To give a current stress to all circuit nodes and efficiently perform burn-in by changing a power supply pulsingly. 電源をパルス的に変化させることにより、全回路ノードに対して電流ストレスを与え、効率良くバーンインを行うことができるバーンイン試験方法、バーンイン試験装置およびバーンイン試験方法に使用する半導体チップを提供する。 - 特許庁
A power supply Vcc is supplied to the internal circuit of a semiconductor chip pulsingly from 0 V to a burn-in voltage Vbi, thus giving a current stress to the entire internal circuit and hence performing a burn-in test efficiently. 半導体チップの内部回路に対してVcc電源を0Vからバーンイン電圧Vbiまでバルス状に供給することにより、内部回路全体に電流ストレスを与えることにより、効率良くバーンイン試験を行う。 - 特許庁