The fine pattern is formed by condensing a particularly ultrashort pulse laser beam to focus on an interface between a substrate and a photosensitive resin layer so as to react the photosensitive resin layer. 特に極短パルスレーザを、その焦点が基板と感光性樹脂層との界面に位置するように集光して、感光性樹脂層を反応させて微細パターンを形成する。 - 特許庁