A spatial light modulator 25 modulating illumination light includes a plurality of small split ring resonators 20X and 20Y which are arranged in a plurality of pixels 5 on the optical path of the illumination light respectively and comprise a conductor having a width equal to or smaller than the wavelength of the illumination light, and a modulation part 19 which modulates the resonant frequencies of the plurality of split ring resonators 20X and 20Y for each of a plurality of pixels 5. 照明光を変調する空間光変調器25であって、その照明光の光路上の複数の画素5内にそれぞれ配置され、その照明光の波長と同じ程度か又はこれより小さい幅を有する導電体よりなる複数の微小な分割リング共振器20X,20Yと、複数の画素5毎に、複数の分割リング共振器20X,20Yの共振周波数を変調する変調部19とを備える。 - 特許庁