In this invention, at least one reflection film constituting the acoustic multilayer film 110 is oriented to a specific crystal face, the half band width of an X-ray logging curve is preferably set to ≤10°, more preferably set to ≤3°. 本発明においては、音響多層膜110を構成する少なくとも一つの反射膜が特定の結晶面に配向しており、好ましくはX線ロッキングカーブの半値幅が10°以下、より好ましくは3°以下に設定されている。 - 特許庁