A stable and predicable distribution of the reactive chemical species capable of generation of a specific front surface can be obtained, by transferring a plasma that crosses the workpiece, along a passage calculated by the emitted material. 放出物により計算された経路に沿って加工物を横切ってプラズマを移動させることにより、所定の表面の生成を可能にする反応性化学種の安定且つ予測可能な分布が得られる。 - 特許庁