「polygeneric」を含む例文一覧(1)
- To efficiently and easily form a polygeneric thin film without enlarging a vacuum tank used for film forming, in a film forming method and a film forming device.
成膜方法および成膜装置において、成膜に用いる真空槽を大型化することなく、効率よく容易に多元系の薄膜の成膜を行うことができるようにする。 - 特許庁
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