Light radiated via a line light guide 1 and a cylindrical lens 2 becomes light flux having parallelity in a plane orthogonal to the surface of an inspected body 3 and parallel to the light advancing direction and a diffusion property in the width direction of the inspected body 3. ラインライトガイド1、シリンドリカルレンズ2を介して照射される光は、被検査体3の表面に垂直で光の進行方向に平行な面内では平行性を有し、被検査体3の幅方向では拡散性を有する光束となっている。 - 特許庁