To provide a mass sensor and mass detection method, capable of easily measuring a minute mass of nanogram order of a microorganism such as a bacterium and virus, a chemical material, evaporated film thickness, etc., with accuracy. 細菌、ウイルス等の微生物や化学物質、蒸着膜厚等のナノグラムオーダーの微小質量の測定を、簡単に、かつ正確に行うことのできる質量センサ及び質量検出方法を提供する。 - 特許庁