MASK PATTERNTRANSFER METHOD, MASK PATTERNTRANSFER EQUIPMENT USING THE MASK PATTERNTRANSFER METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD マスクパターン転写方法、該マスクパターン転写方法を用いたマスクパターン転写装置及びデバイス製造方法 - 特許庁
PATTERNTRANSFER METHOD, AND PHOTOMASK パターン転写方法およびフォトマスク - 特許庁
TRANSFER METHOD OF FINE UNEVEN PATTERN AND TRANSFER FOIL 微細凹凸パターンの転写方法及び転写箔 - 特許庁
TRANSFER AND PROCESSING METHOD OF FINE PATTERN 微細パタ—ンの転写加工方法 - 特許庁
PATTERNTRANSFER METHOD, PATTERNTRANSFER DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING ELECTRONIC DEVICE パターン転写方法、パターン転写装置及び電子デバイスの製造方法 - 特許庁
Then, a transfer film 12 (transfer material 10) having a fine pattern formed thereto by the transfer of the predetermined pattern of the transferpattern forming part 25 of the patterntransfer mold 20 is peeled from the patterntransfer mold 20. そして、パターン転写型20の転写パターン形成部25の所定パターンが転写されて微細パターンが形成された転写膜12(転写材料10)を、パターン転写型20から剥離する。 - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING PATTERNTRANSFER MOLD パターン転写用型の製造方法 - 特許庁
PATTERNTRANSFER METHOD AND ALIGNER パターン転写方法及び露光装置 - 特許庁