LAYOUT PATTERN DATA CORRECTING DEVICE AND METHOD レイアウトパターンデータの補正装置、及び補正方法 - 特許庁
RESIST COMPOSITION AND PRODUCTION METHOD OF RESIST PATTERN レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 - 特許庁
VACUUM CASTING METHOD USING LOST PATTERN 消失性模型を用いる減圧鋳造方法 - 特許庁
PASTE COATING DEVICE AND PATTERN MEASUREMENT METHOD ペ−スト塗布装置およびパタ−ン計測方法 - 特許庁
RESIST COMPOSITION, AND METHOD FOR FORMING RESIST PATTERN レジスト組成物、およびレジストパターン形成方法 - 特許庁
METHOD AND DEVICE FOR GENERATING LOT PROCESSING PATTERN ロット処理パターンの作成方法と作成装置 - 特許庁
VERIFICATION APPARATUS AND VERIFICATION METHOD FOR MASK PATTERN マスクパターンの検証装置および検証方法 - 特許庁
EXPOSURE PATTERN AND METHOD FOR INSPECTING EXPOSURE ORIGINAL PLATE 露光パターン及び露光原版の検査方法 - 特許庁
PATTERN TRANSFER MASK, MANUFACTURING METHOD THEREFOR, METHOD OF FORMING PATTERN, AND METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE パターン転写用マスク、パターン転写用マスクの製造方法、パターン形成方法及び半導体装置の製造方法 - 特許庁
GENERATING METHOD OF MASK PATTERN DATA, MANUFACTURING METHOD OF MASK, MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE, AND PATTERN DATA GENERATING PROGRAM マスクパターンデータ生成方法、マスクの製造方法、半導体装置の製造方法及びパターンデータ生成プログラム - 特許庁
APPARATUS FOR DETECTING SURFACE POSITION, APPARATUS FOR FORMING PATTERN, METHOD FOR DETECTING SURFACE POSITION, METHOD FOR FORMING PATTERN, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD 面位置検出装置、パターン形成装置、面位置検出方法、パターン形成方法及びデバイス製造方法 - 特許庁
METHOD FOR CORRECTING MASK PATTERN, PROGRAM FOR CORRECTING MASK PATTERN, METHOD FOR MANUFACTURING PHOTOMASK, AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE マスクパターン補正方法、マスクパターン補正プログラム、フォトマスクの作製方法及び半導体装置の製造方法 - 特許庁
RESIST PATTERN FORMING DEVICE, METHOD FOR FORMING RESIST PATTERN AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE FORMING METHOD レジストパターン形成装置およびその形成方法、および、当該方法を用いた半導体装置の製造方法 - 特許庁
METHOD FOR CORRECTING GRAPHIC PATTERN FOR SEMICONDUCTOR DEVICE, METHOD FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR EXTRACTING GRAPHIC PATTERN 半導体装置用図形パターンの補正方法、半導体装置の製 造方法および図形パターンの抽出方法 - 特許庁
PATTERN LAYOUT, MANUFACTURING METHOD OF DUMMY PATTERN LAYOUT, PHOTOMASK, EXPOSURE TRANSFER METHOD, AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE パターンレイアウト、ダミーパターンレイアウトの作製方法、フォトマスク、露光転写方法及び半導体装置の製造方法 - 特許庁
METHOD FOR CORRECTING PATTERN OF PHOTOMASK AND METHOD FOR MANUFACTURING PHOTOMASK, METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, PATTERN CORRECTION DEVICE AND PROGRAM フォトマスクのパターン補正方法及び製造方法、半導体装置の製造方法、パターン補正装置、並びにプログラム - 特許庁
METHOD FOR CASTING CAST PRODUCT BY EVAPORATIVE PATTERN CASTING METHOD, AND METHOD FOR MANUFACTURING METALLIC MOLD FOR FORMING FOAMED PRODUCT PATTERN 消失模型鋳造法による鋳物鋳造方法及び発泡製品模型成形用金型の製造方法 - 特許庁
To provide a method of forming a protection layer on a photoresist pattern, and to provide a method of forming a fine pattern using the above method. フォトレジストパターン用保護膜の形成方法及びこれを用いた微細パターンの形成方法を提供する。 - 特許庁
METHOD OF MANUFACTURING LAYER PATTERN, METHOD OF MANUFACTURING WIRING, AND METHOD OF MANUFACTURING ELECTRONIC DEVICE 層パターン製造方法、配線製造方法、電子機器の製造方法 - 特許庁
PATTERN-FORMING METHOD, ELECTRONIC INSTRUMENT MAKING METHOD AND SUBSTRATE MAKING METHOD パターン形成方法、電子機器の製造方法、および基体の製造方法 - 特許庁
SUBSTRATE, SUBSTRATE WITH LIGHT SHIELDING PATTERN OR WITH LIGHT SHIELDING PATTERN AND COLOR PATTERN, DISPLAY APPARATUS, AND METHOD FOR MANUFACTURING SUBSTRATE WITH LIGHT SHIELDING PATTERN OR WITH LIGHT SHIELDING PATTERN AND COLOR PATTERN 基板、遮光パターンまたは遮光パターンおよび着色パターンを有する基板、表示装置、並びに、遮光パターンまたは遮光パターンおよび着色パターンを有する基板の製造方法 - 特許庁
METHOD FOR CORRECTING MASK PATTERN, DEVICE FOR CORRECTING MASK PATTERN, RECORDING MEDIUM STORING MASK PATTERN CORRECTING PROGRAM, AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE マスクパターン補正方法、マスクパターン補正装置、マスクパターン補正プログラムを格納した記録媒体、及び半導体装置の製造方法 - 特許庁
TEST PATTERN PRODUCING APPARATUS, CIRCUIT DESIGN APPARATUS, TEST PATTERN PRODUCING METHOD, CIRCUIT DESIGN METHOD, TEST PATTERN PRODUCING PROGRAM, AND CIRCUIT DESIGN PROGRAM テストパターン生成装置、回路設計装置、テストパターン生成方法、回路設計方法、テストパターン生成プログラム、回路設計プログラム - 特許庁
RESIST PATTERN SURFACE TREATING AGENT, SURFACE TREATMENT METHOD FOR RESIST PATTERN USING THE SURFACE TREATING AGENT, AND METHOD FOR FORMING RESIST PATTERN レジストパターン表面処理剤、該表面処理剤を用いたレジストパターンの表面処理方法及びレジストパターンの形成方法 - 特許庁
SURFACE TREATMENT AGENT FOR RESIST PATTERN, RESIST COMPOSITION, AND SURFACE TREATMENT METHOD FOR RESIST PATTERN AND FORMATION METHOD FOR RESIST PATTERN BY USE OF THEM レジストパターン表面処理剤、レジスト組成物、それらを用いたレジストパターンの表面処理方法及びレジストパターンの形成方法 - 特許庁
LETTERPRESS FOR FORMING THICK FILM PATTERN, METHOD FOR FORMING THICK FILM PATTERN USING IT AND MANUFACTURING METHOD OF LETTERPRESS FOR FORMING THICK FILM PATTERN 厚膜パターン形成用凸版、これを用いた厚膜パターン形成方法、および厚膜パターン形成用凸版の製造方法 - 特許庁
WIRING PATTERN, SUBSTRATE DEVICE, METHOD FOR FORMING SLIT IN WIRING PATTERN, METHOD FOR DESIGNING SLIT IN WIRING PATTERN, APPARATUS AND PROGRAM THEREFOR 配線パターン、基板装置、配線パターンのスリット形成方法、配線パターンのスリット設計方法、その装置およびそのプログラム - 特許庁
METHOD OF PRODUCING ENDLESS PATTERN, METHOD OF MANUFACTURING RESIN PATTERN MOLDING, ENDLESS MOLDING, RESIN PATTERN MOLDING, AND OPTICAL ELEMENT 無端状パターンの作製方法、樹脂パターン成形品の製造方法、無端状モールド、樹脂パターン成形品、及び光学素子 - 特許庁