「optical microscope」を含む例文一覧(1392)
＜前へ 1 2 .... 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 次へ＞- To provide a microscopic raman fine particle discovery device hardly generating thermal drift of a visual field of an optical microscope even if brightness of illumination light is raised, and detecting and identifying surely even fine foreign matters on a wafer.
照明光の輝度を上げても光学顕微鏡の視野のサーマルドリフトが生じにくく、ウェーハ上の微小な異物も確実に検出・同定できる顕微ラマン微小パーティクル発見装置を提供する。 - 特許庁 - An observation region 306 and an entirely-white image 160' subsequent thereto are imaged by an image pickup device 200 while a sample is not disposed on the observation region 306 of the optical microscope 300.
光学顕微鏡３００の観察領域３０６に試料が配置されていない状態で、撮像装置２００によりその観察領域３０６が撮像され全白画像１６０’が撮像される。 - 特許庁 - To provide an objective lens, whose service life is prolonged by suppressing photochemical reaction which is caused when microscope inspection and observation are performed by having deep ultraviolet-rays as a light source and preventing the deterioration in the optical performance.
深紫外光を光源として顕微鏡検査・観察を行うときに起きる光化学反応を抑制して光学性能の低下を防止し、製品寿命の長い対物レンズを提供する。 - 特許庁 - The magnetic domain observation microscope 1 includes an XY stage 3 and a rotary stage 4 for placing an observation target W having a magnetic domain and an optical system 10 is arranged at an upper portion of the observation target W.
磁区観察顕微鏡１は、磁区を有する観察対象物Ｗを載置するＸＹステージ３及び回転ステージ４を有し、観察対象物Ｗの上方に光学系１０が配置されている。 - 特許庁 - To provide a method which enables the detection of the concentration of a fluorescent reagent or the like in a biosample of an experimental small animal or the like by an imaging technique using an optical microscope or the like.
実験用小動物等の生物試料の内部に於ける蛍光試薬等の濃度を光学顕微鏡等を用いたイメージング技術を用いて検出することのできる方法を提供すること。 - 特許庁 - To provide a scanning probe microscope capable of correcting the optical axis shift of a displacement detection mechanism caused by the difference of a cantilever or a solution or the warpage of the cantilever in the atmosphere or the solution.
大気中や溶液中を問わず、カンチレバーや溶液の違いやカンチレバーの反りなどによる、変位検出機構の光軸ずれを補正することが可能な走査型プローブ顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - This microscope includes a stage 17, an objective lens 14, an irradiation optical system for irradiating observation objects 15 and 18 with illumination light through the objective lens 14 and the illumination light antireflection unit 200.
ステージ１７と、対物レンズ１４と、対物レンズ１４を通して照明光を観察対象物１５，１８に照射するための照射光学系と、照明光反射防止ユニット２００とを有する。 - 特許庁 - To provide a scanning near-field optical microscope which is capable of performing high-resolution observation without bringing a fine structure for generating or selectively transmitting near-field light into direct contact with a sample.
近接場光を生成または選択的に透過させる微細構造を試料に直接接触させることなく、高分解能観察可能な走査型近接場光学顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - To provide a method for forming a polarization optical interference contrast for microscope imaging of a specimen which is free of problems of anisotropy of a specimen carrier, an objective, or a condenser.
被検体用担体あるいは対物レンズやコンデンサについても、それらの異方性が問題とならない被検体の顕微鏡結像のための偏光光学的な干渉コントラストを形成する方法。 - 特許庁 - To manufacture inexpensively with high yield and high reliability a cantilever having new magnetic characteristic and optical characteristic or the like using a compound semiconductor as a material, which is suitable to be used for a scanning probe microscope.
走査型プローブ顕微鏡での利用に適した、化合物半導体を素材とする新しい磁気特性、光学特性等をもつカンチレバーを高い歩留まりと信頼性で安価に製造する。 - 特許庁 - To provide an X-ray analysis apparatus, capable of surely observing a sample and performing desired X-ray analysis even when the sample cannot be observed easily with an ordinary optical microscope.
通常の光学顕微鏡によっては観察しにくい試料であっても、これを確実に観察することができ、所望のＸ線分析を行うことができるＸ線分析装置を提供すること。 - 特許庁 - Specially, when the semiconductor layer is silicon, the defect is evaluated with the microscope of the confocal optical system after etching process with the process liquid of ammonia water and hydrogen peroxide water to remove a part of the semiconductor layer.
特に半導体層がシリコンであれば、アンモニア水、過酸化水素水よりなる処理液でエッチング処理し、半導体層の一部を除去した後、コンフォーカル光学系のレーザ顕微鏡で評価する。 - 特許庁 - The selectively activated convex surface provides an activated region having an adhesive characteristic, when activated (typically using a laser passed through an optical path in the microscope).
この選択的に活性化された凸状表面は、活性化された場合（典型的には、顕微鏡における光学光路を通るレーザを用いて）、接着特性を有する活性化された領域を提供する。 - 特許庁 - In the evaluation method for the SOI wafer where the semiconductor layer, an insulation layer, and a supporting substrate are formed in sequence, a defect in the semiconductor layer is actualized and evaluated with the laser microscope of a confocal optical system.
半導体層、絶縁層、支持基板が順次形成されたＳＯＩウエーハの評価方法であって、半導体層に存在する欠陥を顕在化させ、コンフォーカル光学系のレーザ顕微鏡で評価する。 - 特許庁 - To provide a scanning microscope which allows the inspection of a sample at various wavelengths and (or) in wavelength ranges and does not require the post adjustment of wavelength intrinsic component elements in an optical path at this time.
種々の波長および（または）波長範囲で試料の検査を可能にし、その際波長固有の構成要素の後調整を光路内で行なう必要のない走査顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - In a confocal microscope 11, luminous fluxes into which light is split by a light splitting member 22 and emitted from pin holes 22a and 22b are detected by the optical detectors 23a and 23b.
共焦点顕微鏡１１では、光分離部材２２により分離されてピンホール２２ａおよび２２ｂから射出される光束が光検出器２３ａおよび２３ｂによりそれぞれ検出される。 - 特許庁 - Rails 32 to 36 are provided on the base body 31, and plurality of optical apparatus for extension such as a galvanoscanner 64 which is combined with the microscope 10 are arranged in a multistage in the vertical direction of the installation face 9a.
顕微鏡１０に組合せ可能なガルバノスキャナ６４等の複数の拡張用光学装置を設置面９ａの垂直方向へ多段に配置するレール３２〜３６をベース本体３１に設ける。 - 特許庁 - To provide an SNOM(scanning-type near-field optical microscope) that can be operated in air for obtaining a high-resolution SNOM image where the influence of scattered light from an area other than the tip of a probe has been eliminated as much as possible.
探針先端以外からの散乱光の影響が極力排除された、従って高分解能なＳＮＯＭ像を得ることのできる、空気中で動作可能なＳＮＯＭを提供する。 - 特許庁 - In the microscope objective having an inner frame holding an optical element and an outer frame for fitting and holding the inner frame inside, the inner frame is installed slidably in the optical axis direction inside the outer frame, so that the full length of the microscope objective is kept in each of a normal condition and a contracted condition in observation.
上記課題は、光学素子を保持する中枠と前記中枠を内部に嵌め合わせて保持する外枠を有する顕微鏡対物レンズにおいて、前記内枠は前記外枠の内部で光軸方向に摺動可能に設置され、前記顕微鏡対物レンズの全長は、観察時の通常状態と収縮状態の、それぞれの状態で保持されることを特徴とする顕微鏡対物レンズによって解決される。 - 特許庁 - To provide a method for immediately finding out a focal position from one obtained image without searching an optimum position by obtaining an image while slightly mechanically moving a sample or an optical member when a focal surface is obtained by using an optical microscope.
本発明の課題は、光学顕微鏡を用いて焦点面を求める際にわずかずつ試料若しくは光学部材の機械的移動を行いながら画像を取得して最適な位置を探索することなく、得られた１画像から即座に合焦位置を割り出すことが出来る手法を提示することにある。 - 特許庁 - A microscope 11 is provided with an object lens 22 for throwing the fluorescence developed from the specimen 13 on an observation optical system for forming the image of the specimen 13 and an image guide 25 composed of a plurality of optical fibers and throwing the fluorescence developed from the specimen 13 on the object lens 22.
顕微鏡１１には、標本１３から発現した蛍光を標本１３の像を結像させるための観察光学系に入射させる対物レンズ２２と、複数の光ファイバからなり、標本１３から発現した蛍光を対物レンズ２２に入射させるイメージガイド２５とが設けられている。 - 特許庁 - To provide a focus detector which can be downsized and simplified, is excellent in productivity and is capable of detecting a focus with good accuracy and high reliability even if objective lenses of any magnifications are used as well as an objective lens, optical microscope or optical test apparatus having the same.
小型化、簡易化でき、生産性に優れ、かつ、異なる倍率の対物レンズを用いても、精度よく信頼性の高い焦点検出を行なうことができる焦点検出装置、及びそれを備えた対物レンズ、光学顕微鏡又は光学検査装置を提供する。 - 特許庁 - This magnetic field applying device of the transmission electron microscope comprises a plurality of deflectors to swingingly return the optical axis deflection of an irradiated electron beam generated simultaneously with application of the magnetic field onto the optical axis, and is formed so that the deflection main surface of one deflector is disposed at a position extremely close to the surface of the sample 6.
透過電子顕微鏡の磁場印加装置において、磁場印加と同時に発生する照射電子線の光軸偏向を軸上に振り戻す複数の偏向器からなり、１つの偏向器の偏向主面が試料６表面に極めて近い位置に配置されように構成される。 - 特許庁 - To provide an apparatus for detailed observation of defects detected by an optical defect inspection apparatus or by an optical visual inspection apparatus capable of placing a defect to be observed into the field of view of an electronic microscope or the like, without fail, and reducing the size of the apparatus.
光学式欠陥検査装置または光学式外観検査装置で検出した欠陥を電子顕微鏡等で詳細に観察する装置において、観察対象の欠陥を確実に電子顕微鏡等の視野内に入れることができ、かつ装置規模を小さくできる装置を提供する。 - 特許庁 - To perform wave front correction for preventing an obtained image from becoming unclear by phase fluctuation such as the fluctuation of a medium in an optical path in video equipment such as a microscope, a telescope and a camera in real time by an optical write type liquid crystal space phase modulation element.
顕微鏡、望遠鏡、カメラ等の映像機器において、光路中の媒質のゆらぎ等の位相変動により、得られた像が不鮮明となることを防止する波面補正において、光書き込み型液晶空間位相変調素子により実時間で行うようにする。 - 特許庁 - The confocal optical microscope 100 also has a caged-state release optical system for irradiating the sample with light for releasing the caged compound, and the system is constituted of the objective lens 107, a light source 131 for caged-state release, a dichroic mirror 132 and a shutter 133.
共焦点光学顕微鏡１００は更にＣａｇｅｄ化合物を解除する光を試料に照射するＣａｇｅｄ解除光学系を有し、それは、対物レンズ１０７と共に、Ｃａｇｅｄ解除用光源１３１とダイクロイックミラー１３２とシャッター１３３とから構成される。 - 特許庁 - This microscope is equipped with image-forming optical systems 4 and 11 forming a primary image O' of a sample, the projection optical system 15 projecting the primary image O' to the electronic imaging device 17, and a diaphragm 20 having a light-transmitting area where light is transmitted and a light-shielding area, where light is intercepted and controlling the irregular brightness.
標本の一次像Ｏ’を形成する結像光学系４、１１と、一次像Ｏ’を電子撮像素子１７に投影する投影光学系１５と、光を透過する透過領域と光を遮光する遮光領域を有し明るさムラを制御する絞り２０とを備えた顕微鏡。 - 特許庁 - A higher harmonic wave generation device 5 modulating a laser light beam Q transmitted through optical fiber 3 to a laser light beam Qa whose wavelength is different from that of the light beam Q and transmitting it to a scanning type optical microscope main body 4 is integrally fitted to the main body 4.
光ファイバー３を伝送してきたレーザ光Ｑを、このレーザ光Ｑの波長とは異なる波長のレーザ光Ｑａに変調して走査型光学顕微鏡本体４に送る高調波発生装置５を、走査型光学顕微鏡本体４に一体的に取り付けた。 - 特許庁 - A microscope 11 is provided with an objective lens 22 for making the fluorescence developed from the sample 13 incident on an observation optical system for imaging the sample 13, and an image guide 25 comprising a plurality of optical fibers and making the fluorescence developed from the sample 13 incident on the objective lens 22.
顕微鏡１１には、標本１３から発現した蛍光を標本１３の像を結像させるための観察光学系に入射させる対物レンズ２２と、複数の光ファイバからなり、標本１３から発現した蛍光を対物レンズ２２に入射させるイメージガイド２５とが設けられている。 - 特許庁 - The microscope unit 100 has, in its housing 101: an observing optical system 300 for observing a specimen; a support/drive system 400 supporting the specimen and the observing optical system and electrically driven; and a temperature adjustment device 500 keeping the inside of the unit at a specified temperature.
顕微鏡ユニット１００は、試料を観察する観察光学系３００と、試料および観察光学系を支持すると共に、電動駆動する支持・駆動系４００と、当該ユニット内部を、指示された温度に維持する温度調整装置５００とを、筐体内１０１に有する。 - 特許庁 - The subject is solved by the active carbon obtained by activating the oil raw coke whose rate of optical anisotropic organization under polarization microscope observation is 90% or more and rate of an anisotropic organization classified as a sphere in the optical anisotropic organization is 50% or more.
偏光顕微鏡観察下での光学的異方性組織の割合が９０％以上であり、かつ、光学的異方性組織における球状と分類される異方性組織の割合が５０％以上である石油生コークスを賦活して得られる活性炭により上記課題が達成される。 - 特許庁 - To provide a configuration to prevent an easy forgery by a means such as the investigation of a hologram pattern using an optical microscope, in a optical recording medium (computer generated hologram(CGH) recording medium) recorded with information by using a CGH.
計算機生成ホログラム（ＣＧＨ：Ｃｏｍｐｕｔｅｒ Ｇｅｎｅｒａｔｅｄ Ｈｏｌｏｇｒａｍ）を用いて情報を記録した光記録媒体（ＣＧＨ記録媒体）において、光学顕微鏡でホログラムパターンを調べる等の手段によって容易に偽造を行うことを防止する構成を提供する。 - 特許庁 - In the evaluation method for the optical characteristics of the optical compensation element using a liquid crystal molecular material, the surface of an optical compensation layer is observed by a polarization microscope, the dimension of each granular domain formed by differences between the axial orientations of liquid crystal molecules are evaluated, and the dimension of the domains has a diameter of 5 μm or less.
液晶性分子材料を用いた光学補償素子の光学特性の評価方法において、偏光顕微鏡により光学補償層の表面を観察し、液晶性分子の軸方位の違いにより形成された粒状のドメインの大きさを評価し、該ドメインの大きさが直径５μｍ以下であることを特徴とする。 - 特許庁 - The confocal microscope provided with the acousto-optical element 2 is characterized in that an acoustic absorption material 4 is fitted on the light incident face, the light emitting face and all outer circumferential faces of the acousto-optical element 2 except the face on which a transducer 3 for giving vibration on the acousto-optical element 2 is fitted.
音響光学素子２を備える共焦点顕微鏡において、音響光学素子２における光の入射面および出射面ならびに該音響光学素子２に振動を与えるトランスデューサ３が取り付けられている取付面以外の全ての外周面に吸音材４が取り付けられた共焦点顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - This optical device slider is equipped with a slider 1 provided to slide on a slider receiver provided in the condenser of a microscope and having a diaphragm aperture part 6, an optical device aperture part 5 and plural filter aperture parts 7a and 7b, and the optical device 10 and plural filters 11 provided to be freely loaded and unloaded on/from the aperture parts 5 and 7a and 7b respectively.
顕微鏡のコンデンサに設けたスライダー受にスライド可能に設けられ、絞り開口部６及び光学素子開口部５並びに複数のフィルター開口部７ａ，７ｂを有するスライダー１と、該光学素子開口部５並びに該フィルター開口部７ａ，７ｂに夫々挿入抜去自在に設けられた光学素子１０及び複数のフィルター１１を備えたもの。 - 特許庁 - An inspection method of an optical semiconductor element includes steps of: driving an optical semiconductor element 2 which is an inspected target with a current smaller than a threshold current of the optical semiconductor element 2 to generate incoherent light; acquiring a light emitting image by observing the light with an emission microscope 10; and analyzing a defective state from the light emitting image.
光半導体素子の検査方法は、検査対象である光半導体素子２を該光半導体素子２のしきい値電流より低い電流で駆動して、インコヒーレントな光を発生させる工程と、前記光をエミッション顕微鏡１０で観察することにより発光像を得る工程と、前記発光像から不良状態を解析する工程と、を含む。 - 特許庁 - An inverted microscope 1 includes a reflection member 15 for reflecting at least part of an infinite luminous flux condensed by an objective optical system 3, an imaging optical system 16 for condensing the infinite luminous flux reflected by the reflection member 15 to form an image of a subject A, and an eyepiece optical system 20 for enlarging the image of the subject A formed by the imaging optical system 16.
対物光学系３により集光された無限遠光束の少なくとも一部を反射する反射部材１５と、該反射部材１５により反射された無限遠光束を集光して被写体Ａの像を結像させる結像光学系１６と、該結像光学系１６により結像される被写体Ａの像を拡大する接眼光学系２０とを備える倒立顕微鏡１を提供する。 - 特許庁 - To provide a scanning microscope capable of providing a clear confocal image of a sample by using an optical modulation element as a confocal pinhole and constructing such a clear confocal image as a two-dimensional image in real time.
光変調素子を共焦点ピンホールとして利用することにより試料の鮮明な共焦点画像を得ることができ、かつ、そのような鮮明な共焦点画像をリアルタイムに２次元的な画像を構築する。 - 特許庁 - This microscope contains an electron gun 1 for irradiating an electron beam 13 to an article to be observed 11, such as a semiconductor wafer where a minute working pattern is formed, or the like, a throttle means 3, an optical means 2, and a voltage applying means 4.
微細加工パターンが形成された半導体のウエハーなどの被観察物１１に対し電子ビーム１３を照射する電子銃１と、絞り手段３と、光学手段２と、電圧印加手段４とを含んでいる。 - 特許庁 - To facilitate sample alignment when samples are the samples that are scattered with regularity in a minimum region in a flat plane which has almost no features and is hardly discovered by direct observation of an observation face with an optical microscope.
光学顕微鏡による観察面の直接観察では発見しにくい、平坦で特徴の少ない面内の極小領域に規則性を持って点在する試料であった場合に、アライメントを容易にする。 - 特許庁 - When the number of the residues is counted by means of a data processor, particle counter, etc., under an optical microscope, the density of the defects as precipitation of oxygen in the etched sample can be found.
例えば、酸素析出欠陥の存在するシリコンウエハを試料としてこれを対酸化物選択比の大きい条件でエッチングすることで、エッチングされにくい酸素析出欠陥を頂点として円錐状エッチング残渣を得る。 - 特許庁 - To provide a stereo microscope by which a focusing state, size and a position of an image of an observation object respectively formed on an image pickup surface of an image pickup unit are respectively adjusted by each photographing optical system.
各撮影光学系によって撮像装置の撮像面に夫々結像される観察対象物の像のピント状態，大きさ，及び位置を夫々調整することができる立体顕微鏡を、提供する。 - 特許庁 - In this microscope, opening dimensions of rectangle stop 40A is calculated by a microcomputer 70 on the basis of the dimensions of an imaging element disposed on the imaging device and/or the powers m1, m2 of variable magnification optical systems 5, 6.
この顕微鏡では、撮像装置に設置された撮像素子の寸法および／または変倍光学系５，６の倍率ｍ１，ｍ２を基に、矩形絞り４０Ａの開口寸法がマイクロコンピュータ７０により算出される。 - 特許庁 - The inverted microscope is equipped with a stage for placing a dish 113 in which a sample 112 is put, an objective lens 110 positioned under the dish 113, and an observation optical system for observing the sample 112.
倒立顕微鏡は、標本１１２を入れたディッシュ１１３を載置するためのステージと、ディッシュ１１３の下方に位置する対物レンズ１１０と、標本１１２を観察するための観察光学系とを備えている。 - 特許庁 - This microscope is provided with the stage 150 on which a sample is mounted, an objective lens 104 arranged under the stage 150, and an image-formation lens 106 and relay lenses 113 and 115 arranged in order on an optical axis 114.
標本を搭載するためのステージ１５０と、ステージ１５０の下側に配置された対物レンズ１０４と、光軸１１４上に順に配置された結像レンズ１０６とリレーレンズ１１３，１１５とを有する。 - 特許庁 - To improve the reproducibility of a position relation on a light source, a foreign matter and an opening part, to eliminate the need of a complicated operation for using an optical microscope and to highly precisely evaluate PRNU.
光電変換素子を用いたラインセンサーにおいて、光源、異物、開口部の位置関係の再現性が良く、光学顕微鏡を使うような煩雑な操作が不要で、精度良くＰＲＮＵを評価することができるようにする。 - 特許庁 - When performing alignment, an optical positive image, which is an image of observing the end face different from the observation face of the electron microscope from an oblique direction, is photographed at an observation-target portion arbitrarily selected from among a plurality of the observation target portions.
アライメントの際には、複数ある観察対象部位から任意に選択した観察対象部位で、電子顕微鏡の観察面とは異なる端面を斜めから観察した光顕画像を撮影する。 - 特許庁 - To provide a stereomicroscope that makes left brightness and right brightness equal and has an inter-optical-axis distance-varying function without increasing the size of the body of the stereomicroscope, and to provide a lens drive mechanism for a microscope, which achieves the stereomicroscope.
左右の明るさを同等にでき、実体顕微鏡本体の大型化を招くことなく光軸間距離可変機能を有する実体顕微鏡と、これを実現する顕微鏡のレンズ駆動機構を提供する。 - 特許庁 - To provide an objective lens that is equal in outside diameter to an objective lens used for bright field observation and enables dark field observation by using a bright field illuminating optical system, and to provide a microscope that has the objective lens.
対物レンズの外径が明視野観察用対物レンズと同等で、明視野照明光学系を用いて暗視野観察を可能とする対物レンズ及び該対物レンズを有する顕微鏡を提供すること。 - 特許庁 - To provide a scanning type optical microscope which can guide fluorescent light to a photodetector without lowering the confocal effect and without causing a loss of the fluorescent light for respective wavelengths of the fluorescent light on the multiple dying.
多重染色時の各蛍光波長に対して、共焦点効果を落とすことなく、かつ蛍光を損失することなく光検出器に導くことができる走査型光学顕微鏡を提供すること。 - 特許庁
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