SUPERPRECISE GRINDING METHOD AND DEVICE 超精密研削方法および研削装置 - 特許庁
To provide superprecise grinding technique for realizing highly efficient and acurate grinding working, in superprecise grinding working utilizing electrolysis in-process dressing. 電解インプロセスドレッシングを利用した超精密研削加工において、高能率でしかも高精度な研削加工を実現し得る超精密研削技術を提供する。 - 特許庁