックスを有するミクロ組織を生成させ、次いで鋳造物をオーステンパリング温度に焼き入れする。 - 特許庁 - To provide a method for manufacturing a microstructure that is improved in productivity by simplifying a processing stage of forming a desired pattern by using a liquid material, a functional element, an optical element, an integrated circuit, and electronic equipment.
液状材料を用いて所望パターンを形成する際の処理工程を簡略化し、生産性の向上を図った微細構造物の製造方法、機能性素子、光学素子、集積回路及び電子機器を提供する。 - 特許庁 - To provide a microstructure fabricating method capable of forming a structure consisting of minute, nm-order heights or lines on the surface of any work without contaminating its material using a device similar to an STM.
微細構造作製方法に関し、ＳＴＭ類似の装置を用い、材料物質を汚染することなく、表面に〔ｎｍ〕オーダの微細な丘或いは線などの構造を形成することができるようにしようとする。 - 特許庁
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