NANO-PATTERN STRUCTURE AND ITS MANUFACTURING METHOD ナノパターン構造体及びその製造方法 - 特許庁
METHOD AND STRUCTURE OF PATTERN MASK FOR DRY ETCHING ドライエッチング用パターンマスクの方法と構造 - 特許庁
PATTERN FORMATION METHOD AND LAMINATED STRUCTURE パターン形成方法および積層構造体 - 特許庁
LOW LOSS PATTERNSTRUCTURE OF MULTILAYER PRINTED BOARD 多層プリント基板の低損失パターン構造 - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING PATTERNSTRUCTURE, SUBSTRATE WITH PATTERNSTRUCTURE, AND LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE パターン構造物の製造方法、パターン構造物付き基板及び液晶表示装置 - 特許庁
To provide a method of forming a mask patternstructure and a method of forming a fine pattern using the method of forming a mask patternstructure. マスクパターン構造物の形成方法とこれを利用した微細パターンの形成方法を提供する。 - 特許庁