「processing area」を含む例文一覧(7091)
＜前へ 1 2 .... 55 56 57 58 59 60 61 62 63 .... 141 142 次へ＞- The proper character recognition correction processing is performed on the basis of the field of each the character image area obtained with the character recognition result of the character image area obtained from the newly inputted form image as a learning result thereof.
そして、新たに入力された帳票画像から得た文字画像領域の文字認識結果を、前記学習結果として得た各文字画像領域の分野に基づいて適切な文字認識補正処理を行う。 - 特許庁 - To provide an image processor which eliminates the trouble to manually set an area and is free from misdetection due to the discrepancy between recording area information and the position of a specific object of image processing in an image.
エリアの設定を手動で行う手間をなくし、且つ、記録エリア情報と画像上の画像処理対象の指定物の位置との不一致による検知ミスが起きない画像処理装置を提供することにある。 - 特許庁 - An area calculating normalizing processing part 7 finds an areas surrounded by a curve of the weighted Fourier spectra and a base line to normalize it, so as to be used for comparison evaluation with a threshold by a normalization area reduction evaluating part 8.
面積算定正規化処理部７は、重み付けフーリエスペクトルの曲線とベースラインとで囲まれる領域の面積を求めて正規化し、正規化面積減小評価部８による閾値との比較評価に供する。 - 特許庁 - A rewritable storage area 12a of the ROM stores firmware 403, the rewrite program 404 rewriting the storage contents of the storage area 12, and a control program 405 for processing described below (A).
ＲＯＭの書き換え可能な記憶領域１２ａには、ファームウェア４０３と、記憶領域１２ａの記憶内容を書き換える書換プログラム４０４と、以下に述べる処理のための制御プログラム４０５とが格納されている（Ａ）。 - 特許庁 - A traffic line processing device acquires traffic line data formed by describing position data in a monitored area of a moving object moving in the monitored area in time series and applies spatial filtering to the traffic line data.
動線処理装置は、監視領域内を移動する移動体の監視領域内における位置データを時系列に記述してなる動線データを取得し、この動線データに対して空間的フィルタリングを行う。 - 特許庁 - To solve the problem in which, in image processing of a document image including a large character, a large character area cannot be determined, or only a part of a character area can be extracted, so that a range of character recognition is limited.
大きい文字が含まれる文書画像の画像処理では、大きい文字領域の判定が出来なかったり、文字領域の一部しか抽出できなかったりして、文字認識の範囲が限られてしまう。 - 特許庁 - In a touch panel display 103 having an information processing section 303, a zone excluding windows is set to be a common zone so as to display the window 106 on the screen controlled by the plurality of users and the area other than the window is made a shared area.
情報処理部３０３を有するタッチパネルディスプレイ１０３において、画面に複数のユーザの管理下に置かれるウィンドウ１０６を表示するようにして、ウィンドウ以外の領域を共有領域とする。 - 特許庁 - To provide a wafer processing method that not only improves the process for obtaining multiple devices by thinning only a device area enclosed by an outer peripheral surplus area but also enables a device to be divided in a regular way.
外周余剰領域に囲まれたデバイス領域のみを薄化して複数のデバイスを得る過程の効率化を図り、また、通常と同様にデバイスの分割作業を行うことができるウエーハの加工方法を提供する。 - 特許庁 - To provide an apparatus for processing a surface of a substrate in physical vapor deposition (PVD) chamber that has an increased anode surface area to improve the deposition uniformity on large area substrates, and to provide a method therefor.
本発明は、一般に、大面積の基板の堆積の均一性を高めるために陽極の表面積を増やした物理気相蒸着（ＰＶＤ）チャンバで、基板の表面を処理する装置及び方法を提供する。 - 特許庁 - From the reference points related by the search part 10, a search area setting part 20 sets an area of search for performing correlative image processing and sets blocks such as a reference data block and a search data block.
探索領域設定部２０は、基準点捜索部１０により対応付けされた基準点から、画像相関処理をする際の探索領域の設定、基準データブロックや捜索データブロックの各ブロックを設定する。 - 特許庁 - After a result of filtering has been binarized, Morphological processing is performed or masking is performed on a part which is not the black area from which the value is generated as the result of filtering to divide the area to separate the background from the image data.
そして、フィルタリング結果を２値化処理した後、Morphological処理を行うか、フィルタリング結果のうち値が発生している黒い領域ではない部分をマスクすることにより、領域を分割して、背景を分離する。 - 特許庁 - When no face is detected in a current frame image through the face detection processing, a candidate face area corresponding to a face area in a past frame image wherein a face has been detected is set in the current frame image.
顔検出処理によって現フレーム画像から顔が検出されなかった場合、顔が検出された過去のフレーム画像内の顔領域に対応する候補顔領域を現フレーム画像内に設定する。 - 特許庁 - The operation of the memory area to be an operation object for (a) failure detection processing of an A task 61 having a high priority and for (b) failure detection processing of a B task 62 having an intermediate priority is carried out by memory operation processing of a C task 63 having a low priority by issuing events from the (a) and (b) failure detection processing.
高優先度のＡタスク６１のａ故障検出処理、及び、中優先度のＢタスク６２のｂ故障検出処理の操作対象となるメモリ領域の操作を、ａ，ｂの故障検出処理からのイベント発行により、低優先度のＣタスク６３のメモリ操作処理によって実現する。 - 特許庁 - The control unit 16 divides the garbage collection processing of the plurality of areas including the cash area, which is executed during access to the memory 15 based on the external access, into a plurality of garbage collection processing steps to execute the garbage collection processing and responds to the external access during the plurality of divided garbage collection processing steps.
制御部１６は、外部アクセスに基づくメモリ１５へのアクセス中に実行するキャッシュ領域を含む複数の領域についてのガベージコレクション処理を、複数回のガベージコレクション処理に分割して実行し、当該複数回に分割されたガベージコレクション処理の間に、外部アクセスに対して応答する。 - 特許庁 - A game device includes a game processing means acquiring the first operation data and the second operation data and executing a prescribed game processing to a virtual game world according to the both operation data, and a display processing means displaying the virtual game world after executing the game processing on the display area of a display device as a picture.
ゲーム装置は、第１操作データおよび第２操作データを取得し、それら両操作データに応じて仮想ゲーム世界に対して所定のゲーム処理を行うゲーム処理手段と、ゲーム処理を行った後の仮想ゲーム世界を画像として表示装置の表示領域に表示させる表示処理手段とを含む。 - 特許庁 - Then, the sharpening processing is made to act with the processing intensity set, regarding the duplicated ares to each pixel of the areas in which the face areas are duplicated among the extracted face areas, and the sharpening processing is acted with the processing intensity set, regarding each face area in the face areas other than the duplicated areas.
そして、抽出した顔領域のうちの、顔領域が重複する領域の各画素には当該重複領域に関して設定された処理強度で鮮鋭化処理を作用させ、重複領域以外の顔領域では各顔領域に関して設定された処理強度で鮮鋭化処理を作用させる。 - 特許庁 - The host request reception processing section 15 receives transmission data from a host layer, to write the data to a transmission area in the transmission/reception buffer 11, and the protocol processing section 12 applies protocol processing to the transmission data to generate a transmission frame, and the network transmission processing section 14 transmits the generated transmission frame to a network N.
ホスト要求受信処理部１５は、送信データを上位レイヤから受け取って送受信バッファ１１内の送信用領域に書き込み、プロトコル処理部１２は、送信データにプロトコル処理を行って送信フレームを作成し、ネットワーク送信処理部１４は、作成された送信フレームをネットワークＮ上に送信する。 - 特許庁 - While a main control board C carries out rising processing (initializing processing) and ending processing (power failure processing), a ball path close solenoid 9a is turned on and a ball path 8 is closed such that even when a ball is shot, it is not shot into a play area and proceedings of the game are stopped.
主制御基板Ｃが立ち上げ処理（初期化処理）および終了処理（停電時処理）を実行している間は、球経路封鎖ソレノイド９ａがオンされ、球経路８が封鎖されるので、万一、球が発射されたとしても、球が遊技領域へ打ち込まれることはなく、遊技の進行が停止される。 - 特許庁 - In an initialization processing method for a gateway device, a startup routine including processing that performs zero-clearance of a memory area of a computer is executed, and then, zero clearance of a static variable in an application program is omitted or initial value substitution processing other than processing for performing zero clearance of the static variable of the application program is performed to start the application program.
コンピュータのメモリ領域を０クリアする処理を含むスタートアップルーチンを実行し、ついで、アプリケーションプログラムにおけるスタティック変数の０クリア処理を省略、または、アプリケーションプログラムのスタティック変数を０クリアする処理以外の初期値代入処理を施して、アプリケーションプログラムを立ち上げる。 - 特許庁 - An image processing apparatus calculates a smoothed value obtained by smoothing signal levels of a plurality of pixels including a processing target pixel in a local area of an input image and a feature amount representing an edge degree of the processing target pixel using a pre-noise reduction image obtained by reducing the impulse noise of the input image by applying filter processing to the input image.
入力画像の、処理対象画素を含む局所的な領域の複数の画素の信号レベルを平滑化した値を算出するとともに、入力画像にフィルタ処理を適用してインパルスノイズを低減したプレノイズ低減画像から、処理対象画素のエッジの程度を示す特徴量を算出する。 - 特許庁 - In the overspread processing method, when the operator selects an image area CR2 being a processing object, the processing object CR2 is wide-processed by a prescribed width (d), and the colors of overspread areas CR4, CR5 formed thereby are decided, based on a color of the processing object CR2 and original colors of the overspread areas CR4, CR5.
オペレータが処理対象となる画像領域ＣＲ２を選択すると、処理対象領域ＣＲ２の所定の幅ｄだけ太らせる処理を行い、これによって形成されたカブセ領域ＣＲ４、ＣＲ５の色を処理対象領域ＣＲ２の色と、カブセ領域ＣＲ４、ＣＲ５部分の元の色とに基づいて決定する。 - 特許庁 - The image processing apparatus is characterized in to include an image inputting unit configured to input image data of an original image, an area specifying unit configured to specify a predetermined area in the input original image, and a partial image creating unit configured to create a partial image by extracting an image section corresponding to the specified area specified by the area specifying unit.
本発明に係る画像処理装置は、原画像の画像データを入力する画像入力手段と、入力された前記原画像中の所定の領域を指定する領域指定手段と、前記領域指定手段で指定された指定領域の画像を切り出して部分画像を生成する部分画像生成手段とを備えたことを特徴とする。 - 特許庁 - In a fixed display area specifying processing, a CPU indicates that the display contents of a fixed display area 4b are not to be scrolled by making the fixed area 4b shown in the figure A displayed on the display screen 4a and by determining a starting point/an ending point and by flickering the area 4b.
ＣＰＵ２は、固定表示領域指定処理において、表示部４の表示画面４ａに、図３（Ａ）に示すような固定表示領域４ｂを表示させ、更に開始ポイント及び終了ポイントを決定し、固定表示領域４ｂを点滅表示することによって、この固定表示領域４ｂ内の表示内容がスクロールされないことを示す。 - 特許庁 - The system control unit 110, when it determines that the imaging areas of a plurality of images do not include a recording area on receiving data on the shake amount from a correlating arithmetic unit 143 in the camera shake correcting unit 140, makes the size of the recording area for an imaging area smaller and sets the recording area for an image read unit 161 in a signal processing unit 160.
システム制御部１１０は、手ぶれ補正部１４０内の相関演算部１４３からのぶれ量のデータを受けて複数の画像の撮像エリアが記録エリアを含まない状態であると判定したときには、撮像エリアに対する記録エリアの面積をより狭くして信号処理部１６０内の画像読出部１６１にその記録エリアを設定する。 - 特許庁 - When a processing part 13 of an area management device 10 receives a demand which restricts entry to a specific area from a terminal for a manager 20, it is confirmed whether interference between the demanded area and other areas occurs or not by referring to an entry limitation situation shown in an area management table 121 read out of a storage part 12.
エリア管理装置１０の処理部１３は、管理者用端末２０から、特定エリアへの立入りを制限する要求を受信した場合、記憶部１２から読み出したエリア管理表１２１にあらわされた立入り制限状況を参照して、前記要求されたエリアと他のエリアとの間で干渉しないかどうかを確認する。 - 特許庁 - When a main display area MA is switched as a menu display area according to the operation of a button B1, a menu processing part 24 reads menu information from a menu definition file 25, and makes the menu display area MA display the menu information in a state that respective divided areas screen-divided according to display area division number information 27 are displayed.
メイン表示エリアＭＡがボタンＢ１の操作によってメニュー表示エリアとして切り換えられた場合に、表示エリア分割数情報２７にしたがって画面分割された各各分割エリアが表示されている状態において、メニュー処理部２４は、メニュー定義ファイル２５からメニュー情報を読み出してメニュー表示エリアＭＡに表示させる。 - 特許庁 - The imaging device with a mask function of masking a specified area in a picked-up image is equipped with a masked area specifying device which specifies the area to be masked in the picked-up image and an image processor which performs image processing while excluding an image signal included in the area to be masked from an object to be processed.
撮像画像中の特定領域をマスクするマスク機能を備えた撮像装置であって：撮像画像の中からマスク対象領域を特定するマスク対象領域特定装置と；マスク対象領域に含まれる画像信号を処理対象から除外して画像処理する画像処理装置と，を備えることを特徴とする撮像装置が提供される。 - 特許庁 - To provide a system for photographing the entire construction work area by photographing means, processing video images obtained by the photographing by dedicated software, specifying an area of a construction machine and an area of an operator, issuing an alarm when the areas are brought into contact or deviate from a work area and preventing contact of targets with each other.
撮影手段で建設工事領域を全て撮影するようにし、該撮影して得られた映像を専用ソフトで処理して、建設機械のエリア、及び作業員のエリアを特定し、これらエリア同士が接触したとき或は作業エリアから逸脱した場合には警報を発してターゲット同士の接触を防止するシステムを提供する。 - 特許庁 - To provide an image processing device that, in generating an information image that is combined to conceal an area in a document and from which the concealed area can be restored, when information of the concealed area does not fall within the information image, selects information indicating an image in the concealed area and generates an information image.
情報画像を合成することによって文書内の領域を隠蔽し、その隠蔽された領域を復元できるような情報画像を生成する場合に、情報画像内に隠蔽領域の情報が収まらないときには、隠蔽領域内の画像を示す情報を選択して情報画像を生成するようにした画像処理装置を提供する。 - 特許庁 - This information processor judges whether a cursor 23 after movement processing exists in an A display area 22 or in a B display area 21, sets ten to a count value CONT 10 when the cursor 23 is located in the A area 22 and sets twenty to the count value CONT when the cursor 23 is located in the B area 21.
本情報処理装置においては、移動処理後のカーソル２３の位置がＡ表示領域２２にあるかＢ表示領域２１にあるかを判別し、カーソル２３がＡ領域２２に位置にする場合には、カウント値ＣＯＮＴに１０を設定し、カーソル２３がＢ領域２１に位置にする場合には、カウント値ＣＯＮＴに２０を設定する。 - 特許庁 - An arithmetic processing part 132 integrates imaging signals for every divided area weighted by a center part important photometry system to calculate evaluation values for a preset object total area and a background area except the object total area, and compares the evaluation values to detect whether the object is in the backlight state or in the excess follow light state.
演算処理部１３２は、予め設定した被写体総合エリアと、それ以外の背景エリアについて中央部重点測光方式で重み付けした各分割領域毎の撮像信号を積算して評価値を算出して、それらを比較して被写体が逆光状態であるか、過順光状態であるかを検出する。 - 特許庁 - To provide an image processor, an image processing method, and a program whereby the color of a reproduction image reproduced, based on corrected pixel information, is made closer to a memory color, by correcting the pixel information of the pixel constituting the image area based on the area characteristic of the image area for each of the image areas divided in the target area.
対象領域を分割した画像領域ごとに、その画像領域の領域特性に基づいて、その画像領域を構成する画素の画素情報を補正することによって、補正された画素情報に基づいて再生される再生画像の色を記憶色に近づけることが可能な画像処理装置、画像処理方法およびプログラムを提供する。 - 特許庁 - The video controller 15, when receiving the instruction, performs processing for setting a mask area of a shape based on the shape information in an area based on the area information in an image to be displayed on a liquid crystal display 16 and painting out the mask area by a color based on the color information, and then displays the processed image on the image display device 2.
ビデオコントローラ１５は、この指示を受けると、液晶ディスプレイ１６に表示すべき画像に対して、領域情報に基づく領域内に形状情報に基づく形状のマスク領域を設定するとともにこのマスク領域内を色情報に基づく色で塗り潰す処理を施し、処理後の画像を画像表示装置２に表示させる。 - 特許庁 - A polarization area constituting an input 3 and a polarization area constituting an output 4 are arranged on a piezoelectric ceramic body 2 so that a piezoelectric transformer can be constituted, the surface area of the piezoelectric ceramic body 2 in an output 4 of the piezoelectric transformer is covered with insulating materials 10, and the polarization processing of the polarization area of the output part 4 is carried out in air.
圧電セラミック体２上に、入力部３を構成する分極領域と、出力部４を構成する分極領域とを設けてなる圧電トランスの出力部４における圧電セラミック体２の表面領域を絶縁材１０で覆ったうえで、出力部４の分極領域に対して気中で分極処理を行う。 - 特許庁 - An image processing part 51 determines whether a percentage of a specific direction among edge directions included in a pedestrian candidate area constituting a second pedestrian candidate area extraction image exceeds a predetermined percentage, and when it is determined that the predetermined percentage is exceeded, excludes the pedestrian candidate area from the second pedestrian candidate area extraction image.
画像処理部５１は、第２歩行者候補領域抽出画像を構成する歩行者候補領域に含まれるエッジ方向のうち特定の方向の割合が所定割合を上回るか否かを判断し、所定割合を上回ると判断する場合、その歩行者候補領域を第２歩行者候補領域抽出画像から除外する。 - 特許庁 - When a user operates a character synthesis key to instruct display of character information (character synthesis), an image signal processing part sets a character area 12t having height Ht capable of displaying character strings for one line on an upper part of a pixel area 12a and compensates image data so that an input image Gi is settled in height Hg of the remaining area (image area 12g).
ユーザが文字合成キーを操作して、文字情報の表示（文字合成）を指示すると、画像信号処理部は、画素領域１２ａの上部に、一行分の文字列を表示可能な高さＨｔを有する文字領域１２ｔを設定し、入力画像Ｇｉが残りの領域（画像領域１２ｇ）の高さＨｇに収まるように画像データを補正する。 - 特許庁 - When focusing is started, the image processing part 15 reads whole image data stored in a frame memory 16, displays them in the whole display area 71 of the display part 7, continuously reads image data in the image area 74 specified by the marker 75 so as to be expanded, expands the area with prescribed magnification and displays it in the whole area 72 of the display part 7.
ピント合わせ動作を開始すると、画像処理部１５はフレームメモリ１６に格納した画像データの全体を読み出して表示部７の全体表示領域７１に表示し、引き続きマーカ７５で特定された拡大する画像領域７４の画像データを読み出し、所定の倍率で拡大して表示部７の拡大表示領域７２に表示する。 - 特許庁 - The area cut-out circuits 100, 120 extract a class tap and a prediction tap on the basis of the input image signal and the field/frame processing identification circuit 11 identifies which of field DCT processing/frame DCT processing is conducted at compensation coding.
入力画像信号に基づいて、領域切り出し回路１００、１２０がクラスタップ、予測タップを抽出し、また、フィールド／フレーム処理識別回路１１がフィールドＤＣＴ処理／フレームＤＣＴ処理の何れが圧縮符号化時に行われたかの識別を行う。 - 特許庁 - By setting in such a way, processing from starting the readout processing RD2 to read out the image information from the imaging device until finishing automatic tracking AF processing (detecting the movement of a main subject and changing a focus detection area on the photographic image plane) CT1 is performed within one frame.
このような設定により、撮像素子からの画像情報の読出しＲＤ２の開始から、自動追尾ＡＦ処理(主被写体の動き検出および撮影画面内の焦点検出エリアの変更)ＣＴ１が終了するまでを１フレーム内で行える。 - 特許庁 - A device for processing magnetic data, comprising a magnetic head 16 for magnetic data processing within the magnetic data processing area 13 of a passbook 11, driving rollers 17, 19 and 20 near, before and after the magnetic head 16, pinch rollers 18, 22, and 23 for conveying the passbook 11 and a pulse motor 25 for driving the driving rollers 17, 19 and 20.
通帳１１の磁気データ処理範囲１３に磁気データ処理を行う磁気ヘッド１６と、磁気ヘッド１６の近傍とその前後に配置された駆動ローラ１７、１９、２０とピンチローラ１８、２２、２３とにより通帳１１を搬送する。 - 特許庁 - To conduct image processing under image processing conditions corresponding to the image data of a processed area to be used in determining the image processing conditions, which is limited depending on the output size of a read image read by a reader.
本発明の課題は、読取装置により読み取られた読取画像の出力サイズに応じて、画像処理条件の決定に用いる領域を限定し、その限定した処理領域の画像データに対応する画像処理条件で画像処理を施すことである。 - 特許庁 - In a memory area concerning a broadcasting station under reception, the relation of the inputted program starting page and the day of the week for broadcasting is stored in the correspondent address by this click processing and processing is completed for preparing a collation table as processing for registering the program starting page.
このクリック処理によって受信中の放送局に関するメモリエリアに、入力した番組開始ページと放送曜日との関係が対応するアドレスに記憶され、番組開始ページの登録処理である照合テーブルの作成処理が終了する。 - 特許庁 - All of three divisions of a wash place are not used for a processing object and an area where no image detection processing is implemented is provided around the wash place so as to exclude a wall face of the bath room, a shower, and a counter from the processing object.
三分割した洗場領域のすべてを処理対象として使用せずに、洗場領域の周囲に画像の検出処理を行なわない領域を設けたことで、浴室の壁面、シャワー、カウンタ等の画像データを処理の対象から除外している。 - 特許庁 - For this image processing unit, an input color conversion section 1 converts an RGB color space into a CMYK color space, a 1st color conversion section 2 converts the converted color space into a CMY color space regarding an object area for logic arithmetic operation processing, and a logic arithmetic section 3 conducts logic arithmetic processing.
入力色変換部１でＲＧＢ色空間からＣＭＹＫ色空間に変換後、論理演算処理の対象領域について第１色変換部２でＣＭＹ色空間に色変換し、論理演算部３で論理演算処理を行う。 - 特許庁 - To provide an information processing apparatus and a control method of the same, allowing suppression of cost increase by increase of storage capacity, and allowing securement of a development area of a compressed difference file while preventing that update processing of firmware competes with other processing.
記憶容量の大容量化によるコストアップを抑制すると共に、ファームウェアのアップデート処理がその他の処理と競合することを防止しながら、圧縮した差分ファイルの展開領域を確保可能な情報処理装置及びその制御方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a microwave plasma generator for a plasma processing device and an ion beam processing device which perform various processes using plasma in the field of semiconductor processing, enabled to stably generate a uniform plasma having big area for long period at low gas pressure.
半導体プロセッシングの分野において、プラズマを用いて各種の加工を行なうプラズマ加工装置およびイオンビーム加工装置において、低ガス圧で、均一、大面積のプラズマを長時間安定に発生さすことを可能とするマイクロ波プラズマ生成装置を提供する。 - 特許庁 - Since each of divided document data is the same as the memory size of the plotting area in the memory 24, printing data can be plotted in the memory 24 only by plotting processing and compression processing without performing extension processing.
このときに分割される文書データの各々は、それぞれ、そのときの描画メモリ２４の描画領域のメモリサイズと同一となるため、描画メモリ２４に印刷データを描画する際に、伸張処理を行うことなく、描画処理と圧縮処理のみで行うことができる。 - 特許庁 - When simple deletion processing is started, deletion processing information which shows that a deletion processing operation is terminated or is progressing is recorded on an optical disk, and a program memory area(PMA) and a control region (the first read-in, track descriptor of the first track) are erased.
簡易消去処理を開始すると、消去処理実施中もしくは実施済みであることを示す消去処理情報を光ディスクに記録し、中間記録管理領域（ＰＭＡ）、管理領域（最初のリードイン、最初のトラックのトラックディスクリプタ）を消去する。 - 特許庁 - Hole processing is carried out at a position corresponding to the change amount on the processing workpiece 20 by correcting data of a processing position to which the laser beam is irradiated based on the data of the positioning marks 22 in the partial deformation area and based on the data of the positioning marks 21 at other areas.
局所変形領域内では位置決めマーク２２のデータを基に、他の領域では位置決めマーク２１のデータに基づき、レーザ光を照射する加工位置データを補正して、加工ワーク２０上の変化量に対応した位置に穴加工を施す。 - 特許庁 - To provide a plasma processing apparatus which can maintain the uniformity of plasma processing, even when the material of an object film to be processed on a large-area substrate or wafer is different or process conditions of processing of a laminated film formed of a plurality of materials change greatly.
大面積の基板またはウェハ上の処理対象膜の材料が異なったり、複数の材料からなる積層膜を処理するようなプロセス条件が大きく変化する場合にもプラズマ処理の均一性を保つことができるプラズマプロセス装置を提供する。 - 特許庁
- 特許庁
- Copyright © Japan Patent office. All Rights Reserved.
