The blocks 8 are horizontally juxtaposed or vertically stacked, and surplus soils are filled in the cylindrical part, whereby the problem of surplus oil and buoyancy can be simultaneously solved. またこれらブロック8を水平方向に並設し又垂直方向に積み上げ、その後筒状内に残土を充填することにより、残土処理と浮力の問題は同時に解決される。 - 特許庁
To provide a lithographic apparatus that ensures that a light source is cooled and does not cause a problem of a negative effect on human body while preventing the deposition of soils due to sulfides and sublimates created on a substrate surface. 露光装置において、硫化物や基板表面から発生する昇華物を起因とする汚れの付着を防止する場合に、光源の冷却は確実に行われ、かつ、人体への影響が問題とならないようにする。 - 特許庁