SCRIVE UNIT, FLAT PANEL DISPLAY PANEL SCRIBE APPARATUS HAVING THE SAME, SCRIBE METHOD, AND SUBSTRATE PRODUCTION METHOD USING THE SAME スクライブユニット及びこれを有するフラットパネルディスプレイ用パネルスクライブ装置、スクライブ方法及びこれを用いる基板製造方法 - 特許庁
To provide a semiconductor device and a semiconductor wafer capable of decreasing the occupied area of scrive lines in a semiconductor wafer. 半導体ウエーハにおけるスクライブラインの占有面積を小さくすることができるようにした半導体装置及び半導体ウエーハを提供する。 - 特許庁