VESSEL FOR OPERATION IN MICROUNIT, AND METHOD OF PRODUCING THE SAME マイクロ単位操作用容器及びその製造方法 - 特許庁
To provide a photomask which can transfer patterns of desired pattern sizes by correcting the mask patterns of the photomask in a microunit. フォトマスクのマスクパターンを微小単位で補正し、所望パターン寸法のパターンを転写することができるフォトマスクを提供する。 - 特許庁