EQUIPMENT INFORMATION PROCESSING SYSTEM, EQUIPMENT INFORMATION PROCESSING METHOD, EQUIPMENT INFORMATION PROCESSOR, EQUIPMENT INFORMATION PROCESSING PROGRAM AND CONTROL DEVICE 機器情報処理システム、機器情報処理方法、情報処理装置、機器情報処理プログラム及び制御装置 - 特許庁
SUBSTRATE PROCESSINGEQUIPMENT AND ELECTRIC HEATER FOR SUBSTRATE PROCESSINGEQUIPMENT, AND SUBSTRATE PROCESSINGEQUIPMENT EQUIPPED WITH THIS 基板処理装置並びに基板処理装置用電気ヒーター及びこれを備えた基板処理装置 - 特許庁