When a sprayed coating comprising either alumina, a rare earth oxide, polyimide or polybenzimidazole that covers the surface of a substrate of member inside a plasma treatment container becomes degraded through its use in a plasma environment, materials same as that composing the sprayed coating is resprayed over the degraded sprayed coating. 基材の表面がアルミナ,希土類酸化物,ポリイミドまたはポリベンゾイミダゾールのうちのいずれかの溶射膜によって被覆されたプラズマ処理容器の内部の部材の,プラズマ中での使用により劣化した溶射膜に,前記溶射膜と同一の材料を再溶射する。 - 特許庁