To provide a semiconductor apparatus that can efficiently perform parallel adjustment of a tool by numerally expressing the amount of adjustment required in the parallelism of the tool in sensory appearance observation, and can increase the productivity by reducing the man-hours generated when exchanging product kind and process control during production; and to provide a method of manufacturing the semiconductor device. 治具の平行度の必要調整量を感応的な外観観察の中で数値化することにより、治具の平行調整を効率化して、品種交換時や生産中の工程管理の際に発生する工数を低減し、生産性を向上することが出来る半導体装置およびその製造方法を提供する。 - 特許庁