「rectangular collimation」を含む例文一覧(1)

  • The proximity exposure apparatus comprises at least an exposure light source lamp 10, an elliptic mirror 20, a cold mirror 30, a filter 40, an integrator lens 50, a collimation mirror 60, a reflection mirror 70 and a photomask 80, wherein the lens shape of the integrator lens 50 is changed from rectangular to circular.
    少なくとも露光光源ランプ１０と、楕円ミラー２０と、コールドミラー３０と、フィルター４０と、インテグレーターレンズ５０と、コリメーションミラー６０と、反射ミラー７０と、フォトマスク８０とで構成される近接露光装置において、前記インテグレーターレンズ５０のレンズ形状を矩形から円形にしたことを特徴とする近接露光装置である。 - 特許庁

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