To provide an exposure method capable of improving throughput with no degradation in superpositioning precision. 重ね合わせ精度を低下させることなく、スループットを向上させることができる露光方法を提供する。 - 特許庁
The server device 11 has a user information receiving part, a simplified map generation part, a point-to- point course calculation part, a landmark selection part, a map superpositioning part, and a map information delivery part. この地図情報サーバ装置11は、ユーザ情報受信部、簡略化地図生成部、二点間経路計算部、目印選択部、地図合成部及び地図情報配信部を有する。 - 特許庁
The spacer structure 22 with spacers 30a, 30b hardened to the extent of being elastically deformable are arranged, while superpositioning with two height-regulating plates76a, 76b in the vacuum vessel 74. 真空容器74内には、スペーサ30a、30bを弾性変形可能な程度に硬化させた状態のスペーサ構体22が2枚の高さ規制板76a、76bと重ね合わせて配置される。 - 特許庁
To provide a sheet material holder for sticking a cover sheet material to a thin and flexible sheet material without generating wrinkles and bubbles, and allowing highly accurate positioning and superpositioning over the whole sheet material surface. 薄くて柔軟性のあるシート材にカバーシート材を皺や気泡の発生なく貼付でき、また、シート材全面で高精度に位置決めして重ね合わせをすることができるシート材保持具を提供する。 - 特許庁