When the laser beams emitted from the surface emitting laser array element 2 are made to be incident on a polarized light beam splitter, an optical path for the laser beam transmitted through the 1/2 wavelength plate area 5 is separated from that for the laser beam transmitted through the area other than the 1/2 wavelength plate area 5. 面発光レーザアレイ素子2から出射したレーザ光を偏光ビームスプリッタに入射させることにより、1/2波長板領域5を透過してきたレーザ光と、1/2波長板領域5の無い部分を透過してきたレーザ光とで、光路が分離される。 - 特許庁
The element isolation region is a deep trench 15, consisting of a forward taper profile 13 and a bowing profile connecting to a lower part, and a boundary surface between the forward taper profile 13, and the bowing profile is arranged in the high concentration impurity diffusion semiconductor layer 1. 素子分離領域は、順テーパ形状部13及び下部に繋がるボーイング形状部からなるディープトレンチ15であり、前記順テーパ形状部と前記ボーイング形状部との境界面は高濃度不純物拡散半導体層1内に配置されている。 - 特許庁
The planar magnetic element for non-contact charger having a structure in which a plane coil is buried in one side of a magnetic layer while exposing the upper surface thereof, comprises a dummy electrode arranged on the other side of the magnetic layer, in addition to a coil terminal electrode for the plane coil. 磁性層の片面に、上面を露出させて平面コイルを埋設した構造となる非接触充電器用平面磁気素子であって、当該磁性層のもう一つの面に、前記平面コイルのコイル端子電極に加え、ダミー電極を配置してなる。 - 特許庁
To arrange a noncontact memory element (MIC) for recording contents or the like of information recorded in a magnetic tape so that its upper surface forms an angle of 45 degrees with respect to the bottom face of a cartridge according to a request from a recording/reproducing device or the like that uses a magnetic tape cartridge. 磁気テープカートリッジを使用する記録再生装置等の要求に応じて、磁気テープに記録された情報の内容等を記録する非接触式メモリ素子(MIC)を、カートリッジケースの底面に対してその上面が45度の角度をなすように配設する。 - 特許庁
An interposer 55 is provided with an elastic tabular insulator 56, a plurality of conductors 57 which penetrate and are embedded in the thickness direction of the insulator, and a sheet-formed component 70 provided on a surface at the side of mounting a semiconductor element 51 of the tabular insulator 56. インターポーザ55は、弾性を有する板状絶縁体56と、その厚さ方向に貫通して埋め込まれた複数の導体57と、板状絶縁体56の、半導体素子51を搭載する側の面に設けられたシート状部材70とを有している。 - 特許庁
An N+ diffused layer 15, an N well 14, and a deep N-well 15 are formed in a position deeper than a shallow trench isolation region as an emitter diffused layer so that the discharge current of a bipolar transistor of a static protective element flows mainly vertically to the substrate surface. 静電保護素子のバイポーラトランジスタの放電電流が主に基板表面に対して縦方向となるように、シャロートレンチ分離体16よりも深い位置に、エミッタ拡散層として、N^+拡散層15、Nウエル14及び深いNウエル11を形成する。 - 特許庁
A magnetic storage element 10 comprises a first magnetic thin film 1 wherein application of an external magnetic field generates a spin vortex, and a second magnetic thin film 2 comprising magnetization C almost vertical relative to a film surface above the first magnetic thin film 1. 本発明の磁気記憶素子10は、外部磁界の印加によりスピンボルテックスを生じる第1の磁性体薄膜1と、この第1の磁性体薄膜1の上方において、膜面と略垂直な磁化Cを有する第2の磁性体薄膜2とを具えている。 - 特許庁
The multilayer piezoelectric element 1 comprises a multilayer ceramic body 10, where a ceramic layer 11 and an internal electrode layer 12 are formed alternately in layers, and a pair of lateral electrodes formed, respectively, on a pair of bonding faces 15, formed on the outer circumferential surface of the multilayer ceramic body 10. 積層型圧電素子1は、セラミック層11と内部電極層12とを交互に積層してなるセラミック積層体10と、セラミック積層体10の外周面に形成した一対の接合面15にそれぞれ形成した一対の側面電極とを有する。 - 特許庁
The semiconductor integrated circuit 20 and an optical input/output (I/O) 30 for transmitting/receiving an optical signal between the semiconductor integrated circuit 20 and the outside are formed on the side of the first surface 10A of an element substrate 10 made of semiconductor such as silicon or the like. シリコンなどの半導体よりなる素子基板10の第1の面10A側に、半導体集積回路20と、この半導体集積回路20と外部との間で光信号の送受信を行う光入出力(I/O)部30とが形成されている。 - 特許庁
To provide a light shielding part, stably suppressing the occurrence of flare and ghost image by preventing unnecessary light from being reflected and condensed in the same direction on the inner peripheral surface of the light shielding part, so that even if the unnecessary light reaches an imaging element, the quantity of light decreases. 遮光部の内周面で不要光が反射する方向が同一方向に集光しないようにし、例え不要光が撮像素子に達しても光量が少なくなって、フレアやゴーストイメージの発生を安定して抑制することができる遮光部。 - 特許庁
To provide a measuring instrument of the coefficient of dynamic friction capable of gently performing the contact of a measuring element with a surface to be measured even with respect to various surfaces to be measured and capable of obtaining the coefficient of dynamic friction to a speed as a stable and accurate measuring result. 多様な被測定面に対しても測定子の被測定面への接触を緩やかに行うことができ、速度に対する動摩擦係数を安定しかつ正確な測定結果として得ることができる動摩擦係数の測定装置を提供する。 - 特許庁
In the semiconductor module 100, a circuit element such as a power semiconductor 2 or a driving IC 3 is connected to a circuit pattern of a lead frame 1 by bonding wires 4, 5 and is covered with a molding resin 6, and a ceramics insulating layer 7 is formed in a reverse surface of the molding resin 6. パワー半導体2または駆動IC3等の回路素子をボンディングワイヤ4,5によりリードフレーム1の回路パターンに接続して成形樹脂6で覆い、この成形樹脂6の反対面に、セラミックス絶縁層7を形成した半導体モジュール100とした。 - 特許庁
On one surface side of a substrate 10, the light receiving element has a P-region 20 composed of a p-type semiconductor, an N-region 30 composed of an n-type semiconductor, and an I-region 40 composed of an i-type semiconductor that is prepared between the P-region 20 and the N-region 30. 基板10の一面側にp型半導体よりなるP領域20と、n型半導体よりなるN領域30と、そのP領域20およびN領域30の間に設けられたi型半導体よりなるI領域40とを有している。 - 特許庁
The emission window 212 for emitting light beams is disposed on a housing of a laser exposure device having an optical element arranged inside for exposing a photoreceptor, and the upper surface of the housing is provided with a slidable shutter 216 with an opening 218. 感光体を露光するための光学部品を内部に配したレーザ露光装置の筐体には、光ビームを出射させるための照射窓212が設けられ、その筐体の上面には開口218を備えてスライド移動可能なシャッター216が設けられている。 - 特許庁
A capacitor element 1 is formed so as to have an anode formed in such a manner that an end portion of an anode lead 11 is embedded from a wall surface of a sintered body of valve action metal into the sintered body and a cathode 12 formed on the sidewall of the sintered body. 弁作用金属の焼結体の一壁面からその焼結体内に陽極リード11の一端部が埋め込まれて形成される陽極および焼結体の側壁に形成される陰極12を有するようにコンデンサ素子1が形成されている。 - 特許庁
A radio IC device includes: a dielectric body 20 with flexibility; a radiator 30 provided to at least one main surface of the dielectric body 20, made from a metal material, and with flexibility; and a radio IC element 50 coupled to the radiator 30. 可撓性を有する誘電体素体20と、誘電体素体20の少なくとも一方主面に設けられた金属材からなる可撓性を有する放射体30と、放射体30に結合された無線IC素子50とを備えた無線ICデバイス。 - 特許庁
The surface acoustic wave element includes: a laminated substrate 103 which is made by laminating a first substrate 101 consisting of a piezoelectric material on a second substrate 102 consisting of a material different from that of the first substrate 101; and comb-electrodes 104 formed on the first substrate 101. 圧電性材料からなる第1の基板101と第1の基板101とは異なる材料からなる第2の基板102とが積層された積層基板103と、第1の基板101上に形成された櫛形電極104とを備える。 - 特許庁
The surface acoustic wave element 1 has a finger 3 and bus bars 4 on a piezoelectric substrate 2 and has at least either an IDT (Inter Digital Transducer) electrode 6 or reflector electrodes 7, wherein the bus bars 4 have an area 5 where film thickness gradually increases at the finger 3 side. 圧電基板2上に、フィンガー3およびバスバー4を有しており、バスバー4がフィンガー3側に膜厚漸増領域5を有している、IDT(Inter Digital Transducer)電極6および反射器電極7の少なくとも一方を有する弾性表面波素子1である。 - 特許庁
A holder 3 holding a crimping blade is attached by a screw 32b to a vertical adjustment bolt 30 from a projection 2a on a bracket 2 fixed to the elevating element 1 in such a way as dangling and fastened by a bolt 3b to the front surface of the bracket 2 through a long hole 3a. 圧接刃4を擁した圧接刃ホルダ3を、昇降体1に固定したブラケット2の突設部2aから圧接刃上下調整ボルト30にねじ32bで止めて垂下するとともに、長穴3aを介してブラケット2の前面にボルト3bでねじ止めする。 - 特許庁
At this time, the OH group on the glass surface of the optical fiber 11 is substituted with a halogen element, and therefore the occurrence of defects by the generation and diffusion of the OH group during the heat treatment is lessened and the degradation in the mechanical strength of the optical fiber is suppressed. このとき、光ファイバ11のガラス表面上のOH基がハロゲン元素に置換されるので、加熱処理時にOH基が発生及び拡散されることによる欠陥の発生を低減して、光ファイバの機械的強度の低下を抑制することができる。 - 特許庁
In the driving substrate 50, a switching element Tr1 is formed which includes a drain D1 and a source S1 provided apart from each other on a surface of a semiconductor substrate, and a gate insulating film 4 and a gate G1 laminated in order in a region between the drain and the source. 駆動基板50には、半導体基板1の表面に互いに離間して設けられたドレインD1及びソースS1とこれらの間の領域に順次積層されたゲート絶縁膜4及びゲートG1とを有するスイッチング素子Tr1が形成されている。 - 特許庁
To prevent a background from being transparently viewed to make display hardly recognized when viewed from one-side surface, in a light-emitting device capable of carrying out display by using luminescence from a light-emitting element and passing through a negative electrode and luminescence passing through a positive electrode. 発光素子からの陰極を通過する発光と、陽極を透過する発光とを用いて表示を行うことができる発光装置において、一方の面から見た場合に、背景が透けて見えて表示を認識しにくくなることを防ぐことを課題とする。 - 特許庁
To provide a cooling apparatus capable of selectively injecting a greater volume of cooling air than conventional to a specific element to be cooled, even when there is limited smaller an area of a suction port which can be provided in a front surface of a casing to be cooled therein. 内部を冷却すべき筐体の前面にとり得る吸気口の面積が小さく制約されている場合であっても、従来よりも多量の冷却空気を、しかも特定の被冷却要素に選択的に噴射することのできる冷却装置を提供する。 - 特許庁
To provide an improved phosphor particulate powder in which water resistance is excellent and reduction of an initial emission luminance is suppressed, a method for surface treatment for obtaining the improved phosphor particulate powder and an EL element using the powder. 本発明は、耐水性に優れると共に、初期発光輝度の低下が抑制された改質蛍光体粒子粉末、該改質蛍光体粒子粉末を得るための表面処理方法及び該改質蛍光体粒子粉末を用いたEL素子を提供する。 - 特許庁
This functional element comprises a metal nano-rod fixed on a solid substrate surface or in a high polymer film in which the form of the metal nano-rod is changed as external energy is applied, and in which spectral characteristics are changed in accordance with the form change of the metal nano-rod. 固体基板表面または高分子フィルム中に固定化された金属ナノロッドから成り、外部エネルギーが印加されることにより金属ナノロッドの形状が変化してその形状変化に応じて分光特性が変化するようになっている機能素子。 - 特許庁
To suppress deterioration in an element being energized by reducing not only micropipes but also residual strain and the expansion of dislocation in a base bottom surface to lamination defects caused by the residual strain in an SiC substrate, the manufacturing method of the SiC substrate, and a semiconductor device. SiC基板の製造方法及びSiC基板並びに半導体デバイスにおいて、マイクロパイプだけでなく残留ひずみや、残留ひずみに起因する基底面内転位の積層欠陥への拡張も低減し、通電中における素子の劣化を抑制すること。 - 特許庁
The correcting mechanism 13 corrects shifting of the projection screen position due to the insertion and retreating of the converter lens 2 to the optical path between a projection lens 12 and a screen SC by parallel movement of the projection lens 12 to a display surface 11a of a display element 11. 補正機構13は、投影レンズ12とスクリーンSCとの間の光路に対するコンバーターレンズ2の挿入、退避による投影画面位置の移動を、表示素子11の表示面11aに対する投影レンズ12の平行移動によって補正する。 - 特許庁
This electron emitting element material is a needle shape structural body 15 having C=N bond obtained by controlling H/N radical density ratio and substrate temperature and by etching an organic material on the surface of which colloidal golds 14, 14, 14 are adhered by N-H series plasma. H/Nラジカル密度比と基板温度を制御して、表面に金コロイド14,14,14を付着させた有機材料をN−H系プラズマでエッチングして得られる、C=N結合の針状構造体15であることを特徴とする電子放出素子材料。 - 特許庁
Moving in a direction determined in advance by a driving section 7, a resin supply section 4 applies thermosetting resin 8 delivered from a resin accumulation section 2 onto the front surface of the plate-like element 9 having the metal nano thin film 11 whereon fine contaminant and dust are adhered. 樹脂供給部4は、駆動部7によって予め定める方向へ移動しながら、微細なごみおよび埃が付着した、金属ナノ薄膜11を有する板状素子9の表面に、樹脂蓄積部2から配送された熱硬化性樹脂8を塗布する。 - 特許庁
To provide a method and apparatus for cleaning the contact holes of a semiconductor substrate, polymer residues inside the via holes after ashing, and an oxide layer on a barrier metal surface, without the use of a halogen gas, which is chemically active or a plasma generating apparatus which is expensive and gives plasma damage to an element. 半導体基板のコンタクトホール、ビアホール内部のアッシング後のポリマーかすやバリアーメタル表面の酸化層を、化学的に活性なハロゲン系のガスや高価で素子にプラズマダメージを与えるプラズマ発生装置を使わずにクリーニングする方法及び装置を提供する。 - 特許庁
Each of wiring boards 5 is formed, being folded back so that a belt-shape conductor abuts to a part in the same surface and is located on the surrounding edge of the element substrate 2 so that the same polarity of electrodes of extended anode 31P and cathode 31M are connected each other. 配線板5の各々は、帯状の導体がその同一面内の一部が当接するように折り返されて形成され、延出された陽極31P及び陰極31Mの同極同士を接続するように素子基板2の外周縁上に配置される。 - 特許庁
The vehicle-lighting fixture unit has a substrate 37, and a light-emitting diode element 47 arranged on the substrate 37 and is equipped with a light source module 35 whose surface is made flat, and a projection lens which projects ahead the light emitting image of the light source module 35 as an inversion image. 車両用灯具ユニットは、基板37と、基板37上に配置される発光ダイオード素子47を有し、表面が平坦とされた光源モジュール35と、光源モジュール35の発光像を反転像として前方に投影する投影レンズと、を備える。 - 特許庁
For the purpose of making the focus position of each reflected beam coincident with the same surface of a semiconductor substrate having a photodetecting element, the semiconductor laser chips are arranged so that the position in the optical axis direction is deviated by a quantity determinable with the image-face curvature and chromatic aberration of the collimator lens. 各反射ビームの集束位置が光検出素子を設けた同一の半導体基板表面に一致するように、コリメートレンズの像面湾曲と色収差で決まる量だけ半導体レーザーチップの光軸方向の位置をずらして配置する。 - 特許庁
In a step S103, an internal standard sample in which a known amount of a target element is included in a base material which absorbs a known amount of X-rays is placed on the structure, and then X-rays are radiated to the surface of the structure through the internal standard sample. 次に、ステップS103、X線の吸収量が既知の基材に対象となる元素が既知の含有量で含まれている内標準試料を構造物に重ねた状態で、内標準試料を通して構造物の表面にX線を照射する。 - 特許庁
Light of wavelength λ1 condensed by the optical system 112 diverges after passing through a condensed position, is collimated by an optical system 113, is condensed by an optical system 114 through a diffraction grating element 122 and is made incident to the end surface of an optical fiber 22. 光学系112により集光された波長λ1の光は、集光位置を経た後に発散し、光学系113によりコリメートされ、回折格子素子122を経て、光学系114により集光されて光ファイバ22の端面に入射する。 - 特許庁
For example, an Si substrate 2 as a semiconductor substrate is arranged on the lowermost layer of the semiconductor composite device 1, a flattened layer 3 whose surface can be flattened is disposed thereon, and a semiconductor thin film layer 4 on which a semiconductor element is formed is bonded thereon. 半導体複合装置1の最下層に例えば半導体基板であるSi基板2を配置し、その上に表面の平坦化が可能な平坦化層3を配し、その上に半導体素子が形成される半導体薄膜層4をボンディングした構成とする。 - 特許庁
Since the valve seat surface 13 of the valve box 1 is spherically recessed, and the valve seat part of the valve element is elastic, the both are in face contact to each other in a sufficient contact width, and when a hydraulic pressure is applied in valve closing, the contact pressure in a water stopping part is increased to provide high water stopping property and durability. 弁箱1の弁座面13が球状凹面で、弁体の弁座部が弾性を有するので、両者は充分な接触幅で面接触し、また閉弁時に水圧がかかると、止水部での接触圧が高まるようになり、止水性と耐久性がよい。 - 特許庁
A thermoelectric element 10 is constructed by sandwiching a copper plate as a superior heat conductor between an N-type semiconductor 11 and a P-type semiconductor 12, adhering an aluminum plate 14 on the outer surface of the semiconductor 12, and mounting electrodes (not shown) on the plates 13 and 14. 本発明の第1実施形態に係る熱電素子10は、N型半導体11とP型半導体12の間に良導体としての銅板13を挟み、P型半導体12の外側面にアルミ板14を接着し、銅板13とアルミ板14に電極(図示省略)を取り付けたものである。 - 特許庁
A pile propelling element 4 having helical blades 8 on its outer surface and a cylindrical cavity 9 in its center is attached to the end of a hollow and cylindrical concrete pile 1 freely rotatable about the axis of the concrete pile. 中空円筒状のコンクリート杭1の先端に、外側面に螺旋翼8を有し且つ中心に円筒状空洞部9を有する杭推進体4を、前記コンクリート杭の軸心を中心として回転自在となるように装着することを特徴とする無排土杭。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing electronic component by which temperature rise of a plating solution used for forming, for example, external electrodes of an electronic component can be suppressed by forming plated coating films on conductive films formed on an external surface of an electronic component element. 電子部品素子の外表面上に形成された導電膜上にめっき被膜を形成して、たとえば電子部品の外部電極とする際に用いられるめっき液の温度上昇を抑えることができる、電子部品の製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a device and method for displaying deformed-curved surface which can be applied for fast real-time display by unnecessitating deforming calculation with respect to all the node points constituting an FEM(finite element method) model and unnecessitating repeated calculation. FEMモデルを構成する全てのノード点に対して変形計算を行う必要がなく、また、繰り返し計算をも不要とすることにより、高速なリアルタイム表示に適用可能な変形曲面表示装置および変形曲面表示方法を提供する。 - 特許庁
In the mold assembly equipped with mold inserts 11 and 12 and a mold insert 13 for molding the optical element constituted of at least one rotary non-axisymmetric optical surface and at least one rotary axisymmetric surface, fine unevenness is formed to the mold insert 13 for molding at least the rotary axisymmetric surface over the partial or entire region thereof. 本発明は、少なくとも一つ以上の回転非軸対称光学面と、少なくとも一つの回転軸対称光学面とで構成される光学素子を成形するための金型入れ駒11、12及び金型入れ駒13を備えた金型装置において、前記少なくとも一つの回転軸対称光学面を成形するための金型入れ駒13の成形面には、微細な凹凸が一部又は全域にわたって形成されていることを特徴とするものである。 - 特許庁
The optical element is provided with a projection having a surface roughly vertical to the reference surface. ディスク方向に向かって光を出射する光源と、光源からの光をディスク上に集光する対物レンズと、ディスクからの光を受光する受光素子と、光源から受光素子に至る光路に設けられ、かつ光学ヘッド内部に設けられた所定の基準面に接着固定された樹脂製の光学素子とを備え、前記光学素子は前記基準面に略垂直な面を有する突起を有することを特徴とする。 - 特許庁
The element 2 is constituted by sequentially layering a ground electrode green sheet 12 on the surface of which the ground electrode 4 is formed, a plurality of dielectric green sheets 11 on the surfaces of which capacitor electrodes 10a, 10b are formed, a plurality of magnetic substance green sheets 9 on the surfaces of which conductor patterns 8 are formed and an insulated green sheet 13 on the surface of which nothing is formed. 素子2は、グランド電極4が表面に形成されたグランド電極グリーンシート12と、コンデンサ電極10a,10bが表面に形成された複数の誘電体グリーンシート11と、導体パターン8が表面に形成された複数の磁性体グリーンシート9と、表面に何も形成されていない絶縁グリーンシート13とが順に積層されて構成されている。 - 特許庁
The semiconductor device is provided with a p-type silicon substrate 1 having a main surface, trenches 2 formed on an element isolation region in the main surface of the p-type silicon substrate 1, inner wall oxide films 3 formed on the inner walls of the trenches 2, nitride oxide layers 4 formed on the surfaces of the inner wall oxide films 3 and separated oxide films 5 embedded into the trenches 2. 本発明の半導体装置は、主表面を有するp型シリコン基板1と、p型シリコン基板1の主表面における素子分離領域に形成されたトレンチ2と、トレンチ2の内壁上に形成された内壁酸化膜3と、内壁酸化膜3の表面に形成された窒化酸化層4と、トレンチ2内に埋め込まれた分離酸化膜5とを備える。 - 特許庁
With this, through coating of a stabilizing matter 51 for stabilizing an electron emission structure ad protecting an emission end on the surface of a CNT emitter 50 of the field emission element or on the surface of the CNT50a as its main component, and especially at the emission end of the same, overcurrent or abrasion of the CNT50a generated during electron emission is restrained. これにより、電界放出素子のCNTエミッタ50の表面またはその主な構成要素であるCNT50aの表面、特に、放出端に電子放出構造を安定化させ、そして放出端を保護する安定化物質51がコーティングされることによって過電流または電子放出過程中に発生するCNT50aの摩耗を抑制する。 - 特許庁
This piezoelectric element 1 having a non-expansion part 15 not to expand nor contract, is equipped with electrodes 17 and 18 which are provided at the surface of an expansion part 13 to expand and contract extending to the surface position of the non-expansion part 15, and input terminals 11 and 12 which are connected to the electrodes 17 and 18 and provided in the position of the non-expansion part 15. 伸縮動作しない非伸縮部15を端部に有する圧電素子1であって、伸縮動作する伸縮部13の表面に設けられ非伸縮部15の表面位置にまで延出して設けられる電極17、18と、その電極17、18に接続され非伸縮部15の位置に設けられる入力端子11、12とを備えて構成されている。 - 特許庁
The method of manufacturing organic functional elements, including organic functional layers, is provided with an organic functional element which has at least one among organic functional layers produced through letterpress method, by using a letterpress of which the surface tension of projected part is 40 to 70mN/m and ink-containing organic functional materials, of which the surface tension is 25 to 40mN/m. 有機機能層を含む有機機能性素子の製造方法であって、前記有機機能層のうち少なくとも一層が、凸部の表面張力が40〜70mN/mの印刷用凸版と、表面張力が25〜40mN/mである有機機能性材料を含むインキを用いて、凸版印刷法により形成されることを特徴とする有機機能性素子の製造方法。 - 特許庁
The hybrid integrated circuit device 10 is provided with a metal substrate 11 wherein an insulating layer 17 is formed on its surface, a conductive pattern 12 formed on the surface of the insulating layer 17, a circuit element fixed onto the conductive pattern 12, and a lead 14 as an external connection means that is fixed onto the conductive pattern 12 around the metal substrate 11. 本発明の回路装置である混成集積回路装置10は、表面に絶縁層17が設けられた金属基板11と、絶縁層17の表面に形成された導電パターン12と、導電パターン12上に固着された回路素子と、金属基板11の周辺部で導電パターン12に固着された外部接続手段としてのリード14とを具備する。 - 特許庁
To provide a film forming method and a film forming device which form a uniform film in a region to which photo lithography process is applied for the purpose of forming a propagation path or an electrode pattern, etc. of resist films, a sensitive film, etc. on a surface of spherical material to be coated in manufacturing process of a spherical surface acoustic wave element. 球状弾性表面波素子の製造過程において、被塗布物である球状基材の表面にレジスト、感応膜等の被膜を伝搬路又は電極パターンを形成すること等を目的としたフォトリソグラフィープロセスの適用される領域に均一な被膜を形成するための被膜形成方法及び被膜形成装置を提供することを目的とする。 - 特許庁