A four-terminal probe sheet resistometer is set between titanium layers 24, 28 of the semiconductor wafer 20 to measure temp. 半導体ウェーハ20の各チタン層24、28間に4端子針シート抵抗測定機をセットして行う。 - 特許庁
A Biological Indicator Evaluator Resistometer (BIER vessel) provides enhancements in controlling the start and end points of exposure to a sterilant gas. 生物学的インジケータ評価レジストメータ(BIER容器)は、殺菌ガスに曝す開始時点および終了時点の制御性を高める。 - 特許庁