To provide a light reflection film which is constituted of a polypropylene film and which has high reflectivity and further can be made thinner by making reflectivity equivalent to or more than that of a conventional white film in order to satisfy demand of miniaturization as a reflection film for a surface light source of a liquid crystal screen for a mobile information instrument. モバイル情報機器用液晶画面の面光源用反射フィルムとして、高反射率を有しているだけでなく、小型化への要求を満足するために従来の白色フィルムと比較して反射率を同等以上として薄膜化することができる、ポリプロピレンフィルムからなる光反射フィルムを提供すること。 - 特許庁
Before the formation of the gate electrode 7, impurities are added to at least a part of the source region 9 and the drain region 10 by using ion implantation from an inner wall of the trench portion 3, and thereafter heat treatment is performed for diffusion and activation to form a diffusion region from the surface of the trench portion 3 down to a bottom portion thereof. ソース領域9とドレイン領域10の少なくとも一部では、ゲート電極7の形成前にトレンチ部3の内壁からイオン注入を用いて不純物添加をおこなった後、拡散および活性化の熱処理を施すことによって、トレンチ部3の表面から底部にかけて深く形成させることを可能とする。 - 特許庁
Also, the photo electron emitted by applying a monochromatic X ray from a monochromatic X-ray source 17 passes through an incidence slit part formed in the two-dimensional detector 11 and is dispersed by an energy analyzer 19, and an electron with specific energy is detected by a detector 7, thus analyzing the surface of the sample 12. また、単色X線源17より単色X線が照射されることで放出された光電子は、二次元検出器11に形成された入射スリット部31を通過し、エネルギ分析器19で分光された後、検出器7により特定エネルギの電子が検出されることで試料12の表面分析が行われる。 - 特許庁
Hydrogen storage alloy particles (C) subjected to catalyzing treatment are subjected to electroless composite plating treatment in a dispersed solution obtained by dispersing a titanium based compound (B) into an electroless plating solution (A) comprising a nickel ion source, thus a nickel metal-coated layer in which the titanium based compound (B) is dispersed is formed on each surface of the particles (C). ニッケルイオン源を含む無電解めっき液(A)中にチタン系化合物(B)を分散させてなる分散液中で、触媒化処理した水素吸蔵合金粒子(C)を無電解複合めっき処理することにより、チタン系化合物(B)が分散したニッケル金属被覆層を該粒子(C)の表面に形成させる。 - 特許庁
The heating drier device for coating film formation is used to dry the polyimide solution 200 coated on a glass substrate 100 to form a polyimide film as an oriented film thereon, comprising a hot plate 2 as a heating source and a plurality of proximity pins 10A attached on the upper surface side of the hot plate 2. 塗布膜形成用加熱乾燥装置は、配向膜としてのポリイミド膜をガラス基板100上に形成するためにガラス基板100上に塗布されたポリイミド溶液200を乾燥させるためのものであり、加熱源としてのホットプレート2と、ホットプレート2の上面側に取付けられた複数のプロキミシティピン10Aとを備える。 - 特許庁
In the over-field scanning optical system whose length in the main scanning direction is longer than that of one surface of a polygon mirror, a diaphragm having a larger aperture diameter in the subscanning direction at least at either peripheral part than at the center of the condensing lens system is provided between the laser beam source and the polygon mirror. また、主走査方向の長さが、ポリゴンミラーの一面の長さより大きいオーバーフィールド走査光学系において、副走査方向のアパーチャ径が前記集光レンズ系の中心に比べ少なくとも片方の周辺部の方が広い絞りをレーザー光源とポリゴンミラーの間に設けたことを特徴とする。 - 特許庁
A hydrogen-containing amorphous carbon (DLC) film layer is formed on the surface of a probe core material by means of high-frequency plasma chemical vapor deposition method, using a hydrocarbon gas as a source gas to form an electricity-insulating and highly hard protective film layer of a uniform thickness in the microprobe. プローブ芯材の表面に、炭化水素ガスをソースガスとして用いた高周波プラズマ化学気相析出法によって水素含有アモルファス状炭素(DLC)膜層を形成することにより、電気絶縁性、かつ高硬度性をもった均一な厚さの保護膜層を形成してなるマイクロプローブを実現できる。 - 特許庁
The Illumination optical systems (2 to 12) which light up the surface (M;W) to be irradiated with light from a light source (1) include: distribution formation optical systems (3 to 8) which form pupil intensity distributions on a lighting pupil behind an optical integrator (8); and a correction unit (9) disposed in a lighting pupil space including the lighting pupil. 光源(1)からの光で被照射面(M;W)を照明する照明光学系(2〜12)は、オプティカルインテグレータ(8)よりも後側の照明瞳に瞳強度分布を形成する分布形成光学系(3〜8)と、照明瞳を含む照明瞳空間に配置された補正ユニット(9)とを備えている。 - 特許庁
An electric motor 2 used as a driving source of an engine starter includes: a motor housing 21; a plurality of magnets 26 provided on the inner peripheral surface of the motor housing 21; and auxiliary electrodes 87 each disposed adjacent on the magnetization increasing side of each magnet 26, and also includes an armature 22 equipped with an armature core 28 on the inside of the magnets 26. エンジン始動装置の駆動源として使用される電動モータ2は、モータハウジング21と、その内周面に取り付けられた複数個のマグネット26と、マグネット26の増磁側に隣接配置された補助極87を有し、マグネット26の内側にはアーマチュアコア28を備えたアーマチュア22を有している。 - 特許庁
A sliding member has, on its sliding surface, a thin coating film having a hydrogen content of less than 30 atomic %, the thin film being composed of a diamond-like carbon film or an amorphous carbon film, that are prepared by the plasma source ion injection process, wherein ions are injected by forming a plasma around a base material 3 and applying a negative pulse voltage to the base material. 基材3の周囲にプラズマを形成し、基材に負のパルス電圧を印加することによってイオン注入を行うプラズマソースイオン注入法により作製したダイヤモンドライクカーボン膜あるいは非晶質カーボン膜であって、水素含有量が30原子%未満である薄膜を摺動面に被覆した。 - 特許庁
On the upper surface of a cover 95 shielding this driving member 921, a supporting plate 97 is fixed and on this supporting plate 97, a vibration generator 103 composed of a vibration transmission member 99 and a vibration source 101 is installed vertically on the center line of the punch P held by the holding pawl 89. この駆動部材91を遮蔽するカバー95の上面に支持板97が固着され、この支持板97に振動伝達部材99と振動源101とで構成された振動発生装置103が、前記把持爪89にて把持されたパンチPの中心線上に垂設されていることを特徴とする。 - 特許庁
Illuminating light from a ring type light source 300 is radiated to a lens to be adjusted 23, an image of reflected light from an optical surface is received by a CCD, and a shifted amount of the image by eccentricity caused when the lens is titled is detected and converted into a tilt angle, then the tilt of the lens is corrected by using an actuator. リング状光源300からの照明光を被調整レンズ23に照射し、光学面からの反射光の像をCCDで受光し、レンズを傾斜させた際に生じる偏心によって当該像がずれる量を検出して傾斜角に換算し、アクチュエータを用いてレンズの傾斜を補正する。 - 特許庁
A control part 22 controls to start heating a heating roller 6 by turning on the switch of the heating lamp 14 of the roller 6 when the power source switch of the image forming device 100 is turned on, and start raising the temperature by energizing the heating element of an outer periphery heating roller 3 when the surface temperature of the roller 6 attains specified temperature. 制御部22は、画像形成装置100の電源スイッチがオンされると、加熱ローラ6の発熱ランプ14のスイッチを入れ、加熱ローラ6の加熱を開始し、加熱ローラ6の表面温度が所定の温度に達したなら、外周加熱ローラ3の発熱体への通電を行わせ、温度上昇を開始させる。 - 特許庁
To provide an optical information recording medium for recording and reproducing a spot smaller than a beam spot decided by the wavelength of a light source and an objective lens by arraying particulates on the surface of a recording medium substrate and making only the arrayed particulates couple with read light or write light optically. 記録媒体基板の表面に微粒子を配列し、読み出し光或いは書き込み光と光学的に結合するのは配列させた微粒子のみとなるようにすることにより、光源の波長と対物レンズとにより決まるビームスポットよりも小さいスポットの記録再生を可能にした光情報記録媒体を提供する。 - 特許庁
The advancing-retreating member 6 is moved in the clamp direction by a clamp driving source 15, and in a state of meshing the third annular dentition 13 with the first and second annular dentition 11 and 12, a contact support surface 36 for receiving pressure in the axial direction of the turret 1 by contacting with the turret 1, is arranged on the turret support base 2. クランプ駆動源15により進退部材6をクランプ方向に移動させて第3の環状歯列13を第1および第2の環状歯列11,12に噛み合わせた状態で、タレット1に接触してタレット1の軸方向圧を受ける接触支持面36を、タレット支持台2に設ける。 - 特許庁
To provide a condensing optical system and an optical pickup device capable of effectively correcting fluctuation in spherical aberration by a simple configuration which is generated on each optical surface of the optical pickup device due to a change in the wavelength of a light source, a change in temperature/humidity, a tolerance of a transparent substrate thickness of an optical information recording medium or the like. 光源の波長変化、温・湿度変化、光情報記録媒体の透明基板の厚みの誤差等に起因して光ピックアップ装置の各光学面で発生する球面収差の変動を、簡易な構成で効果的に補正できる集光光学系および光ピックアップ装置を提供する。 - 特許庁
To provide a luminous flux control member capable of uniformalizing brightness of illumination light in an illuminated face without increasing the number of light emitting devices when aiming at thinning and light-weight of a surface light source device and a display device equipped with this, and capable of suppressing an increase of power consumption and a hike of a product price. 面光源装置及びこれを備えた表示装置の薄型化及び軽量化を図る際に、発光装置の個数を増加させずに被照射面における照明光の輝度を均一化させ、消費電力の増加を抑え、製品価格の高騰を抑えることが可能になる光束制御部材を提供する。 - 特許庁
Electrodes 52a and 52b are disposed on a circumferential surface of a fixing roller having a resistance heating body layer that generates heat by electrification and power is supplied to the resistance heating body layer when power supplying electrodes 54a and 54b that are electrically connected to an electric power source 55 are slidingly contacted with the electrodes 52a and 52b. 通電により発熱する抵抗発熱体層を有する定着ローラの外周面に電極52a、電極52bが配され、電源55と電気的に接続する給電電極54a、54bが、電極52a、52bと摺動接触することで、抵抗発熱体層に電源供給される。 - 特許庁
A plasma CVD apparatus has a grounded electrode serving as a substrate-holding member and a first discharge electrode, arranged in position facing the grounded electrode inside a vacuum vessel, and the plasma CVD apparatus has a structure, such that the source gas is introduced into the vacuum vessel for plasma generation and a thin film is formed on the surface of the substrate. 真空容器内に基板保持材を兼ねた接地電極と、該接地電極と相対向する位置に配置された第一放電電極とを有し、該真空容器内に原料ガスを導入してプラズマを形成し、基板表面に薄膜を形成する以下の構造を有するプラズマCVD装置。 - 特許庁
The light irradiation source which is provided in the opening surrounded by a pair of rollers and each belt looped between these rollers irradiates laser light from a laser radiation part to the thermal recording medium to be conveyed in surface contact with each belt by the conveyance mechanism, and carries out the writing and deletion of data to the thermal recording medium. 光照射源は、一対のローラとこれらローラ間に掛けられた各ベルトとにより囲われる開口部内に設けられ、搬送機構により各ベルトに面接触して搬送される熱記録媒体に対してレーザ照射部からレーザ光を照射し、熱記録媒体に対してデータの書き込み、消去を行う。 - 特許庁
This light projector uses a monochromatic light source consisting of a plurality of light emitting diode (LED) groups 2a-2n arranged at least in 2 rows along transverse direction of a rail 21 to collect outgoing beam from 2 rows of each LED group on the trolley wire sliding surface 20a to irradiate it over a deflection range of the trolley wire 20. レール21の横断方向に沿って少なくとも2列分配列された複数個の発光ダイオード群2a〜2nによって構成される単色光源を用い、2列分の各発光ダイオード群からの出射光をトロリ線20の偏位範囲に亙ってトロリ線摺動面20aに集光照射する。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing an LED light source device excellent in a color mixture property, small in color irregularity, and excellent in luminous efficiency by covering an LED element with a transparent resin layer in accordance with an emission intensity distribution of the LED element to form a phosphor layer having uniform thickness on a surface of the transparent resin layer. LED素子の発光強度分布に応じた透明樹脂層をLED素子に被覆することで、その透明樹脂層の表面に膜厚が均一の蛍光体層を形成することにより、混色性が良好で色むらが少なく発光効率に優れたLED光源装置の製造方法を提供する。 - 特許庁
In this method of manufacturing a semiconductor device, a substrate formed with a semiconductor layer on an insulation layer is prepared; argon ions are implanted into the surface of the semiconductor layer; a gate insulation film is formed on the semiconductor layer after the argon ion implantation; a gate electrode is formed on the gate insulation film; and a source region and a drain region are formed in the semiconductor layer. 絶縁層上に半導体層が形成された基板を準備し、半導体層の表面にアルゴンイオン注入を行い、アルゴンイオン注入後の半導体層上にゲート絶縁膜を形成し、ゲート絶縁膜上にゲート電極を形成し、半導体層にソース領域およびドレイン領域を形成する。 - 特許庁
The light source device 100 includes a light emitting element 10 which emits first light L1, a substrate 20 which is irradiated with the first light L1 and has an irradiation region 21 with an irregular surface formed, and a fluorescent light emitting layer 30 formed in the irradiation region 21, excited by the first light L1, and emitting second light L2. 光源装置100は、第1の光L1を出射する発光素子10と、第1の光L1により照射され、凹凸が形成された照射領域21を有する基板20と、照射領域21に形成され、第1の光L1により励起されて第2の光L2を発する蛍光発光層30と、を含む。 - 特許庁
To provide a surface light-emitting device which is excellent in installation workability at low cost and uniformity of light emission, in the device where planar light emission is performed by transmitting light inside a light guide plate from the center to an outer periphery while an LED light source unit is arranged in the center of the light guide plate. 導光板の中央にLED光源ユニットを配置して中央から外周に向けて導光板内部に光を伝達させることで面発光を行うようにした装置であって、低コストで設置作業性に優れ、しかも発光均一性に優れた面発光装置を提供することを課題としている。 - 特許庁
The semiconductor device 1 further includes: a polysilicon gate 10 embedded in the gate trench 7 so that the entire part is positioned under a surface of the source region 4; and gate metal 14, 22 and 162 which are embedded in a gate contact groove 21 formed in the polysilicon gate 10 so as to reach the depth of the channel region 5, and which are in contact with the polysilicon gate 10. 半導体装置1は、さらに、ソース領域4の表面以下に全部が位置するようにゲートトレンチ7内に埋め込まれたポリシリコンゲート10と、チャネル領域5の深さに達するようにポリシリコンゲート10に形成されたゲートコンタクト溝21内に埋め込まれ、ポリシリコンゲート10に接するゲートメタル14,22,162とを含む。 - 特許庁
The illumination device 1 further comprises an angle broadening portion 40 which broadens an output angle of excited light output from an output end surface 10a toward the wavelength conversion member 30 by separating the angle broadening portion 40 from the wavelength conversion member 30 when the wavelength conversion member 30 falls off from an optical axis 11 of the light source 10. また照明装置1は、波長変換部材30が光源10の光軸11上から脱落した際に波長変換部材30と離間することで、出射端面10aから波長変換部材30に向けて出射される励起光の出射角度を拡大する角度拡大部40を有している。 - 特許庁
This refractory monitoring device 1 comprises a thermal neutron detector 3 arranged on the opposite side to an outside surface of the shell of a block-shaped iron member 2, a pair of graphite rods 4 arranged on both sides of the thermal neutron detector 3, and a fast neutron source 5 arranged apart from the thermal neutron detector 3 and the graphite rods 4. その装置は、ブロック状の鉄部材2の鉄皮の外表面に対向する側に、熱中性子検出器3と、この熱中性子検出器を両側から挟む位置に配設した一対の黒鉛棒4と、これら熱中性子検出器と黒鉛棒から離れた位置に高速中性子発生源5を配設したものである。 - 特許庁
To provide a resist composition giving a pattern having a smooth good surface free from foreign matter and rectangular good profile and also having a large focal depth in the case of an isolated pattern in lithography using a short-wavelength light source for exposure which enables ultra- microfabrication and a positive type chemical amplification resist. 超微細加工が可能な短波長の露光光源及びポジ型化学増幅レジストを用いたリソグラフィー技術にあって、表面がスムーズで異物がない良好な表面を有し、かつ、矩形で良好なプロファイルを有するパターンが得られ、また、孤立パターンについて広い焦点深度を有するレジスト組成物を提供すること。 - 特許庁
As a result, due to increase of surface area of heat dissipation fins 13, 14 by installing bent parts 14a, 13b and control of an external flow passage in which heat transmission from the heat dissipation fin parts 7, 8 is carried out, it becomes possible that heat dissipation efficiency is improved and temperature rise due to self heat generation of the light source is effectively suppressed. その結果、折曲部14a、13bを設けることによる放熱フィン13、14の表面積の増大と、放熱フィン部7、8から熱伝達が行われる外気流路の制御とにより放熱効率が高められ、光源の自己発熱による温度上昇を効果的に抑制することが可能となった。 - 特許庁
The image projection device includes: optical systems α, β, 5 which guide light from a light source 1 to an optical modulation element and project light modulated by the optical modulation element onto a surface to be projected; an optical box 6 which contains and holds at least some of the optical systems; and the external member 21 which contains the optical box. 画像投射装置は、光源1からの光を光変調素子に導き、該光変調素子により変調された光を被投射面に投射する光学系α,β,5と、該光学系のうち少なくとも一部を収容するとともに保持する光学ボックス6と、該光学ボックスを収容する外装部材21とを有する。 - 特許庁
In the base unit structure of a silicon carbide metal oxide semiconductor field effect transistor (MOSFET), the doping concentration at a channel formation section 3c of the well region 3 is minimum at the top surface, and the doping concentration at the bottom of the well region 3 is the same in the lower part 3a of the source region 4 and the lower part 3b of the channel formation section 3c. 炭化珪素MOSFETの基本単位構造において、ウェル領域3のチャネル形成部3cのドーピング濃度は上面部で最小になり、ウェル領域3の底部のドーピング濃度はソース領域4の下の部分3aとチャネル形成部3cの下の部分3bとで同じである。 - 特許庁
This system has an exposure means to scan the surface to form images by deflecting the light beam from the light source, a housing to cover the exposure means, an air supply to supply air from outside into the housing, and an airflow regulator to control the amount of supply air when forming images. 光源から出射される光ビームを偏向し、露光面上を走査して画像形成を行う露光手段と、露光手段を覆うハウジングと、そのハウジングの外部から外気をハウジング内へ供給する給気手段と、画像形成時において外気の給気量を制御する風量調整手段とを備える。 - 特許庁
The solid compressed pellet of the organic material used as the evaporation source contains (a) a support member for enabling rotation of the pellet and/or passage of a cooling fluid and (b) a compressed solid core of the organic material molded on the surface of the support member. 蒸着源用の有機材料の固体圧縮ペレットであって、 (a) 該ペレットの回転を可能にし、もしくは冷却流体を通過させ、又はその両方を行うための支持部材、及び (b) 該支持体部材の周囲表面に成形された有機材料の圧縮固体コアを含むことを特徴とする固体圧縮ペレット。 - 特許庁
The thermal electron source includes a substrate 2 and a conductive thermoionic cathode 3 which is provided on the substrate 2 and has a plurality of fine holes 6 on its surface, and a radiation from the thermoionic cathode 3 is reduced and an integration and an enlargement of an area are made possible and a rapid response after being conducted is made possible to reduce a power consumption. 基板2と、基板2上に設けられ、表面に複数の微細な穴6を有する導電性の熱陰極3とを備え、熱陰極3からの放熱を減らし集積化および大面積化を可能とするとともに、通電後の高速応答を可能とすることにより、消費電力を少なくした。 - 特許庁
The adhesion preventing plate 130 is used in the vacuum processing apparatus 100 for forming a film by adhering particles released from a material source 120 on an object P in a chamber 104 of a vacuum atmosphere, and prevents the formation of an adhered film containing particles on the inner surface of the chamber 104. 真空雰囲気のチャンバー104内において材料源120から放出される粒子を対象物Pに付着させることで成膜を行う真空処理装置100に用いられる、チャンバー104の内面に粒子を含む付着膜が形成されるのを防止する防着板130である。 - 特許庁
The illumination optical system IL1 for illuminating the image display surface 10a of a display element 10 has a laser array light source 1 which emits illuminating light having a flat beam cross section, and a rod integrator 8 whose cross-sectional shape is quadrate and which uniformizes spatial energy distribution of the illuminating light. 表示素子10の画像表示面10aを照明するための照明光学系IL1であって、扁平な光束断面の照明光を出射するレーザーアレイ光源1と、断面形状が四辺形であり照明光の空間的なエネルギー分布を均一化するロッドインテグレータ8と、を有する。 - 特許庁
In order to form the planar light source, a plurality of high luminance LEDs 1a-1d are mounted on an LED mounting substrate 2, and a plurality of surface mounted LEDs 11 are arranged on an LED mounting substrate 10 hierarchically laminated on the substrate 2 so as to fill the non light emitting part of the high luminance LEDs. 面状の光源を形成するために、複数の高輝度LED1a〜1dをLED実装基板2に実装し、これと階層状に積層されたLED実装基板10には複数の表面実装LED11を高輝度LEDの非発光部分を埋めるように配置して実装する。 - 特許庁
A polysilicon film is formed on the entire surface, and then is patterned with a resist film as a mask, to form a common contact section 11A stretched over the adjacent first gate electrodes 4 in a source and drain formation region, and a second gate electrode 11B on the second gate oxide film 9. 全面に形成したポリシリコン膜をレジスト膜をマスクにパターニングして、前記絶縁膜を介して隣り合う第1のゲート電極4に跨り、かつソース・ドレイン形成領域上にコンタクトする共通コンタクト部11Aを形成すると共に、前記第2のゲート酸化膜9上に第2のゲート電極11Bを形成する。 - 特許庁
The invention relates to the vehicle infrared radiation source having a plurality of infrared LEDs, a significant number, or all of the infrared LEDs of which, are removed from a vehicle light system, and are arranged and distributed over a large surface of typically more than 20×20 cm. 本発明は、複数の赤外線LEDを備えた車両の赤外線放射源であって、この赤外線LEDの主要部分またはすべてが、車両照明システムとは別に、一般に20×20cmより大きな表面全体に分散されて取付けられる車両の赤外線放射源に関する。 - 特許庁
This optical pickup device 4 is provided with a variable-shaped mirror 19 which includes a mirror layer 19a in one surface and a photorefractive plastic 19b for bending/restoring by irradiating a light of a specific wavelength, and a variable-shaped mirror light source 24 for emitting a light of a specific wavelength. 光ピックアップ装置4において、可変形ミラー19を一方の面にミラー層19aを有し特定波長の光を照射することで屈曲及び復元する光屈曲性プラスチック19bで構成したものを用い、特定波長の光を出射する可変形ミラー用光源24を設けた。 - 特許庁
The light from a light source 13 provided below a device main body 11 is guided onto a support member 15 and an image of a light- transmissive document 17 on this support member 15 is projected via a reflecting mirror 21 from a projection lens 19 of an assembly 18 and displayed on a video surface 27 of a perpendicular screen 26. 装置本体11の下部に設けられた光源13からの光は、支持部材15上に導かれ、この支持部材15上の透光性を有する原稿17の画像は、組立体18の投影レンズ19から反射鏡21を経て、鉛直であるスクリーン26の映像面27に投映されて表示される。 - 特許庁
The recessed grooves 81-84 are formed in a shape having first reflection surfaces 81a-84a for reflecting incident light entering the light guide plate 80 from a light source 70 toward the dial plate 40 and a pointer 50, and having tops 81b-84b that sharpen toward an inner periphery surface 80c of the light guide plate 80. 凹溝81〜84は、光源70から導光板80内部に入射した入射光を目盛り板40および指針50に向けて反射する第1反射面81a〜84aと、導光板80の内周面80cに向けて尖る頂部81b〜84bとを有する形状に形成される。 - 特許庁
This heating roller for fixation consists of a hollow cylindrical roller 11 heated by a heat source 13 and gas an object (fluid body) 14 flowing in contact with the inner surface of the roller 11 and means 15 and 16 for moving the fluid body 14 back and forth in the rotary shaft direction of the roller 11. 本発明の定着用加熱ローラは、熱源13によって加熱される中空円筒状のローラ11からなり、該ローラの内面に接触して流動する物体(流動体)14を有し、該流動体14をローラ11の回転軸方向に往復運動させる手段15,16を有する構成とした。 - 特許庁
When a high frequency electric power of 100 MHz is supplied to an antenna 5 which is provided in a vacuum vessel 1 by a high frequency power source 4 for the antenna, plasma is generated in the vacuum vessel 1 and plasma processing such as etching, deposition surface improvement and so on for a substrate 7 which is mounted on a substrate electrode 7 can be performed. アンテナ用高周波電源4により100MHzの高周波電力を真空容器1内に設けられたアンテナ5に供給することにより、真空容器1内にプラズマが発生し、基板電極6上に載置された基板7に対してエッチング、堆積、表面改質等のプラズマ処理を行うことができる。 - 特許庁
In order to solve the problem, the MOS semiconductor device is provided with a gate insulating film formed on the surface of a semiconductor region on an insulating supporting substrate, a gate electrode arranged so as to be contacted with the semiconductor region through the gate insulating film, a source electrode and a drain electrode. 上記の課題を解決するため、絶縁性支持基板上の半導体領域の表面に形成されたゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜を介して前記半導体領域に接するように配置されたゲート電極と、ソース電極と、ドレイン電極を有するMOS型半導体装置を提供する。 - 特許庁
In the process of manufacturing multilayer carbon nanotubes by a catalytic vapor phase growth method in which a carbon source gas is made to flow in a heated atmosphere held at a predetermined temperature in the presence of a catalyst and multilayer carbon nanotubes are grown from the surface of the catalyst, an iron-containing garnet powder is used for the catalyst. 触媒が存在し且つ所定温度に保持された加熱雰囲気内に炭素源気体を流通し、前記触媒の表面から多層カーボンナノチューブを成長させる触媒気相成長法によって多層カーボンナノチューブを製造する際に、前記触媒として、鉄含有のガーネット粉末を用いることを特徴とする。 - 特許庁
When a single crystal thin film of diamond is formed on the surface of a diamond substrate by plasma CVD using a mixture gas of carbon source and hydrogen as material gas, the diamond substrate is mounted on a substrate holder constituted of carbon. 原料ガスとして炭素源と水素の混合ガスを用い、プラズマCVDによりダイヤモンド基板表面にダイヤモンド単結晶薄膜を形成する際に、炭素を構成元素とする基板ホルダにダイヤモンド基板を載せて、ダイヤモンド単結晶薄膜を形成することを特徴とするダイヤモンド単結晶薄膜の製造方法。 - 特許庁
The source 10 has a plurality of implanting electrodes 8a arranged in a stripe state, a plurality of surface electrodes 7 arranged in a stripe state in a direction perpendicular to the electrodes 8a, and a drift part provided between the electrodes 8a and the electrodes 7 and having a porous region. 電子源10は、ストライプ状に配列された複数本の注入電極8aと、注入電極8aに直交する方向のストライプ状に配列された複数本の表面電極7と、注入電極8aと表面電極7との間に設けられ多孔質化された領域を有するドリフト部とを有する。 - 特許庁
The optical pointing device includes a light receiving part, an optical unit transferring light to the light receiving part and including a reflection part provided in an optical path, a frame body integrally formed with the reflection part to support the reflection part, a cover covering the frame body and having an interface surface, and a light source illuminating the cover. 受光部と、光通路に提供される反射部を有し、前記受光部に光を伝達する光学ユニットと、前記反射部と一体に形成され、前記反射部を支持するフレーム本体と、前記フレーム本体をカバーし、インターフェース面を有するカバーと、前記カバーを照明する光源とを含んで光ポインティングデバイスを構成する。 - 特許庁