「substrate preference」を含む例文一覧(1)
- If a "treatment turn preference mode" is selected, the carriage path of the substrate is set before taking out the substrate (step S2).
ここで「処理順番優先モード」が選択された場合には、基板払い出し前に当該基板の搬送系路の設定が行われる（ステップＳ２）。 - 特許庁
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