To supply gas at a specified rate of flow stably into a reaction chamber, in a semiconductor manufacturing device which performs processing making use of a plasma. プラズマを利用した処理を行なう半導体製造装置において、反応室内に所望の流量のガスを安定して供給する。 - 特許庁
With such an arrangement, the ratio of ozones contributive to processing can be increased by making thin the ozone gas flow layer and reaction efficiency can be enhanced. これにより、オゾンガス流の層厚を薄くして、処理に寄与するオゾンの割合を増やすことができ、その反応効率を高めることができる。 - 特許庁
At a time of abnormality, the gas in the processing tank 10 is discharged at a larger flow rate by a second exhaust system 60 than that of the first exhaust system 40. 異常時には、第2排気系60によって処理槽10内のガスを第1排気系40より大きな流量で排出する。 - 特許庁
The image processing section 211 erases the bar code contained in the image represented by the image data under control of a flow execution control section 203. また、画像処理部211は、フロー実行制御部203の制御の下、画像データによって表される画像に含まれるバーコードを消去する。 - 特許庁
To provide a straightener, whose measurement accuracy is high and which reduces the processing operation regarding a flow measurement is spite of being of a small size and to provide a gas meter. 小型でありながら、計測精度が高くかつ流量測定に関する処理を軽減させる整流器及びガスメータを提供する。 - 特許庁
A failure spot is determined by a failure spot determiner 7 based on processing results of the relation drawer 3 and the flow monitor 5. 故障箇所特定装置7は、論理関係抽出装置3およびデータフロー監視装置5の処理結果に基づいて、故障箇所を特定する。 - 特許庁
To provide a liquid feeding pump for feeding various kinds of processing liquid used in development processing of a film or photosensitive material, surely preventing a back flow of the processing liquid and feeding a minute amount of the processing liquid with simple structure not using an electronic circuit or the like for controlling a valve. バルブの制御に電子回路等を使用しない簡単な構成でありながら、確実に処理液の逆流を防止し、かつ微少量の処理液を搬送することが可能な、フィルムまたは写真感光材料を現像処理する際に使用する種々の処理液を送るための液送ポンプを提供すること。 - 特許庁
Grouping processing parts 14 and 16 generates the records of a group information file 102 showing a series of processing elements and their connection by using a series of processing elements having constant connection relationships as group elements based on the information of processing elements in a data flow file 100 stored in a storage device 12 and their connection. グループ化処理部14、16は、記憶装置12に記憶されたデータフローファイル100中の処理エレメントおよび接続の情報に基づいて、一定の接続関係を持つ一連の処理エレメントをグループエレメントとして、一連の処理エレメントおよびその間の接続を示すグループ情報ファイル102のレコードを生成する。 - 特許庁
A process flowchart showing the arrangement of processing apparatuses and the flow is created by showing the processing apparatuses, pipes and the like to be controlled on a screen as a symbol menu, selecting desired processing apparatuses, and pipes and the like sequentially, arranging them on a predetermined location of the prescribed grid, and connecting each of the processing apparatuses by the pipes and the like. 制御対象であるプロセス機器や配管類をシンボルメニューとして画面表示し、希望のプロセス機器や配管類を順次選択して、定められたグリッド上の所定の位置に配置し、各プロセス機器間を配管類によって接続して、プロセス機器の配置関係及び物流経路を表すプロセスフロー図を生成する。 - 特許庁
To easily confirm processingflow of the whole web system by collecting processing records of a client device on a server device side and verifying the processing records of the server device and the client device when a computer system composed of the client device and the server device records processing of a web application in the client device and the server device. クライアント装置とサーバ装置から構成されるコンピュータシステムでウェブアプリケーションのクライアント装置およびサーバ装置における処理の記録を行う際に、クライアント装置の処理記録をサーバ装置側に収集し、サーバ装置とクライアント装置の処理記録の照合によってウェブシステム全体の処理の流れを容易に確認すること。 - 特許庁
An image reconstruction section 13 of the MRI apparatus 100 carries out the image reconstruction processing of the image data of an imaged subject P according to the reconstruction processingflow, where the execution order for a series of image reconstruction processing is set up in correlation to this order and execution results. MRI装置100の再構成部13は、処理を実行する順序と実行結果とに相関がある一連の処理群の該順序が設定された再構成フローに従って、被検体Pが撮像された撮像データの再構成処理を実行する。 - 特許庁
To provide a document processor and a document processing method, capable of identifying a work flow under execution from an image data read out of an image on a medium. 媒体上の画像を読み取った画像データから、実行中のワークフローを識別する文書処理装置及び文書処理方法を提供すること。 - 特許庁
The indication data of the prepared/edited message or the like is registered and can be used as one of choices at the time of preparation of the processingflow on and after. 作成・編集されたメッセージ等の指示データは登録され、それ以降の処理フロー作成時に選択肢の1つとして使用することができる。 - 特許庁
To provide a processing aid enabling occurrence of both matter not gelled and flow marks on a sheet to be reduced and enabling releasability of the sheet from the metal surface of a roll to be improved. シート上の未ゲル化物とフローマークの発生を減少させ、シートのロール金属面からの離型性を向上させる加工助剤の提供。 - 特許庁
That is, a multi-phase flow 29 composed of air and hard particles 28 collides with the sliding surface 1s at high speed, thereby processing the recessed pressure receiving surface 7. すなわち、空気と硬質粒子28の混相流29を高速で摺動面1sに衝突させることによって、凹状受圧面7を加工する。 - 特許庁
Then, the flow processor performs message conversion processing to use the second type service as the first type service on the basis of the converted service definition document. そして、変換されたサービス定義文書に基づいて、第2の型のサービスを第1の型のサービスとして利用するためにメッセージ変換処理を行う。 - 特許庁
To improve the accuracy of a throttle flow rate parameter μ*A by a simple processing, which is used for calculating a cylinder-charged air quantity by using an intake system model. 吸気系モデルを用いて筒内充填空気量を演算する際に使用するスロットル流量パラメータμ・Aの精度を簡単な処理で向上させる。 - 特許庁
To analyze work flow of work wherein a subsequent process is carried out before finishing a preceding process and a processing target transmitted between processes is varied. 先行プロセスの終了を待たずに後方プロセスが実行され、且つ、プロセス間で伝達される処理対象物が変化する業務の業務フローを分析する。 - 特許庁
To provide a spin processing device which is capable of smoothly exhausting an air flow generated in a cup body by the rotation of a rotary table. この発明は、回転テーブルの回転によってカップ体内に生じる気流を円滑に排出できるようにしたスピン処理装置を提供することにある。 - 特許庁
Also, when the user changes the graphic components in an image, the business processingflow figure creation/edition support server 10 updates the tabular figure state file 36. また、利用者が画像において図形部品などを変更すると、業務処理フロー図作成編集支援サーバ10は、表図状態ファイル36を更新する。 - 特許庁
To calculate a ground fault current caused to flow in an electric circuit of a non-grounded system electric path by a ground fault accident in premises of the electric circuit of the non-grounded system by simple arithmetic processing. 非接地系電路の構内での地絡事故によりその非接地系電路に流れる地絡電流を簡易な演算処理により算出する。 - 特許庁
To dispense with operator's decision on the situation by automatizing processing in an independent switching stage, and to suppress fluctuations of flow rate and pressure of combustion air. 自立切替段階の処理を自動化してオペレータの状況判断を不要にすると共に、燃焼用空気の流量や圧力の変動を抑制する。 - 特許庁
Accordingly, not only overhead in storage devices of network nodes and signaling protocol processing but also flow state information maintained in network nodes can greatly be reduced. 従って、ネットワークノードの記憶装置およびシグナリングプロトコル処理のオーバーヘッドのみならず、ネットワークノードに維持されたフロー状態情報を大幅に低減する。 - 特許庁
To improve the operation convenience of task link processing system by allowing flow information for defining linkage of tasks to be automatically updated in accordance with the task update. タスクのアップデートに応じて、タスクの連携を定義するフロー情報を自動的に更新することを可能とし、タスク連携処理システムの使い勝手を向上する。 - 特許庁
Line noise from a processing part 3a for performing an information collecting operation in the information collecting device 12 is made to flow to the ground by low impedance via the electromagnetic shield 5. 情報収集装置12の情報収集動作を行う処理部3aからのラインノイズは、電磁波シールド5を介して低インピーダンスで設置に流れる。 - 特許庁
To provide an ultrasonic diagnostic apparatus which can establish an interest domain for simply carrying out Doppler processing and observes after coloring a motion part such as a blood flow from ultrasonic data. 簡単にドプラ処理を実施するための関心領域の設定ができ、超音波データから血流等の運動部位をカラー化して観察する。 - 特許庁
To eliminate communication bias by simple processing while keeping an advantage that packets of an identical communication flow have an identical transfer destination in selection of a multi-pass transfer destination. マルチパスの転送先の選択において、同じ通信フローのパケットは転送先が同じになる利点を残しつつ、簡易な処理で通信の偏りをなくす。 - 特許庁
By this setup, an air flow formed inside the processing chamber S ramifies uniformly to pass through the vent holes 96 and is exhausted through the exhaust vent 90c. これによって,処理室S内に形成される気流は,各通気孔96を均等に分流されて通過し,排気口90cから排気される。 - 特許庁
To provide an image processing apparatus capable of preventing flow-out of confidential information or the like of backup data transmitted with acquisition of disaster symptom information. 災害予兆情報の取得に伴って送信したバックアップデータの機密情報等が流出するのを防止できる画像処理装置を提供する。 - 特許庁
To provide a virtual computer system configured to easily change the structure of a job flow or data in a computer virtualized environment, to facilitate batch processing. コンピュータの仮想化環境で、ジョブフローやデータの構成を容易に変更して、バッチ処理を容易に実行できる仮想コンピュータシステム等を提供する。 - 特許庁
To provide a substrate processing apparatus capable of maintaining the pressure in an inside of a carburetor and of stably vaporizing a large flow volume of raw material. 気化器内部の圧力を低く保ち、安定的に大流量の液体原料の気化動作を行うことができる基板処理装置を提供する。 - 特許庁
To aim at simplification of a plasma processing device by mixing atmosphere gas into process-gas flow when an added component of the process gas is same as the atmosphere gas. プロセスガスの添加成分が雰囲気ガス成分と同じである場合、雰囲気ガスをプロセスガス流に混入することにより、設備の簡素化を図る。 - 特許庁
To provide a plasma processing apparatus which can realize plasma confinement and capture of redicals even under a low-pressure and high-gas flow rate condition. この発明の目的は、低圧・大流量の条件においても、プラズマの閉じ込めとラジカルの捕捉とを実現できるプラズマ処理装置を提供することにある。 - 特許庁
To quickly adjust the pressure of a depressurized processing chamber to a desired pressure irrespective of the kind of a gas, gas flow rate, and target pressure only by setting a constant to an optimum value. 定数を最適な値に設定するのみで、ガス種、ガス流量、目標圧力に関わらず、減圧処理室を速やかに所望圧力に調整する。 - 特許庁
It is desirable that gas G is made flow in so that furnace atmosphere of the RTA device 21 includes nitrogen when a rapid heating/rapid freezing (RTA) processing is performed. この急速加熱・急速冷却(RTA)処理時に、RTA装置21の炉内雰囲気を、窒素を含むように、ガスGを流入させるのが好ましい。 - 特許庁
A resistor 80, which is to be adjusted is taken precisely into multilayer stacks 60 and 70, where the flow of the processing of a thin film resistor is optimized. 薄膜抵抗の処理の流れが、最適化された多層積重ね(60、70)内に調整すべき抵抗(80)を正確に取り入れる問題を解決する。 - 特許庁
The control unit decreases the flow of the inert gas in proportion to a difference between the detected pressure P1 and an ideal pressure Pr in the processing vessel. 制御部は,処理容器内の理想圧力Prに対する検出圧力P1の差分に比例して不活性ガスの流量を減少させる。 - 特許庁
METHOD OF CONTROLLING CONVEYANCE FLOW FOR ARTICLE IN TOBACCO PROCESSING INDUSTRY BETWEEN TRAY DISCHARGE DEVICE AND DELIVERY DEVICE HAVING DELIVERY MODULES トレー式排出機器と複数の配送モジュールを備えた配送機器との間における、たばこ処理産業の物品から成る移送フローの制御方法 - 特許庁
To provide a bellows pump and a substrate processing apparatus equipped with this which can determine the breakaway of a check valve by noticing that the flow path resistance varies. 流路抵抗が変動することに着目して、チェッキ弁の離脱を判断することができるベローズポンプ及びこれを備えた基板処理装置を提供する。 - 特許庁
The dry promotion processing part 3 supplies clean air at a flow velocity higher than a prescribed velocity to the substrate coated with the resist by the spin coater part 2. 乾燥促進処理部3は、スピンコータ部2においてレジストが塗布された基板に対して所定速度以上の流速の清浄空気を供給する。 - 特許庁
To provide an ultrasound diagnostic apparatus which can effectively eliminate unnecessary noise signals and obtain high-precision blood flow signals, and its image processing program. 不要なノイズ信号を有効に除去して、高精度の血流信号を得ることが可能な診断超音波診断装置及びその画像処理プログラムを提供する。 - 特許庁
A flow passage is switched to a second branch pipe 49 to carry out such separation/removal operation as to cause an oil/water separating filter 51 to remove pure water from the processing solution. 第2の分岐配管49に流路を切り換えて油水分離フィルタ51により処理液中の純水を除去する分離除去処理を行わせる。 - 特許庁
The flow meter is provided with a display part 14 having a bar display area composed of a plurality of segments, a restoration button 15, a determination processing part 25 and a power source part 17. 複数のセグメントで構成されたバー表示領域を有する表示部14、復帰ボタン15、判定処理部25および電源部17を備える。 - 特許庁
A direction generation server 30 creates directions defining processing contents, the storage location of a document to be processed, and the like according to the defined job flow. 指示書生成サーバ30は定義されたジョブフローに従って処理内容や処理対象の文書の格納位置等が定義された指示書を作成する。 - 特許庁
The same processing is performed, and if coincident as a result of flow information comparison, the statistical information is updated, while if non-coincident, then third CAM retrieval is performed. そして同様の処理を行い、フロー情報比較の結果、一致した場合、統計情報を更新し、一致しない場合、第3CAM検索を行う。 - 特許庁
A gain characteristic for frequencies of the filtering processing is suitably changed according to an exhaust gas flow having influence on the frequency characteristic of the exhaust system E. フィルタリング処理の周波数に対するゲイン特性は、排気系Eの周波数特性に影響を及ぼす排ガス流量に応じて適宜変更される。 - 特許庁
To enable an air flow flowing toward an exhaust vent to be uniformly formed in a processing chamber so as to make a substrate such as a wafer or the like uniform in heating temperature distribution throughout its surface. 排気口へと流れる気流が処理室内において均等に形成されるように制御し,ウェハ等の基板面内の加熱温度を均一にする。 - 特許庁
To facilitate work operations from substrate processing to inspection, to reduce the time needed for the work operations, and to perform inspection, without reversing the transport flow of substrates. 基板処理から検査に亘る作業の簡便化と、時間の短縮とを図ること及び基板の搬送フローを逆行することなく検査を行うこと。 - 特許庁
Therefore, in such a situation, there is conducted multiple discharging processing in which the peak current is made to flow a plurality of times only when a starter is activated, in particular. このため、こうした状況下であって、特にスタータが起動されているときに限ってピーク電流を複数回流す多重放電処理を行う。 - 特許庁
A communicating port 28 is provided to vertically communicate the exhaust dust 21 to the cooling air duct 22 in the downstream position of an exhaust flow in the exhaust processing part 25. 排気処理部25の排気流の下流位置において排気ダクト21と冷却空気ダクト22とを上下方向に連通させる連通口28を設ける。 - 特許庁