HOLDING DEVICE, OPTICAL APPARATUS, AND STEPPER 保持装置、光学装置及び露光装置 - 特許庁
REDUCED EXPOSURE METHOD AND REDUCTION STEPPER 縮小投影露光方法及び装置 - 特許庁
ABERRATION MEASURING PATTERN OF STEPPER LENS AND METHOD FOR EVALUATING ABERRATION CHARACTERISTICS OF STEPPER LENS ステッパレンズの収差測定パターンおよびステッパレンズの収差特性評価方法 - 特許庁
NANO STEPPER/SENSOR SYSTEM AND USAGE ナノステッパー/センサーシステム及びその使用方法 - 特許庁
To provide a stepper motor controller for securely preventing step-out of a stepper motor compared to a conventional stepper motor controller. 従来のステッパモータ制御装置よりもステッパモータの脱調を確実に防ぐことが出来るステッパモータ制御装置を提供する。 - 特許庁
To provide a stepper case which is capable of preventing a mask from acting significantly within the stepper case and can be adequately loaded with the mask in the stepper. マスクがステッパケース内で大きく動くことを防止でき、マスクをステッパに適切に装填できるステッパケースを提供する。 - 特許庁
DRIVING UNIT FOR STEPPER MOTOR AND METHOD CONCERNED ステッパモータの駆動装置及び当該方法 - 特許庁
METHOD AND DEVICE FOR DETECTING STOP OF STEPPER MOTOR ステッパモータ停止検出方法及び装置 - 特許庁
The stepper motor controller 1 controls the stepper motor 6 by considering the maximum response speed and maximum response acceleration of the stepper motor 6. ステッパモータ制御装置1は、ステッパモータ6の最大応答速度及び最大応答加速度を考慮して、ステッパモータ6を制御する。 - 特許庁
STEPPER MOTOR DEVICE AND CONTROL METHOD THEREOF ステッパモータ装置及びステッパモータの制御方法 - 特許庁
DC COMMAND GENERATION FOR STEPPER MOTOR DRIVER ステッパモ—タ駆動装置用直流コマンド発生 - 特許庁
Each spool is driven with each stepper motor. 各スプールは、それぞれステッパモータで駆動される。 - 特許庁
PROJECTION OPTICAL SYSTEM AND STEPPER 投影光学系及び縮小投影露光装置 - 特許庁
STEPPER AND METHOD, AND PROCESS FOR FABRICATING DEVICE 露光装置及び方法、並びに、デバイス製造方法 - 特許庁
The nano stepper/sensor system 10a for analyzing a polymer comprises a nanopore system 30a and a first nano stepper system 20. ポリマーを解析するためのナノステッパー/センサーシステム(10a)は、ナノポアシステム(30a)及び第1のナノステッパーシステム(20)を含む。 - 特許庁
The wafer will be processed in the stepper.
ウエハーは縮小投影露光装置で処理される。 - Weblio英語基本例文集
REDUCTION STEPPER AND ITS AUTOFOCUSING METHOD 縮小投影露光装置およびそのオートフォーカス方法 - 特許庁
STEPPER MOTOR CONTROL DEVICE AND ITS METHOD ステッパモータの制御装置およびステッパモータの制御方法 - 特許庁
INITIAL SETTING APPARATUS AND METHOD OF STEPPER MOTOR ステッパモータの初期設定装置及び初期設定方法 - 特許庁
APERTURE/SHUTTER SYSTEM AND STEPPER MOTOR USED THEREIN 絞り/シャッタ—システム及びこのシステムで使用されるステッパモ—タ - 特許庁
STEPPER MOTOR AND DRIVING CONTROL METHOD THEREFOR ステッパモータの駆動制御方法及びそのステッパモータ装置 - 特許庁
The stepper is provided with a measurement section, a processing section and a console. 露光装置は、計測部と処理部とコンソールとを備える。 - 特許庁
WAFER STAGE ALIGNMENT SYSTEM FOR STEPPER AND ALIGNING METHOD THEREFOR ステッパーのウェハーステージ・アライメントシステムおよびそのアライメント方法 - 特許庁