Thereby, after the master chip 1 and a subordinate chip 2 are jointed, the operation confirmation of only the master chip 1 or the subordinate chip 2 and the connection confirmation of the master chip 1 and the subordinate chip 2 are enabled, by pressing test probes P against the parts of the extending part 14 which is drawn out to the outside of the junction region 12. これにより、親チップ1と子チップ2とが接合された後であっても、延設部14の接合領域12の外方に引き出された部分にテストプローブPを押し当てて、親チップ1または子チップ2のみの動作確認や親チップ1と子チップ2との接続確認を行うことができる。 - 特許庁