To provide an optical device in which a surface to be irradiated is uniformly illuminated even by an illuminator using a lens array or a mirrorarray having a non-lens action part (including also the case it is a mirror) such as a micro-lens array and a micro-mirror array, and to provide the illuminator and an exposure device. 本発明は、マイクロレンズアレイやマイクロミラーアレイのような非レンズ作用部(ミラーの場合も含む)を有するレンズアレイやミラーアレイを用いた照明装置でも被照射面を均一に照明することができる光学素子、照明装置及び露光装置を提供する。 - 特許庁
To restrain unexpected fluctuation in tilting angle of a mirror due to interference from adjacent wiring in a mirror device and a mirrorarray in which a plurality of mirror devices are disposed in two dimensions. ミラー装置及び複数のミラー装置を2次元的に配置したミラーアレイにおいて、近接する配線からの干渉による予期しないミラーの傾斜角の変動を抑制する。 - 特許庁
The distribution means further includes a rotating mirrorarray, whose axis of rotation is non-parallel with the mirror surface. 分配手段は回転駆動式ミラー配列をさらに含み、その回転軸はミラー表面に対して非平行である。 - 特許庁
The automobile microphone array device includes: an inside rear view mirror including a mirror portion, and a mirror supporting portion movably supporting the mirror portion and provided in an automobile; a first microphone provided at the mirror supporting portion so as not to be hidden behind the mirror portion; and a second microphone provided on the mirror portion. 本発明による自動車用マイクロフォンアレイ装置は、ミラー部と当該ミラー部を可動に支えて自動車内に設けられるミラー支持部とを含むルームミラーと、ミラー部の背後に隠れることなくミラー支持部に設けられた第1のマイクロフォンと、ミラー部に設けられた第2のマイクロフォンとを含む。 - 特許庁
To provide a manufacturing method of a micro mirrorarray and a manufacturing method of optical elements. マイクロミラーアレイの製造方法及び光学素子の製造方法を提供する。 - 特許庁
DIRECTIONAL ERROR COMPENSATION METHOD AND ITS DEVICE OF ARRAY FEEDING REFLECTING MIRROR MULTI-BEAM ANTENNA アレー給電反射鏡マルチビームアンテナの指向誤差補償方法及びその装置 - 特許庁
Each lens in the lens array 10 diaphragms an incident light to one third to make it to be incident on one mirror among one group (consisting of three mirrors) in the dichroic mirrorarray 20. レンズアレイ10中の各レンズは入射光を1/3に絞り、ダイクロイックミラーアレイ20における1つのグループ(3つのミラーからなる)中の1つのミラーに入射させる。 - 特許庁
Each mirrorarray 1 integrally includes ribs 12a, 12b protruded toward the opposite mirrorarray 1; and the ribs 12a, 12b are fixed on the base 80 that is the support. 各ミラーアレイ1は、対向するミラーアレイ1に向けて突出するリブ12a,12bを一体に有しており、当該リブ12a,12bは、支持体であるベース80に固定されている。 - 特許庁
An array element includes a transparent mirror housing arranged at an intersection of two optical paths. アレイ素子は、2つの光経路の交点に配置される透明ミラーハウジングを含む。 - 特許庁
The light source device 11 has first and second light sources L1 and L2 and a mirrorarray 16. 光源装置11は、第1及び第2の光源L_1,L_2と、ミラーアレイ16とを備える。 - 特許庁
To efficiently manufacture a mirror of a variable shape without independently manufacturing a substrate for an actuator array and a substrate for a mirror surface. アクチュエータアレイ用の基板とミラー面用の基板を別に製造することなく、効率の良く形状可変ミラーを製造する。 - 特許庁
To provide a mirrorarray apparatus that can prevent damages caused by heat generated by radiation. 放射により発生する熱による損傷を防止できるミラーアレイ装置を提供する。 - 特許庁
A micro-mirror device, in which a plurality of micro-mirror elements are arranged in a two dimensional array shape, is used as the line shaped optical beam generator. ライン状光ビーム発生装置として、複数のマイクロミラー素子が2次元アレイ状に配列されたマイクロミラー装置を用いる。 - 特許庁
To develop a number of electrode terminals such as mirrorarray in a small space, relating to an electric wiring board. 電気配線基板において、ミラーアレイなどの多数の電極端子を小さなスペースで展開する。 - 特許庁
To provide a micromirror array which prevents an influence of warpage of a mirror substrate on micromirrors. マイクロミラーに対するミラー基板の歪みの影響を防ぐことができるマイクロミラーアレイを提供する。 - 特許庁
To provide a reflection unit having a mirrorarray, and to provide a projection display system that adopts the unit. アレイミラーを備えた反射部ユニット及びそれを採用したプロジェクションディスプレイシステムを提供する。 - 特許庁
The mask 30 is extended to an upper part of a CCD array 40 of a detective element 41 and arranged under a concave-sided mirror 43. マスク30は検出要素41のCCDアレイ40の上方に延在し、かつ、凹面鏡43の下にある。 - 特許庁
To provide a reading device capable of improving positioning accuracy and attitude accuracy of a mirrorarray. ミラーアレイの位置決め精度及び姿勢精度を向上することができる読取装置を提供する。 - 特許庁
A microlens array plate is provided on a light source side and a confocal pinhole array plate is provided on an observation side via a dichroic mirror, and both array plates rotate synchronously through a connection part. ダイクロイックミラーDMを挟んで光源側には、マイクロレンズアレイ板、観察側には共焦点ピンホールアレイ板が設けられており、両者は接続部を介して同期して回転する。 - 特許庁
The movable mirrorarray 17 has a plurality of movable mirrors 17a, and the shutter array 16 has the same number of shutters 16a as that of the movable mirrors 17a. 可動ミラーアレイ17は複数の可動ミラー17aを有し、シャッターアレイ16は可動ミラー17aと同数のシャッター16aを有している。 - 特許庁
An incident beam emitted from a collimator array 12 is led to one of the collimator array 14 through these micro-mirror arrays 16, 18. コリメータ・アレイ12から出射される入射ビームは、これらのマイクロミラー・アレイ16、18を介して、コリメータ・アレイ14のコリメータの一つに導かれる。 - 特許庁
Mirror transfer processing 204a by a mirror-source disk array 21 is carried out independently of host-side processing 202a and after the host- side processing 202a is completed, the completion status 205a is sent from the mirror-source disk array 21 to the host 11. ミラー元ディスクアレイ21でのミラー転送処理204aを、ホスト側処理202aに対して独立に処理し、ホスト側処理202aが完了したことをもって、ミラー元ディスクアレイ21からホスト11へ完了ステータス205aを返す構成とする。 - 特許庁
Each of the four reflection surfaces (4S) of the mirrorarray (4) has different shape and the luminous fluxes (L) being reflected by the array (4) generate respective focus lines in the vicinity of the mirror (5). 自由曲面ミラーアレイ(4)の4つの反射面(4S)がそれぞれ異なる形状を持ち、自由曲面ミラーアレイ(4)で反射した4本のレーザー光束(L)がポリゴンミラー(5)近傍で各々焦線を成す。 - 特許庁
To realize an optical switch for more channels by efficiently utilizing the maximum swing angle capability of a mirror in a three-dimensional optical matrix switch using a micro mirrorarray. マイクロミラーアレイを用いた三次元光マトリクススイッチにおいて、ミラーの最大振り角の能力を効率的に利用して、より多チャンネルの光スイッチを実現する。 - 特許庁
To provide an imaging apparatus capable of outputting a mirror image reflected in a conical mirror, after calibrating its distortion, without requiring any CPU or gate array. CPUやゲートアレイを要することなく、円錐ミラーに映る鏡像の歪みを矯正して出力することのできる撮像装置を提供する。 - 特許庁
Outside beams exiting from the fly eye lens 8 are reflected on the mirror part 91 (96) and exit as shifted parallel toward the inside from the mirrorarray 9. フライアイレンズ8を出射した外側の光線は、ミラー部91(96)により反射され、内側に平行移動した状態で、ミラーアレイ9を出射する。 - 特許庁
To provide a method and a device which detect rotation drift of a mirror element in a MENS inclined mirrorarray used in an optical cross connection device. 光学交差接続装置内で用いられるMEMS傾斜ミラー列内のミラー素子の回転ドリフトを検出する装置と方法を提供する。 - 特許庁
The partition plates are formed by arranging quadrants facing diagonally in a 10×10 array as mutual mirror images. 仕切板は、対角に対向したクォードラントが、互いに鏡像である10×10のアレイで配列される。 - 特許庁
An individual mirrorarray of the illumination optical unit has individual mirrors that can be tilted in driven fashion individually. 照明光学ユニットの個々のミラーアレイは、個々に従動方式で傾斜可能な個々のミラーを有する。 - 特許庁
A focus lens 13 condenses the beams of light A, B to one point on micro-mirrors 23 of micro mirrorarray 14. フォーカスレンズ13は、光A,Bをマイクロミラーアレイ14のマイクロミラー23上の一点に集光させる。 - 特許庁
To provide a method of improving a uniformity between elements in a patterning device using a mirrorarray. ミラーアレイを用いるパターニングデバイスにおいて要素間の均一性を向上させる方法を提供する。 - 特許庁
The dichroic mirrorarray 20 is constituted of respective mirrors corresponding to respective pixels in the liquid crystal panel 30. ダイクロイックミラーアレイ20は、液晶パネル30における各画素に対応する各ミラーで構成される。 - 特許庁
A tilting micro-mirror array at the back focal plane reflects the spectral components, implementing a wavelength-selective switch. 後部焦点面の傾動マイクロ・ミラー配列はスペクトル成分を反射し、波長選択スイッチを実装する。 - 特許庁
To obtain a waveguide slot array antenna device in which a positional relation between a waveguide slot array antenna and a reflecting mirror can be set with high accuracy by a simple method. 導波管スロットアレーアンテナと反射鏡との位置関係を精度良く、簡易な方法で設定することのできる導波管スロットアレーアンテナ装置を得る。 - 特許庁
The wavelength selector switch 20 is composed of a light incident and emitting part 26 composed of an optical fiber array 23 and a microlens array 25, and a filter mirror block 34. 波長選択スイッチ20は、光ファイバアレイ23とマイクロレンズアレイ25からなる光出入射部26と、フィルタミラーブロック34とで構成されている。 - 特許庁
In this two-dimensional position detecting apparatus 12, a micro-mirror array 22 comprises first mirror elements 22a for reflecting incident light in a first direction and second mirror elements 22b for reflecting it in a second direction. 二次元位置検出装置12は、マイクロミラーアレイ22が入射光を第1の方向に反射する第1ミラー素子22a、および第2の方向に反射する第2ミラー素子22bを有する。 - 特許庁
A corner cube prism 15 (or a hollow retroreflector 23) is used instead of a conventional plane mirror, and its optical switch is implemented by a combination of a fiber array 1, a mirrorarray 6, and the corner cube prism 15 (or the hollow retroreflector 23). 従来の平板ミラーに代えてコーナーキューブプリズム15(または中空リトロリフレクター23)を用い、ファイバアレイ1と、ミラーアレイ6と、コーナーキューブプリズム15(または中空リトロリフレクター23)との組合せで光スイッチングを行う。 - 特許庁
A wavelength selection optical switch 1 comprises an optical demultiplexer 10, a condensing optical system 20, and a mirrorarray 30. この波長選択光スイッチ1は、光分波器10と集光光学系20とミラーアレイ30とを有する。 - 特許庁
Further, the apparatus 1 is provided with a light source 41, and a half mirrorarray for guiding a light from the source 41 to the second system 35. さらに、光源41、光源41からの光を第2光学系35へと導くハーフミラーアレイを設ける。 - 特許庁
A semiconductor laser array 30, an optical wavelength conversion element 40 and a reflection mirror 50 are disposed on a structure member 20. 構造部材20に半導体レーザアレイ30、光波長変換素子40および反射ミラー50が配置される。 - 特許庁
The waveguide slot array antenna device includes: a first holding mechanism for mounting a first waveguide slot array antenna and a second waveguide slot array antenna; the reflecting mirror arranged oppositely to the first waveguide slot array antenna and the second waveguide slot array antenna; a second holding mechanism for holding the reflecting mirror; and a support mechanism in which the first holding mechanism and the second holding mechanism are united into a single body. 第1の導波管スロットアレーアンテナ及び第2の導波管スロットアレーアンテナを載置する第1の保持機構と、前記第1の導波管スロットアレーアンテナ及び前記第2の導波管スロットアレーアンテナに対向配置された反射鏡と、前記反射鏡を保持する第2の保持機構とを備え、前記第1の保持機構と前記第2の保持機構とが一体化された支持機構を備えている。 - 特許庁
A 1st mirrorarray where a plurality of 1st mirrors having a single rotating axis and a plurality of 1st windows are arrayed and a 2nd mirrorarray where a plurality of 2nd mirrors having a single rotating axis perpendicular to the rotating axis of the 1st mirror and a plurality of 2nd windows are arrayed is arranged adjacent to the beam exit surface of a fiber collimator array. 一つの回転軸をもつ複数の第1のミラーおよび複数の第1の窓が配列された第1のミラーアレイと、第1のミラーの回転軸と直交する一つの回転軸をもつ複数の第2のミラーと複数の第2の窓が配列された第2のミラーアレイを、ファイバコリメータアレイのビーム射出面に近接して配置する。 - 特許庁
In the mirrorarray 9, mirror parts 91, 92, 93, 94, 95, 96 are disposed as inclined from the end part on one side of a plane toward a center part and as extended in an extending direction of the other side. ミラーアレイ9は、一平面の一辺の両端部側から中央部奥側に向かって傾斜した状態で、他辺の延在方向に延びるミラー部91,92,93,94,95,96を内設する。 - 特許庁
A reflecting mirror 12 reflects the image of the real space made incident through the aperture part 11 as shown by the arrow A to a mirror surface array part 13 as shown by an arrow A'. 反射鏡12は、開口部11を介して矢印A方向に入射されてくる現実空間の画像を、矢印A’方向に鏡面配列部13に反射する。 - 特許庁
By fabricating an array of window lids which correspond to micro-mirror elements, respectively, it is possible to fabricate the above-mentioned micro-mirror element package through a batch step performed in terms of a wafer size. それぞれのマイクロミラー素子に対応するウィンドウ蓋アレイを製造することにより、このようなマイクロミラー素子パッケージをウエハサイズ単位の一括工程により製造できる。 - 特許庁
A four-wavelength optical signal is reflected by a mirror 31b or a mirror 31c, converged by a hologram lens 40c, etc., reflected at a mirror 32, and then detected by an optical detector array 36 provided in each wavelength. 4波長の光信号は、ミラー31b、あるいはミラー31cで反射し、ホログラムレンズ40c等により集光され、ミラー32で反射したのち、波長毎に設けられた光検出器アレイ36で検出される。 - 特許庁
In the micro-mirror array 24, many mirror elements 70 are arranged matrically, and the mirror elements 70 are driven by a driving pattern constituting an orthogonal modulation pattern, and reflect the entering fluorescence in the prescribed direction. マイクロミラーアレイ24は、多数のミラー素子70がマトリックス状に配置してあり、これらのミラー素子70が直交変調パターンを構成する駆動パターンによって駆動され、入射した蛍光を所定の方向に反射する。 - 特許庁
To provide an image forming apparatus for forming an image using luminous flux emitted from a plurality of light emitting points, and to provide a lens array, an arraymirror, an optical unit and a light source unit. 複数の発光点から出射される光束を用いて画像を形成する画像形成装置、レンズアレイ、アレイ鏡、光学ユニット及び光源ユニットを提供する。 - 特許庁
In the optical switching device having a micro lens array (501) and a micro mirrorarray, the quantity of emitted light of each pixel is adjustable in analog or stepwise by controlling the direction of the reflected light of a micro mirror (504). マイクロレンズアレイ(501)とマイクロミラーアレイを有する光スイッチングデバイスにおいて、マイクロミラー(504)の反射光線方向を制御することにより各々の画素の出力光量をアナログ的に又は段階的に調節可能とする。 - 特許庁
A first reflecting mirror 32 which guides reflected light from the document to a rod lens array 33 and a second reflecting mirror 34 which guides the projection light of the rod lens array 33 to the photoelectric converting device 35 are stuck at proper positions of the metal plates 41 and 42 for reinforcement. 該補強用板金41、42の適宜位置に原稿からの反射光をロッドレンズアレイ33に導く第1反射鏡32と、該ロッドレンズアレイ33の出射光を前記光電変換デバイス35に導く第2反射鏡34とを貼着する。 - 特許庁