A nondestructive process for an evaluation of the subsurface damage of the optical element comprises to measure a reflection light intensity by focusing a microscope onto a point of the optical element. 光学素子の表面下の損傷を評価するための非破壊的なプロセスは、光学素子内の点に顕微鏡の焦点を合わせ、反射光の強度を測定する。 - 特許庁