The tip part 42 amplifies the ultrasonic vibration in the axial direction of the suction hole 50 generated by the vibration generator 44 by resonance and has a shape for generating steading-wave vibration in which the displacement in the axial direction of the suction hole 50 is maximized. 先端部42は、振動発生器44で発生される吸着孔50の軸方向の超音波振動を共振作用により増幅し、吸着孔50の軸方向の変位が先端で最大となる定常波振動が発生する形状を有している。 - 特許庁