To provide a scanning probe microscope capable of optimally and accurately removing static electricity in a short time and measuring and inspecting samples by stable operation without having to interrupt the approximation of a probe even if the samples are charged in an inline automatic inspection process of wafers etc. ウェハ等のインライン自動検査工程でたとえ試料が帯電していたとしても、短時間で最適にかつ正確に除電し、探針の接近を中断することなく、安定した動作で測定・検査を行える走査型プローブ顕微鏡を提供する。 - 特許庁
The vertical-temporal filter is designed such that for static image portions, the contribution from the current field is enhanced by a contribution from one or more adjacent fields so as to provide an estimate for the missing pixel which is a better approximation to that which would have been calculated using temporal interpolation as normally employed in the absence of motion. 垂直・時間フィルタは静止画像部分について、現在のフィールドからの寄与が1つ以上の隣接フィールドからの寄与によって高められることにより、動きのない時に通常使用されるような時間補間を用いて計算されるものよりも、より近い欠陥画素の推定値を提供できる。 - 特許庁