Subsequently, an Ni film 108 is deposited on the whole surface of the semiconductor substrate 101, and RTA (rapid thermal annealing) treatment is applied to form a nickel silicide film 109 on the upper part of the gate electrode 104 and the upper part of the diffusion layer through self-alignment. 次に、半導体基板101の全面にNi膜108を堆積し、RTA処理を行い、ゲート電極104の上部及び拡散層の上部に自己整合的にニッケルシリサイド膜109を形成する。 - 特許庁
In the scribe line region 2 on a substrate 3, an alignment mark 5 having a clear initial difference in level t1 is formed by forming a LOCOS oxide film 4 on the surface of a substrate 3, and then by removing the LOCOS oxide film 4. 本発明では、基板3のスクライブライン領域2では、基板3表面にLOCOS酸化膜4を形成し、その後、LOCOS酸化膜4を除去することで、初期段差t1の深いアライメントマーク5を形成する。 - 特許庁
To fabricate a liquid crystal display panel (LCD) in which an alignment layer can be easily formed on the surface of pixel electrodes and distortion in colors upon transforming digital data into image data can be eliminated without increasing a manufacturing cost. 製造コストを全く増加させることなく、簡単に、画素電極の表面に配向膜を形成することができ、ディジタルデータがイメージデータに変換される際の色の歪みをなくすことができる液晶ディスプレイ(LCD)パネルを製造する。 - 特許庁
The works supplied in alignment by a feeder are separately supplied one by one by a disk-shaped erected separately supplying drum 10 for opening a large number of intake holes 31 for sucking and holding the works at equal intervals at a peripheral surface. ワークを吸着保持するための多数の吸気孔31が周面部に等間隔に開口する円板状の立設された分離供給ドラム10により、フィーダにより整列供給されるワークを1個ずつ分離して供給する。 - 特許庁
Further, by forming the contact layer all over the window layer, the etching process can be omitted for the contact layer, and precise alignment of the surface electrode becomes unnecessary so that the manufacturing process of the solar cell can be simplified. また、さらに、コンタクト層を窓層上全面に形成することにより、コンタクト層のエッチング工程を省略できるとともに、表面電極の精密な位置あわせが不要となり、太陽電池の製造工程を簡略化することができる。 - 特許庁
The optical connector has a basic structure in which optical fibers 3 are held in optical fiber alignment grooves 4 on the top surface of an optical connector body 12 and are stuck onto the optical connector body 12 by filling the grooves with the adhesive 6 and covering them with a lid 7. 光コネクタ本体12の上面の光ファイバ整列溝4に光ファイバ3を収容し、接着剤6を充填し蓋7をして、光ファイバ3を光コネクタ本体12上に接着固定した基本構造を有する。 - 特許庁
To provide an aligner or the like wherein overlay precision can be improved by accurately calculating nonlinear shift of an alignment mark and an exposure shot which are caused by distortion in a substrate surface direction of chucking of a substrate like a wafer, and performing position correction. ウエハ等の基板のチャッキングの基板面方向ひずみによるアライメントマークや露光ショットの非線形シフトを正確に算出して位置補正を行ない、オーバーレイ精度の向上を図ることができる露光装置等を提供する。 - 特許庁
The present invention relates to an alignment mark and a forming method thereof, wherein a plating electricity feeding film 13 is formed on a surface of a substrate 12, and a photoresist pattern is formed on the plating electricity feeding film 13 and then patterned by electric plating. 基板12の表面にメッキ給電用膜13を形成し、次いで当該メッキ給電用膜13にフォトレジストパターンを形成して、その後電気メッキによりパターン形成されるアライメントマーク及びその作成方法である。 - 特許庁
An N+type layer 7a having a smaller width than the variation width of a mask alignment accuracy in a photolithography process, is formed on the bottom surface of the first contact hole 9 and the first and second holes 9, 10 are filled with a tungsten layer 12 and so on. 第1のコンタクトホール9の底面にフォトリソグラフィ工程のマスク合わせ精度のばらつき幅より小さい幅のN+型層7aを形成し、第1、第2のコンタクトホール9、10内をタングステン層12等で埋設する。 - 特許庁
To display a bright and high-quality image with a high aperture ratio of pixels and a high contrast ratio by decreasing alignment failures in a liquid crystal caused by the level difference on the substrate surface in an electro-optic device such as a liquid crystal device. 液晶装置等の電気光学装置において、基板上表面の段差に起因する液晶の配向不良を低減することで、画素の開口率が高く且つ高コントラスト比で明るい高品位の画像表示を行う。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing a liquid crystal display element, with which a thin and uniform alignment layer is formed, and further dust remaining on a substrate surface after rubbing treatment is certainly removed, and a sealing speed of a liquid crystal is improved. 薄くかつ均一な配向膜を形成でき、また、ラビング処理後に基板の表面に残存する塵を確実に除去し、液晶の封入速度を向上させることができる液晶表示素子の製造方法を提供する。 - 特許庁
A nut 29 is fixed to the top surface of the annular frame 14, and a second alignment plate 23 of the second guide rail 21 is fixed to the undersurface of the annular frame 14 by being fastened with a bolt 30 screwed into the nut 29. 環状フレーム14の上面にはナット29が止着されており、環状フレーム14の下面には第2ガイドレール21の第2位置合わせプレート23がナット29に螺合されたボルト30によって締め付け固定されている。 - 特許庁
In the layer 9, a hybrid alignment 13 is formed, wherein the director is controlled to be aligned in a nearly horizontal direction in an interface with the underlayer 4 and gradually becomes vertical to the substrate surface as being apart from the interface in the layer thickness direction. 層9では、ディレクタの配向方向が、下地層4との界面ではほぼ水平方向へ制御され、界面から層厚方向へ遠ざかるほど、基板面に垂直な方向へ徐々に近づくハイブリッド配向13が形成される。 - 特許庁
To accurately and closely bond a top plate and an element substrate while preventing the damage or breakage of a liquid flow channel surface at a time of the alignment of both of them. 天板と素子基板の位置合わせ時における液流路面等の損傷や破損を防止しかつ両者を精度良く密着接合させることができる液体噴射記録ヘッドの製造方法および製造装置を提供する。 - 特許庁
To provide an apparatus and a method adapted to a space limit and a round surface of a paper reel by preventing dropping of a web, forming of a wrinkle or tearing and cutting, and assisting relative alignment of a triangle member to a desired web route. ウェブの脱落、皺形成、または裂断を防止し、所望のウェブ経路に対するトライアングル部材の相対的な整列を助成し、しかもスペース限界およびペーパーリールの丸い表面に適合する装置および方法を提供する。 - 特許庁
In the case that large differences in level of the surface of the alignment layer 3 irradiated with the ion beam bring about parts shaded from an ion beam source, the ion beam is radiated to the shaded parts by radiation in a reverse direction. また、イオンビームを照射する配向膜3の表面の段差形状が大きく、イオンビーム源から影になる部分が生じる場合、逆方向からも照射することによって影になっていた部分にイオンビームを照射する。 - 特許庁
The apparatus 10 for forming an alignment layer has an ion source 12 generating an ion beam 28 and one or more masks 20 disposed between a substrate 24 and the ion source 12, wherein the mask 20 has a reflective surface 34 in the substrate side. 配向層形成装置10は、イオンビーム28を生成するイオンソース12と、基板24とイオンソース12との間に設けられる1つまたは複数のマスク20と、を含み、マスク20は基板側に反射面34を有する。 - 特許庁
To provide a lens array element which suppresses occurrence of a defect in accuracy caused by releasing property when it is molded by using a metallic mold concerning a reference surface provided at an end face of a rectangular plate shape for the purpose of optical alignment. 光学的な位置合わせのために矩形板状の端面に設けられる基準面について、金型を用いて成形される際の離型性に起因する精度不良の発生が抑制されたレンズアレイ素子を提供する。 - 特許庁
To prevent an afterimage burning-in phenomenon which is thought to be mainly caused by that liquid crystal molecules are strongly twisted by the electric field concentration in the vicinity of an electrode end part to generate plastic deformation of the surface of an alignment layer, in an FOP liquid crystal display device. FOP液晶表示装置において、電極端部近傍での電界集中により液晶分子が大きく捻れ、配向膜表面の塑性変形が主原因と考えられる残像・焼付き現象を防ぐ。 - 特許庁
The liquid crystal display device is provided with the alignment layer 40 (60) on the outermost surface on a liquid crystal layer side of at least one substrate of a pair of substrates having the liquid crystal layer interposed therebetween and disposed opposite to each other. また、本発明の液晶装置は、液晶層を挟持して対向配置された一対の基板のうち、少なくとも一方の基板の液晶層側最表面に、本発明の配向膜40(60)を備えたことを特徴とする。 - 特許庁
An alignment sensor is provided with spot position detecting means (51 and 22) which detect the irradiating position of spotlight on the arranging surface of a substrate based at least on part of reflected light generated when the spotlight is reflected by the substrate. スポット光が前記基板において反射することで生じた反射光の少なくとも一部に基づいて、前記基板の配置面における前記スポット光の照射位置を検出するスポット位置検出手段(51,22)を備える。 - 特許庁
The alignment substrate for film formation 5A is composed of a non-magnetic first metal layer 1 without orientation, and a second metal layer 2 stuck on the first metal layer 1 of which, at least surface layer has an oriented aggregation structure. 膜形成用配向基板5Aは、無配向で非磁性の第1の金属層1と、その第1の金属層1に貼り合わされ、かつ少なくとも表層が配向した集合組織を有する第2の金属層2とを備えている。 - 特許庁
The method for manufacturing a polarized light diffractive cholesteric liquid crystal film contains the first step to form a cholesteric liquid crystal film on an alignment supporting substrate, the second step to transfer a diffraction pattern of a diffraction element substrate to the surface of the cholesteric liquid crystal film and to form a region exhibiting diffractiveness on a part of the film and the third step to release the alignment supporting substrate from the cholesteric liquid crystal film. 配向支持基板上にコレステリック液晶フィルムを形成する第1工程、コレステリック液晶フィルム面に回折素子基板の回折パターンを転写し、フィルムの一部に回折能を示す領域を形成する第2工程、及びコレステリック液晶フィルムから配向支持基板を剥離する第3工程、を含む偏光回折性コレステリック液晶フィルムの製造方法である。 - 特許庁
To provide an optical film which has satisfactory adhesiveness between a cellulose acetate film and an alignment film layer and can provide a preferable optical characteristic without injuring a surface state of the cellulose acetate film, with respect to the optical film provided with the alignment film layer and an optically anisotropic layer in which liquid crystalline molecules are fixed, on the cellulose acetate film, and to provide a manufacturing method of the optical film. セルロースアセテートフィルム上に配向膜層および液晶性分子を固定化した光学異方性層を設けた光学フィルムにおいて、セルロースアセテートフィルムと配向膜層との間の良好な密着性を得ることができ、また、セルロースアセテートフィルムの面状が損なわれてしまうことなく、好ましい光学特性を得ることができる光学フィルム及びその製造方法を提供する。 - 特許庁
A transparent layer 46 consists of the alignment controlling depressions and a flat part 45 which are formed by subjecting a transparent photosensitive resin layer provided on color pixels 42 to exposure treatment via a density distribution mask PM1 and development treatment and the parts of a transparent conductive film 43 above the alignment controlling depressions are removed by photo etching of a transparent conductive film provided on the entire upper surface of the transparent layer. 透明層46は、着色画素42上に設けた透明感光性樹脂層への濃度分布マスクPM1を介した露光、現像処理によって形成された配向制御凹みと平坦部45からなり、透明導電膜43は透明層の上面の全面に設けた透明導電膜へのフォトエッチングによって配向制御凹み上の部分は除去されている。 - 特許庁
The problem is solved by forming a gradual zigzag shaped inclined alignment control region to align directors of liquid crystal molecules in a direction inclined against the substrate normal direction in individual regions corresponding to pixels on a surface of an alignment layer constituting the substrate for aligning the liquid crystal used in a liquid crystal panel for display in the multidomain mode liquid crystal display device. マルチドメイン方式の液晶表示装置の表示用液晶パネルに使用される液晶配向用基板を構成している配向膜の表面のうちで画素に対応する個々の領域内に、液晶分子のダイレクタを基板法線方向に対して傾斜して配向させる緩やかなジグザグ状の傾斜配向規制領域を形成することにより、上記課題を解決した。 - 特許庁
The manufacturing method for vertical alignment layer includes a stage of supplying a processed substrate into a reactor, a stage of injecting silicon-based gas and carbon-based gas into the reactor, and a stage of subjecting the silicon-based gas and carbon-based gas to chemical reaction on a surface of the processed substrate to form a vertical alignment layer containing silicon carbide on the processed substrate. 反応器内に処理基板を提供する段階と、前記反応器内にシリコン系ガスと炭素系ガスとを注入する段階と、前記処理基板の表面で前記シリコン系ガスおよび前記炭素系ガスを化学反応させ、炭化シリコンを含む垂直配向膜を前記処理基板上に形成する段階と、を含むことを特徴とする垂直配向膜の製造方法。 - 特許庁
The liquid crystal device of this invention comprises a liquid crystal layer held between a pair of substrates, and an inorganic alignment layer formed on a surface abutting on the liquid crystal layer of at least one of the substrates, and is characterized in that the inorganic alignment layer 86 of a TFT array substrate 80 is formed on an aligned ground film consisting of an aggregate of particulates 85a. 本発明の液晶装置は、一対の基板間に液晶層を挟持してなり、少なくとも一方の前記基板の前記液晶層と当接する面に無機配向膜が形成された液晶装置であり、TFTアレイ基板80の無機配向膜86が、微粒子85aの凝集体からなる配向下地膜85上に形成されていることを特徴としている。 - 特許庁
The liquid crystal display comprises the array substrate 1 having a pixel electrode 26, a rapped alignment layer 28, positioned at the uppermost layer and including a plurality of projection parts 4 on the surface, a facing substrate 2 arranged facing by holding a prescribed gap on the array substrate, a liquid crystal layer 3 sandwiched in between the array substrate and the facing substrate and an alignment control means. 液晶表示装置は、画素電極26および最上層に位置しているとともにラビングされた配向膜28を有し、表面に複数の凸部4を含むアレイ基板1と、アレイ基板に所定の隙間を保持して対向配置された対向基板2と、アレイ基板および対向基板間に狭持された液晶層3と、配向制御手段と、を備えている。 - 特許庁
Contact holes 4b and alignment mark grooves 4a, which are formed in an insulating film 2, are filled with conductive material layers having respective surface center recesses 6a for forming contacts C formed by filling the contact holes 4b with the conductive material layers 6 alignment marks A formed by embedding the grooves 4a with the conductive material layers 6. 絶縁膜2に形成した接続孔4b及びアライメントマーク用の溝4aの内部に、表面中央部に窪み6aを設けた状態で導電性材料層6を埋め込むことによって、接続孔4b内に導電性材料層6を埋め込んでなるコンタクトCと、溝4a内に導電性材料層6を埋め込んでなるアライメントマークAとを形成する。 - 特許庁
A liquid crystal alignment layer is produced by a long throw sputtering method including steps of mounting a substrate on a substrate carrier in a chamber, bombarding and sputtering a target above the substrate with a high-density plasma to produce a sputtered substance, and applying a bias voltage in the chamber to deposit the sputtered substance along a nearly normal direction onto the substrate surface to form an alignment layer. ロングスロースパッタリング法で液晶配向膜を製作する方法は、基板をチャンバー内の基板キャリアに乗せ、高密度プラズマで基板の上方にあるターゲットをスパッタリング衝撃してスパッタ物質を生成発生し、チャンバー内でバイアス電圧を印加提供してスパッタ物質を垂直に近い方向に沿って基板表面に堆積させて液晶配向膜を形成するなどのステップを含む。 - 特許庁
A multilayer wiring board comprises a board layer having wiring patterns formed by a plurality of wirings in multiple layers, an auxiliary layer comprising an auxiliary pattern provided on the upper surface of the board layer and an electrical insulating material which covers the auxiliary pattern, an electrode pattern formed by a plurality of electrodes provided on the upper surface of the auxiliary layer, and an alignment mark provided on the upper surface of the auxiliary layer. 多層配線基板は、複数の配線により形成された配線パターンを多層に有する基板層と、該基板層の上面に設けられた補助パターン及び該補助パターンを覆う電気絶縁材料を備える補助層と、該補助層の上面に設けられた複数の電極により形成された電極パターンと、補助層の上面に設けられた位置合わせ用マークとを含む。 - 特許庁
To provide an organic electronic device structure in which a mapping of a surface free energy is performed on a substrate surface by a very simple structure and means; and which materializes a large angle from the substrate surface and a sufficient azimuth anchor ring in an alignment of an organic semiconductor molecule, and has such a high and good adhesion that an electrode material forming a channel does not separate therefrom in a rubbing step also. 非常に簡便な構成・手段で表面自由エネルギーによるマッピングを基板表面に施し、かつ有機半導体分子の配向において基板面からの大きな角度と十分な方位角アンカリングを実現し、さらにチャネルを形成する電極材料がラビング工程においても剥離しない高い密着性を持つ優れた有機電子デバイス構造を実現する。 - 特許庁
In this method, a reference line mark 31 almost in parallel to a ground surface 4 is indicated on a tile mounting wall 3 on which the tile mounting panels 1, etc. are to be installed almost up to 100 to 150 cm above the ground surface 4; and then the tile mounting panels 1 are installed in alignment with a reference line 11 of the tile mounting panel located on the reference line mark 31. この方法では、地盤面4より100〜150cm上方のタイル取付用パネル1,・・・を設置する側の下地壁3の面に、地盤面4に対して略平行する基準目線31を設け、その基準目線31にタイル取付用パネル1の基準線部11を合わせて設置する。 - 特許庁
The side gauge for alignment includes a gauge member 60 to be pulled out from a side of a base 5 and a turning member 70 turnably attached to a fore-end of the gauge member 60, and is designed so that an upper surface A extending from an attaching side of the turning member in a parallel position to a turning end is roughly of the same height as an upper surface B of the base. 基台5の側方から引き出されるゲージ部材60と、その先端部に回動可能に取り付けられた回動部材70とからなり、平行位置における回動部材の取り付け側から回動端部に向かう上面Aが、基台の上面Bと略同一高さになるように設計した。 - 特許庁
The member to be recognized for alignment provided on an object to be aligned and having a mark 26 for image recognition is provided with a member body 25 with a mirror finished top surface 29a formed in a column shape, and a recessed mark 26 formed nearly at a center of the top surface 29a of the member body 25. 位置決め対象物に設けられ、画像認識用のマーク26を形成したアライメント用の被認識部材12であって、柱状に形成され先端面29aを鏡面加工した部材本体25と、部材本体25の先端面29aの略中央部に形成した凹状のマーク26とを備えたものである。 - 特許庁
Consequently, heat generation can be suppressed and wear can be prevented by solid lubricant retained in the pocket 21 by filling the pocket 21 with solid lubricant at a time of assembly even if creep occurs between the inner diameter recess part spherical surface 13 of the alignment ring 12 and an outer diameter convex part spherical surface 14 of the outer ring 2. これにより、ポケット21に、組込み時に固形状潤滑剤を充填することにより、調心輪12の内径凹部球面13と外輪2の外径凸部球面14との間でクリープが生起した場合でも、ポケット21内に保持した固形状潤滑剤により、発熱を抑えて摩耗を防ぐことができる。 - 特許庁
To provide a cutting device which can realize alignment for detecting a region to be cut of a work piece held by a chuck table readily and cut the work piece tilting to a surface perpendicular to a surface of a work piece without requiring the need for resetting of a work piece when the cutting direction is changed by 90 degrees. チャックテーブルに保持された被加工物の切削すべき領域を検出するアライメントを容易に行えるとともに、切削方向を90度変更する際に被加工物を載置し直す必要がなく、被加工物の表面と直角な面に対して傾斜して切断することができる切削装置を提供する。 - 特許庁
Arsine and phosphine are supplied to a chamber in which a semiconductor substrate 10 is placed in growing the clad layer 17 before the clad layer 17 grows to substitute a part of P on a surface layer of inside of the alignment mark 15 with As and to reform the surface layer into a layer including InAsP. クラッド層17を成長させる際、クラッド層17を成長させる前に、半導体基板10が収容されたチャンバ内にアルシン及びホスフィンを供給することにより、アライメントマーク15の内面の表層部分のPの一部をAsに置換して、該表層部分をInAsPを含む層に改質する。 - 特許庁
The apparatus is equipped with: a TFT array substrate and a counter substrate (20) disposed opposing to each other through a liquid crystal layer (50); a counter electrode (21) and an alignment film (22) formed on the surface of the counter substrate facing the liquid crystal layer; and a light shielding film (23) formed on the surface of the counter substrate not facing the liquid crystal layer. 液晶層(50)を介して対向配置されたTFTアレイ基板及び対向基板(20)と、液晶層に面する側の前記対向基板の面の上に形成された対向電極(21)及び配向膜(22)と、液晶層に面しない側の対向基板の面に上に形成された遮光膜(23)とを備えている。 - 特許庁
This solid-state image sensor 1 has a rear surface irradiated type structure, and comprises the lenses 7 in the rear surface of a silicon layer 2 in which the light-receiving sensor section PD is formed, and an insulating layer 13, used as an alignment mark which, is embedded and formed in the silicon layer 2 in the periphery of an imaging region 20. 裏面照射型構造を有し、受光センサ部PDが形成されたシリコン層2の裏面側にレンズ7を有し、撮像領域20の周辺においてシリコン層2に位置合わせマークとして用いられる絶縁層13が埋め込まれて形成されている固体撮像素子1を構成する。 - 特許庁
Thus, a contact area of the adhesive face 12a is enlarged against the surface of the mounting counterpart member 2, so that initial adhesion due to the tucking property of the adhesive 12 is effectively prevented, and the alignment can be easily carried out. このようにすれば、取付相手部材2の表面に対する接着面12aの接触面積が小さくなるので、接着剤12の有するタック性による初期粘着を有効に防止して、位置合わせを容易に行うことができる。 - 特許庁
By selectively removing this polysilicon film 19 and the gate insulating film 18, a gate electrode 22, the alignment mark part 23, and the gate electrode 24 for the anti fuse part are formed on the element region, in the second recess 13, and in the bottom surface of the third recess 14 respectively. このポリシリコン膜19、ゲート絶縁膜18が選択的に除去され、素子領域上にゲート電極22、前記第2の凹部13に合わせマーク部23、第3の凹部14の底表面にアンチフューズ部用のゲート電極24が形成される。 - 特許庁
Since the upper plate 12 and the lower plate 14 are transparent, in a state with the fixture 10 holding the substrate 40, the first to the fourth alignment marks M_1-M_4 can be recognized from both sides of the side of a substrate surface 40U and the side of a substrate rear face 40D. 上板12と下板14とはいずれも透明であるため、治具10が基板40を保持した状態で、第1〜第4アライメントマークM_1〜M_4は基板表面40U側と基板裏面40D側との両側から認識できる。 - 特許庁
Thus, in a state with the fixture 10 being attached to the substrate 40, mutually corresponding patters are drawn on the substrate surface 40U and the substrate rear face 40D at respective accurate positions, by regarding the first to the fourth alignment marks M_1-M_4 as positioning standards. このため、治具10が基板40に取付けられた状態で、第1〜第4アライメントマークM_1〜M_4を位置決めの基準として、基板表面40Uと基板裏面40Dとに、互いに対応するパターンがそれぞれ正確な位置に描画される。 - 特許庁
The lifting device is formed from a lifting rod having a retaining device arranged in a bottom domain in the form of a gripper, supporting and an alignmentsurface for a container opening portion and/or its neck collar and capable of moving by resisting spring force perpendicularly. リフティング装置が、容器開口部及び/又はそのネックカラーのためのグリッパ、支持及び調心面の形をした下の領域に配設された保持装置を有する垂直にバネ力に抗して移動可能なリフティングロッドから形成されている。 - 特許庁
To provide chip electronic components where mounting strength and electrical connection are ensured, even when performing bonding to an electrode on a surface that is cut by dicing for exposing an insulation substrate and self-alignment is enabled in soldering, and to provide their manufacturing method. ダイシングで切断され絶縁基板が露出する面で電極にボンディングする場合でも取り付け強度や電気的接続が確保され、半田付け時にセルフアライメントが働くようにするチップ電子部品及びその製造方法を提供すること。 - 特許庁
The alignment mark includes a set of mutually parallel conductor tracks from which the diffracted radiation is collected, and the pattern is determined by a pattern in which the pitch between successive tracks is varied as a function of position along the surface of the product. アライメントマークは、それから回折された放射が収集される相互に平行な導電体トラックのセットを備え、そのパターンは連続するトラックの間のピッチが、製品の表面に沿った位置の関数として変化するパターンによって決定される。 - 特許庁
The element 4 is arranged between the light source 2 and a liquid crystal light valve and is provided with alignment layers 45 and 46 consisting of an inorganic material having ruggedness capable of aligning liquid crystal molecules 43m on the surface sides facing each other of a pair of the substrates. 調光素子4は、光源2と液晶ライトバルブとの間に配置されており、一対の基板の互いに対向する面側に液晶分子43mを配向可能な凹凸を有する無機材料からなる配向層45,46が設けられている。 - 特許庁
A color filter layer 22, a resin layer 28, a common electrode 25 and the alignment layer 29 are sequentially formed on a counter substrate 20 and the groove part 70 is formed on the surface of the common electrode 25 by forming an under recessed part at the resin layer 28. 対向基板20には、カラーフィルタ層22と、樹脂層28と、共通電極25と、配向膜29とが順に形成され、樹脂層28に下地凹部を形成することにより、共通電極25の表面に溝部70が形成されている。 - 特許庁