In a step 260, for example, when it is determined that a right front wheel FR approaches the road surface limit, a first pressure reduction control valve 15 is brought into a conductive state, and a brake fluid is released from a first wheel cylinder 9 to a reservoir 17 so as to reduce the pressure of the first wheel cylinder 9. ステップ260では、例えば右前輪FRが路面限界に近づいていると判断されたので、第1の減圧制御弁15を連通状態にし、第1のホイールシリンダ9からブレーキ液をリザーバ17に逃がして、第1のホイールシリンダ圧を低減する。 - 特許庁
In the cleaning device 30, the undefined toner is first cleaned among the plural kinds of toner, and the attitude of the scraper 33 at the cleaning operation is selected by the control means 60, and the toner remaining on the surface of the photoreceptor drum 21 after the toner transfer process is cleaned. クリーニング装置30は、複数のトナーのうち不定形トナーを最初にクリーニングするものであり、制御手段60がクリーニング動作時のスクレーパ33の姿勢を選択して、トナー転写後に感光体ドラム21表面に残留するトナーをクリーニングする。 - 特許庁
Cursor keys 65, 67, 69, and 71 as some of the control keys are arranged adjacently to the palm rest and a tilt area 101 which can be discriminated tactilely from the main surface area of the palm rest is formed as a home position adjacently to those keys. 制御キーの一部であるカーソル・キー65、67、69、および71はパーム・レストに隣接して配置され、これらのキーに隣接した位置にパーム・レストの主表面領域から触覚で区別できる傾斜領域101をホーム・ポジションとして形成する。 - 特許庁
To provide a method and equipment for resistance seam welding for avoiding welding failure during welding by any method of grinding/polishing of an electrode surface or welding current control by predicting welding failure caused by a soiled electrode before welding. 溶接を行う前に電極汚損に起因する溶接不良を予測し、電極表面の研削・研磨または溶接電流制御の何れかの方法により、溶接時の溶接不良を回避するための抵抗シーム溶接方法および装置を提供する。 - 特許庁
To provide a manufacturing method for a semiconductor that has a small environmental load, wherein the control of a depth direction of an atom injected onto the surface of a substrate made of silicon and the like needs no acceleration or deceleration, in stages subsequent to ion extraction. シリコン等の基板表面に注入する原子の深さ方向の制御が、イオン引き出し以降の後段加速・減速を必要とせず容易に可能とし、環境負荷の小さい半導体の製造方法を容易にする半導体の製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a revolutionary volumetric sculpting system for allowing a user to execute excellent control while directing and arranging a sculpting tool with respect to the surface of a digitized model by using an adaptively sampled distance field(ADF). 適応的サンプル距離フィールド(ADF)を使用することにより、ユーザが、デジタル化されたモデルのサーフェースに対してスカルプティングツールを方向付けて配置している間に優れた制御を行うことができるようにする革新的なボリュメトリックスカルプティングシステムを提供する。 - 特許庁
The emission of the negative ion from the negative ion producing apparatus is controlled by covering the surroundings of the negative electrode 1 with the cylindrical body 2 and controlling the exposed area off the negative electrode 1 from the inside circumferential surface of the cylindrical body 2 to control the absorption of the negative ion. 筒体2によりマイナス電極1の周囲を覆い、さらに筒体2内周面からのマイナス電極1の露出面積を調整することで、マイナスイオン吸収量を調整しマイナスイオン発生装置からのその放出量を調整することができる。 - 特許庁
To provide an X-ray diffraction device which has exceedingly high resolution and also can acquire an X-ray diffraction image with high intensity, by enabling both cylindrical surface conversion processing and time delay integration processing to be performed in the same arithmetic control process. 円筒面変換処理と時間遅延積分処理との両方を同じ演算制御過程内で行うことを可能にすることにより、極めて分解能が高く、しかも強度の高い回折X線像を得ることができるX線回折装置を提供する。 - 特許庁
To control the transmission of ultrasonic waves of an ultrasonic transducer so that ultrasonic irradiation intensity and a transducer surface temperature do not exceed predetermined values when simultaneously scanning different first and second scanning planes crossing at an optional angle, by an ultrasonic transducer. 超音波振動子により、任意の角度で交わる、異なる第1及び第2の走査平面を同時に走査する場合に、超音波照射強度と振動子表面温度が規定値を超えないように超音波振動子の超音波の送信を制御すること。 - 特許庁
The image density adjusting means determines the image density by using the density determination data based upon the detection data obtained by the detecting means or the data generated by operating the detection data and performs control so that the image density of an image displayed on the display surface reaches the determined image density. 画像濃度調節手段は、検知手段により得た検知データ又はこれを演算したデータに基づき濃度決定データを用いて画像濃度を決定し、表示面に表示される画像の画像濃度が、決定した画像濃度となるように調節する。 - 特許庁
When the temperature detection means 32 detects that surface temperature of the thermal roller 21 reaches a predetermined temperature, the control means 35 switches off driving of the cooling means 34 and stops cooling of the excessive temperature rise preventing device 33 by the cooling means 34. 熱ローラ21の表面温度が所定温度に到達したことを、温度検知手段32が検知した時には、制御手段35は冷却手段34の駆動をOFFにして、冷却手段34による過昇温防止手段33の冷却を中止する。 - 特許庁
To provide a pest control agent which is capable of effectively controlling ectoparasites on an animal by spreading on and closely contacting with a wide area of the animal body surface to which it is applied in the form of a liquid formulation containing an insecticidal compound etc. 殺虫性化合物等を含有する液剤を動物の体表に適用したとき、拡展して広い表面積で動物の体表に密接に接触することができ、動物の外部寄生虫を効果的に防除できる防除剤を提供することにある。 - 特許庁
To provide a wire/cable easy to strip, formed of a polyolefinic resin, facilitating the application control of talc as a release agent by properly roughing the surface of an insulation and provided with a specific stripping property of the insulation and peeling-off property of a sheath like a PVC wire/cable. 絶縁体の表面を適度にざらつかせ、剥離剤としてタルクの塗布管理を容易にし、またPVC電線・ケーブルのように特有の絶縁体の剥離性やシースの引き剥がし性を備えたポリオレフィン系樹脂による易剥離施工性電線・ケーブルを提供する。 - 特許庁
Therefore, a powerful electric field is formed near the corner section between the side face region 13 and second surface region 12 and, the same time, a local powerful electric field is formed in a channel region due to the potential difference between the floating gate 4 and control gate 6. このため、段差側面領域13と第2表面領域12との間のコーナー部分近傍に強い電界が形成されるとともに、浮遊ゲート4と制御ゲート6との間の電位差によってチャネル領域中に局所的に強い電界が形成される。 - 特許庁
By setting the counter roller for inspection 62 to have the same surface potential as a photoreceptor drum 28, a control part 68 sets the voltage value between the inspection roller 60 and the counter roller for inspection 62 as a voltage value applied to the transfer roller 30. ここで、検査用対向ローラ62を感光体ドラム28と同じ表面電位に設定しておくことで、制御部68は、検査ローラ60と検査用対向ローラ62との間の電圧値を転写ローラ30に印加する電圧値として設定することができる。 - 特許庁
To provide a method of efficiently and homogeneously synthesizing a large quantity of a hollow spherical silicate cluster material which is applicable to an energy storage material, an adsorbent, a deodorant, a catalyst carrier, a moisture control material or the like and which has its surface modified with an organic functional group. エネルギー貯蔵材料、吸着剤、脱臭剤、触媒担体、湿度調節材料等に応用可能な、有機官能基で表面修飾した中空球状ケイ酸塩クラスター材料を、効率よく、しかも大量、均質に合成する方法を提供する。 - 特許庁
A medium conveyance control part 405 conveys the printing medium so that the printing medium reaches the image forming unit having the developer in the color for use after the photoreceptor is rotated by the amount of rotation to cause the surface potential of the photoreceptor to reach the prescribed level, whereby the first print time is shortened. 媒体搬送制御部405は、感光体の表面電位が所定レベルに達するための回転量回転した後に印刷媒体を使用する色の現像剤を有する画像形成ユニットに達するように搬送してファーストプリントタイムを短縮する。 - 特許庁
Interpolative reference lines 149a, 149b reflected with a surface shape of a healthy bone part are set on the basis of bone part external shape line information 125, and a curve control point 152 for forming an interpolative curve is set along the interpolative reference lines 149a, 149b. 骨部外形線情報125に基づいて、骨部の健常部の表面形状を反映した補間基準線149a,149bを設定し、その補間基準線149a,149bに沿って補間曲線生成用の曲線制御点152を設定する。 - 特許庁
To provide a surface-emitting semiconductor laser which can be easily manufactured inexpensively, can stabilize a polarization direction of a laser beam in one direction, and can control an oscillation of high-order transverse mode without reducing a light output of a fundamental transverse mode. 簡易かつ安価に製造可能であり、レーザ光の偏光方向を一方向に安定化することが可能であり、かつ基本横モードの光出力を低減することなく高次横モード発振を抑制することが可能な面発光型半導体レーザを提供する。 - 特許庁
In the image forming means of the no cleaner method, driving control of an electrifying member in a non image range (in forward rotation or in reverse rotation) is carried out according to a value obtained by an environment detecting means and refreshing of the photoreceptor surface which is deteriorated by prolonged use is carried out. クリーナーレス方式の画像形成手段に於いて、環境検知手段により得られた値に応じて、非画像域(前回転もしくは後回転時)での帯電部材の駆動制御を行い、耐久により劣化した感光体表面のリフレッシュを行う。 - 特許庁
To provide a steering device for a vehicle with an improved follow-up performance by controlling the influence of a steady-state deviation caused by a road surface with low friction and the like during a feedback control of a steering actuator according to a deviation of a vehicle's behavior index from a target value. 車両の挙動指標値の目標値からの偏差に応じて操舵用アクチュエータをフィードバック制御する場合に、低摩擦路等で生じる定常偏差の影響を抑制して追従性を向上できる車両用操舵装置を提供する。 - 特許庁
The use state, the standby state or the installation state of the image forming apparatus 100 is detected or judged, and the content of heating control for the surface temperature of the respective rollers 31 and 32 of a fixing device 30 is changed in accordance with the detected or judged state. 画像形成装置100の使用状態、待機状態、もしくは設置状態を検出もしくは判定し、この検出もしくは判定された状態に応じて定着装置30の各ローラ31、32の表面温度の加熱制御の内容を変更している。 - 特許庁
The segment position information (m) of an image pickup screen formed on the image forming surface of a CCD 7 through lenses 9 and 10, a shake correction lens 3 and a lens 11 is converted to movement amount (n) through a CCD control circuit 17, an image memory 18 and a movement detection part 19. レンズ9,10,ブレ補正レンズ3及びレンズ11を通して、CCD7の結像面に形成された撮像画面の切出し位置情報mは、CCD制御回路17、画像メモリ18及び動き検出部19を介して、動き量nに変換される。 - 特許庁
The first electrode 81 and the developer carrier 9a are made to be the same potential and connected to a developing bias circuit 101 and the second electrode 82 and the bottom surface electrode 84 are made to be the same potential and connected to a control circuit 102 of a developer quantity detection circuit 100. 第1電極81と現像剤担持体9aを同電位として現像バイアス回路101に接続し、第2の電極82と底面電極84を同電位として現像剤量検出回路100の制御回路102に接続する。 - 特許庁
To control the perpendicular divergence angles of respective perpendicular areas of a screen so as to comply with the expectancy angles anticipating viewer distributions from the respective areas and to make compensation for the change in luminance due to the changes in the divergence angles by controlling the light density on an original image forming surface side. スクリンの各垂直部位の垂直発散角を、各部位から観視者分布を見込んだ見込み角に応じるように制御し、発散角の変化に起因する輝度の変化を原画像形成面側の光密度を制御することによって補償する。 - 特許庁
The radiator core panel 9 is projected forward, and the control amplifier 12 is fitted to the lower surface of the front end part, thereby dispensing with an air passage formed between the upper end part 8 of the radiator and the radiator core panel 9, so that the position of the radiator core panel 9 can be lowered for that. ラジコアパネル9を前方へ突出させて、その前端部下面に制御アンプ12を取付けるようにしたため、ラジエータ上端部8とラジコアパネル9との間に通気路を形成する必要がなく、その分、ラジコアパネル9の位置を低くすることができる。 - 特許庁
To highly accurately control the temperature in a continuous annealing furnace of a metal strip, which is rolled by a dull work roll at the final stand and of which the surface roughness varies, thereby manufacturing the metal strip, which is uniform and stable in the quality of the material, in the continuous annealing furnace. 最終スタンドでダルワークロールにより圧延された表面粗度が変化する金属ストリップの連続焼鈍炉における温度を高精度に制御し、材質にバラツキのない安定した金属ストリップを連続焼鈍炉で製造することを可能とする。 - 特許庁
The controller 40 for the game machines has a circuit board 113 on which an image control CPU 114, adapted to carry out the processing related to the games with the seal display on the rear side of the core part, is mounted with the seal display facing the surface side. 遊技に関連する処理を行い、コア部分の裏側に捺印表示が施されている画像制御CPU114を捺印表示が表側を向くようにして実装した回路基板113を有する遊技機用制御装置40が以下の構成を有する。 - 特許庁
In an error compensating circuit 10, the calculation of (Sdet-Sdet0) is carried out, therein Sdet0 is the detected signal when the optical beam is made perpendicular to the disk surface, and in a control circuit 11, an inclination correcting mechanism 8 is controlled, in such a manner that the calculated result of the error compensating circuit 10 becomes zero. 誤差補正回路10では、光ビームをディスク面に対して垂直にしたときの検出信号をS_det0とすると(S_det−S_det0)の演算を行い、制御回路11では、誤差補正回路10の演算結果が零になるように傾き補正機構8を制御する。 - 特許庁
An electric power generating part 6 generates electric power for vibrating the piezoelectric film 2 on the basis of a detecting result of the noise detecting part 5, and vibrates the vibrating surface of the piezoelectric film 2 by making an electric current flow to conductive parts 4a and 4b on the basis of a command from a control part 7. 電力発生部6は、騒音検出部5の検出結果に基づいて、圧電フィルム2を振動させるための電力を発生し、制御部7からの指令に基づいて導電部4a,4bに電流を流し圧電フィルム2の振動面を振動させる。 - 特許庁
The method of manufacturing the light control film for controlling the optical characteristic is characterized in that a step is provided in which stress is applied to film material on the surface of which a predetermined notch pattern is given, and a craze or a crack starting from the notch pattern is generated. 本発明の光学特性を制御する光制御フィルムの製造方法は、所定のノッチパターンが表面に付与されたフィルム材料に応力を加え、前記ノッチパターンを起点としてクレーズまたはクラックを発生させるステップを備えていることを特徴とする。 - 特許庁
A semiconductor memory comprises: a columnar semiconductor 10; a floating gate electrode 8 formed on the side surface of the columnar semiconductor 10 via a tunnel insulating film 9; and control gate electrode 2, 3', and 4 formed via a blocking insulating film 7 so as to surround the floating gate electrode 8. 柱状半導体10と、柱状半導体10の側面にトンネル絶縁膜9を介して形成された浮遊ゲート電極8と、浮遊ゲート電極8を取り囲むようにブロック絶縁膜7を介して形成された制御ゲート電極2、3´、4を設ける。 - 特許庁
To provide a means for forming a layer of a soldering material on the surface of an aluminum member, which can uniformly and accurately control the thickness of the layer of the soldering material without employing water and an organic solvent that obstruct soldering, and can extremely thin the layer of the soldering material. アルミニウム部材の表面にろう材層を形成するに当たり、ろう付けの障害になる水や有機溶媒を使用することなく、ろう材層の厚さを均一に精度良く制御でき、ろう材層の極薄化を可能にする手段を提供する。 - 特許庁
A Pachinko machine 1 is installed with a transponder 72 equipped in the control box 5, on a sub board 70 displaced perpendicular to the surface side face of a Pachinko machine body 3, and has such a structure that no metal plate is disposed on a radio communication channel 9. このパチンコ機1は、制御用ボックス5に備えられたトランスポンダ72が、パチンコ機本体3の表側面に対して垂直に配置された副基板70上に設置され、無線通信経路9上に金属板が配置されない構造を有している。 - 特許庁
A side wall insulating film 21 of the control gate includes a first part which covers at least part of the projection 8 without covering the silicide region 22 and a second part which is provided to be continuous from the first part and covers the second side surface to be contacted therewith. そのサイドウォール絶縁膜21は、シリサイド領域22を覆うことなく突出部8の少なくとも一部を被覆する第1部分と、第1部分から連続的に設けられ、第2側面に接触して第2側面を被覆する第2部分とを含むものとする。 - 特許庁
The system for monitoring the characteristics of the biological fluid extracted from an organism includes: a tissue interface device 100 suitable for positioning on or about a surface of a biological membrane of the organism; and a monitor and control unit 200 coupled to the tissue interface device 100. 生物から抽出される生体液の特性を監視するためのシステムは、生物体の生物学的膜の表面またはその近傍に位置させるに適合する組織界面装置100および組織界面装置100に結合される監視および制御ユニット200を具備する。 - 特許庁
To enable a percussion type musical sound controller which generates a musical sound signal according to the detection of percussion to a pad body to variously control the musical sound signal according to the mode of percussion to the pad body and also make visual display corresponding to the mode of percussion to a pad surface. パッド体への打撃検出に応じて楽音信号を発生する打楽器型楽音制御装置において、パッド体への打撃態様に応じて楽音信号を多彩に制御するとともに、パッド面への打撃態様に応じた視覚表示を行う。 - 特許庁
To provide a compact dielectric waveguide device capable of attaining excellent phase control and adaptable to surface mount on a plane circuit board, and to provide a high frequency transmitter, a high frequency receiver, a high frequency transmitter-receiver, and a radar apparatus provided with the dielectric waveguide device. 小形で、良好な位相制御が可能であって、かつ平面回路基板への表面実装に適した誘電体導波路デバイスならびにこれを備える高周波送信器、高周波受信器、高周波送受信器およびレーダ装置を提供すること。 - 特許庁
To provide a continuous casting method for obtaining a cast slab having such an excellent surface quality that a longitudinal crack or the like is not generated by performing control to secure an appropriate heat flux between a mold and molten steel even under a condition that a mold thickness fluctuates. 鋳型厚みが変動する状況下であっても、鋳型/溶鋼間の適切な熱流束を確保するように制御することによって、縦割れ等が生じないような表面品質の良好な鋳片を得るための連続鋳造方法を提供する。 - 特許庁
To suppress an image defect such as non-uniformity or stripes caused by a developer by properly regulating the quantity and particle diameter of the developer to be passed through a sliding part between a developer quantity regulating blade and a developer carrier and easily acquiring the surface accuracy of a charge controlsurface in the developer quantity regulating blade for regulating the quantity of the developer carried away from a developer container by the developer carrier. 現像剤容器から現像剤担持体によって搬出される現像剤の量を規制する現像剤量規制ブレードにおいて、現像剤量規制ブレード及び現像剤担持体の間の摺動部をスリ抜ける現像剤量および現像剤粒径を適正に規制し、また、電荷制御面の面精度を容易に得ることによって、現像剤によるムラ及びスジなどの画像不良を抑制する。 - 特許庁
To enable using a single polishing disc to polish the notch end faces and a notch bevel face, for eliminating the troublesome control of two polishing discs in a mirror-surface polisher or a mirror-surface polishing method for wafer notches and contribute a wide area of the disc to polishing, thereby dispersing the polishing load, to improve the service life of the polishing disc and the polishing efficiency. 本発明は、ウェハノッチの鏡面研磨装置あるいは鏡面研磨方法において、一つの研磨ディスクによってノッチ端面とノッチベベル面とを研磨することができるようにして2つの研磨ディスクを管理するという煩わしさをなくすとともに、研磨ディスクの広い面積を研磨に貢献させて研磨負荷を分散することにより研磨ディスクの寿命の改善及び研磨効率の向上を図ることを課題とする。 - 特許庁
To suppress an image defect such an non-uniformity or stripes caused by a developer by properly regulating the quantity and particle diameter of the developer passing through the sliding part between a developer quantity regulating blade and a developer carrier and easily acquiring the surface accuracy of a charge controlsurface in the developer quantity regulating blade for regulating the quantity of the developer carried out of a developer container by the developer carrier. 現像剤容器から現像剤担持体によって搬出される現像剤の量を規制する現像剤量規制ブレードにおいて、現像剤量規制ブレード及び現像剤担持体の間の摺動部をスリ抜ける現像剤量および現像剤粒径を適正に規制し、また、電荷制御面の面精度を容易に得ることによって、現像剤によるムラ及びスジなどの画像不良を抑制する。 - 特許庁
To avoid undesirable decrease in a presumed friction coefficient even when the friction coefficient of the ground contact road surface of wheels is changed from low to high in an anti-lock brake control device for a vehicle presuming the friction coefficient of the road surface based on a detection value by a wheel speed sensor and controlling brake hydraulic pressure of a wheel brake based on the detection value by the wheel speed sensor and the presumed friction coefficient. 車輪速度センサの検出値に基づいて路面の摩擦係数を推定し、車輪速度センサの検出値および推定摩擦係数に基づいて車輪ブレーキのブレーキ液圧を制御するようにした車両のアンチロックブレーキ制御装置において、車輪の接地路面が低摩擦係数から高摩擦係数に変化するときでも、推定摩擦係数が不所望に低くなることを回避する。 - 特許庁
The vacuum sucker is excellent in suction force since vacuum suction is more perfectly performed by the air flow control of first and second check valves when an adhesion cover body is pressed after a suction plate is adhered on a glass surface or a tile wall surface. 本発明は真空吸着具に係り、さらに詳しくは、内部に設けられた第1及び第2の逆止弁により空気排出を制御することにより真空状態が完璧になることはもとより、内部に介装される弾性部材の弾性力によって真空状態を維持し続けることができて吸着力に優れており、しかも、圧力変化を視認できて使い勝手が一層よくなる真空吸着具に関する。 - 特許庁
The vortex generator of this invention which comprises a plurality of small holes on the wall surface crossing the flowing direction of fluid at right angles, thereby enabling the fluid to spout out from every small hole perpendicular to the wall surface, makes it possible to control the velocity distribution of the fluid spouted out of the small holes to be formed to the shear layer of a right triangle. 本発明による縦渦発生装置は、流体の流れ方向に対して直交する方向に位置するように壁面に複数の微小孔を設け、個々の微小孔から壁面に対して垂直方向に流体を吹き出し可能としたものにおいて、個々の微小孔から吹き出される流体の速度分布を直角三角形状の剪断層を形成するように制御することを特徴とする。 - 特許庁
The electronic control module includes: a package disposed on the ceramic substrate and having a semiconductor element covered with a resin; a lead frame expanded in a single direction or an opposite direction outside the package; and a conductor pattern formed on a surface of the ceramic substrate; wherein the lead frame is electrically mounted on the ceramic substrate via solder and only a space portion from an upper surface of the lead frame to the ceramic substrate is sealed with a resin. 当該電子制御モジュールは、セラミック基板上に配置され半導体素子を樹脂で覆ったパッケージと、パッケージの外側の単一方向、もしくは、対向方向に伸展したリードフレームと、セラミック基板の表面に形成された導体パターンと、を備え、リードフレームは、セラミック基板とはんだを介して電気的に装着され、リードフレームの上面から、セラミック基板までの空間部のみが樹脂で封止される。 - 特許庁
A surface shape observer (STO) that id a disturbance observer for estimating the surface shape measured by AFM is realized as an open loop, that is independent of a feedback loop in a closed-loop system; and since the band of AFM will not affect the stability of the closed-loop system, AFM which is widened farther in band than the feedback control system can be provided. 本発明によれば、閉ループ方式において、AFMで計測する物体の表面形状を推定する外乱オブザーバである表面形状オブザーバ(STO)は、フィードバックループとは独立な開ループで実現され、本発明に係るAFMの帯域は、閉ループ方式の安定性に影響を与えることはないため、フィードバック制御系よりも高帯域化されたAFMを提供することができる。 - 特許庁
A projection type image display device for projecting light emitted from an image forming element 120 to a projection surface 200 by the focusing projection optical system 140 and displaying an image, is provided with a photodetecting means 300 for receiving the light from the projection surface and an automatic focusing control means 160 for controlling the focusing of the projection optical system based on the output signal from the photodetecting means. 画像形成素子120からの光を、焦点調節が可能な投射光学系140により被投射面200に投射して画像を表示する投射型画像表示装置において、被投射面からの光を受光する受光検出手段300と、この受光検出手段からの出力信号に基づいて投射光学系の焦点調節制御を行う自動焦点制御手段160とを設ける。 - 特許庁
The surface processing device comprises a sheet body heating means which heats the sheet body; a sheet body cooling means which cools the sheet body kept in contact with a contact member; and an uneven shape control means which forms an uneven shape including information on the surface of the sheet body using at least either of the sheet body heating means or the sheet body cooling means. シート体を加熱するシート体加熱手段と、前記シート体を当接部材に当接させた状態で冷却するシート体冷却手段と、前記シート体加熱手段及び前記シート体冷却手段の少なくともいずれかにより、前記シート体の表面に情報を含む凹凸形状を形成する凹凸形状制御手段とを有することを特徴とする表面処理装置である。 - 特許庁
To provide a CMP polisher with a small foot print in which the exhaustion of the surface of a polishing pad is progressed uniformly in the pad surface by a simple control, even if the diameter of the polishing pad is not enlarged, in the CMP polisher. CMP研磨装置に於いて、研磨パッドの径を大きくしなくも、ウェハの被研磨面の各点に於ける研磨パッドの相対速度が均一、従って研磨速度の均一性が良く、研磨経過時間毎に複雑に変化させる揺動を行うための特別な複雑な制御を行わなくても、簡単な制御で研磨パッドの表面の消耗がパッド面内で均一に進行するフットプリントが小さいCMP研磨装置を提供することである。 - 特許庁