The area (48) of the backing plate underlying the gap can be roughened or can be coated or overlain with a region of the material of the target, for both perpendicular and sloping gaps. 垂直又は傾斜間隙の両方において、間隙の下方のバッキングプレートの領域(48)は荒仕上げ加工されていてもよく、ターゲット材料の領域でコーティング又は被覆されていてもよい。 - 特許庁